N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第147页
SPG EJP6AC-MB-0 5MM-01 4 5 6 3 调整 调整传感器的模式和感度。 ●所有调整都在受光侧的传感器进行 。 设置装有溶剂的 容器 调节感度调整计 , 调查 A 点 倒出容器中的溶剂 后 , 再度设置 5-1-2 -2 ● 从「 MIN 」位置朝「 MAX 」 方向进行微量调节。 ● 动作显示 灯 ( 红色 LED) 的熄灯位置 , 作为 A 点。 A MIN MAX ● 溶剂转移到其他容器。 调 整 相反方向调节…
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
1 2
7
传感器设置处
5-1-2-1
传感器(投光侧)
前面图
感度调整计
动作显示灯
(红色LED)
安定显示灯
(绿色LED)
亮・暗
切换开关
OFF
SERVO
A
B
MIN MAX
把感度调整计调节到A点和B点中间
●设置容器时,
确认LED是否如下亮灯。
・有溶剂时 ：绿灯亮,
红灯亮
・没有溶剂时：绿灯亮,
红灯灭
各种
传感器的
动作确认
清洁溶剂用完传感器
维修保养篇
5-1-2
把切换开关设置为
D.ON
●用精密一字螺丝刀切换。
L.ON
D.ON
传感器(受光侧)
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
4
5
6
3
调整
调整传感器的模式和感度。
●所有调整都在受光侧的传感器进行。
设置装有溶剂的
容器
调节感度调整计,调查A点
倒出容器中的溶剂
后,再度设置
5-1-2-2
●从「MIN」位置朝「MAX」
方向进行微量调节。
●动作显示灯(红色LED)
的熄灯位置,作为A点。
A
MIN MAX
●溶剂转移到其他容器。
调
整
相反方向调节感度调整计,调查B点
A
B
MIN MAX
●从A点朝「MIN」方向进行微量
调节。
●调节到「MIN」也不亮灯时,
「MIN」的位置作为B点。
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
各种
传感器的
动作确认
真空传感器（选购件）1
真空传感器设置处
各部位的名称和作用
5-1-3-1
维修保养篇
5-1-3
前面图
为了稳定基板吸着,请确认真空传感器。
真空传感器
A
B
C
D
F
E
G
LED显示
现在的压力状态、错误代码。
当前输出模式
次显示屏
显示设定上下限数值、设定代码。
按钮
增大设定值。
按钮
减小设定值。
按钮
确认设定值。
D
A
B
C
E
F
G
单位规格