N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第140页
SPG EJP6AC-MB-0 4MM-02 4-1-7 温调单元 ( 选购件 ) 的 过滤器更换 ( 主机、背面机通用 ) 维修保养篇 4-1-7 更换 1 用 ON/OFF 开关 使运转停止 2 更换过滤器（无纺布） 过滤器 （无纺布） 3 更换过滤器（网） 过滤器 （网）
SPG EJP6AC-MB-04MM-02
4-1-6-4
更
换
3
4
取下皮带
●向前拉出后取出。
●废弃之际，用钳子等
切断后再取下。
●取下前面与后面的2
个皮带。
安装新的皮带
●向里面推进。
●安装前面与后面的2个皮带。
SPG EJP6AC-MB-04MM-02
4-1-7
温调单元(选购件)的
过滤器更换
(主机、背面机通用)
维修保养篇
4-1-7
更换
1
用ON/OFF开关
使运转停止
2
更换过滤器（无纺布）
过滤器
（无纺布）
3
更换过滤器（网）
过滤器
（网）
55
Maintenance
-1
各种传感器的动作确认
-1-1
基板检测传感器的动作确认
-1-2
清洁溶剂用完传感器
-1-3
真空传感器(选购件)
-2
设备维修保养
-2-1
设备维修保养信息的确认
-2-2
更新
-2-3
选项许可
-3
机器参数
-3-1
机器参数的校正
调整