N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第148页
SPG EJP6AC-MB-0 5MM-01 各种 传感器的 动作确认 真空传感器 （选购件） 1 真空传感器设置处 各部位的名称和作用 5-1-3 -1 维修保养篇 5-1-3 前面图 为了稳定基板吸着 , 请确认真空传感器。 真空传感器 A B C D F E G LED 显示 现在的压力状态、错误代码。 当前输出模式 次显示屏 显示设定上下限数值、设定代码。 按钮 增大设定值。 按钮 减小设定值。 按钮 确认设定值。 D A B …
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
4
5
6
3
调整
调整传感器的模式和感度。
●所有调整都在受光侧的传感器进行。
设置装有溶剂的
容器
调节感度调整计,调查A点
倒出容器中的溶剂
后,再度设置
5-1-2-2
●从「MIN」位置朝「MAX」
方向进行微量调节。
●动作显示灯(红色LED)
的熄灯位置,作为A点。
A
MIN MAX
●溶剂转移到其他容器。
调
整
相反方向调节感度调整计,调查B点
A
B
MIN MAX
●从A点朝「MIN」方向进行微量
调节。
●调节到「MIN」也不亮灯时,
「MIN」的位置作为B点。
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
各种
传感器的
动作确认
真空传感器（选购件）1
真空传感器设置处
各部位的名称和作用
5-1-3-1
维修保养篇
5-1-3
前面图
为了稳定基板吸着,请确认真空传感器。
真空传感器
A
B
C
D
F
E
G
LED显示
现在的压力状态、错误代码。
当前输出模式
次显示屏
显示设定上下限数值、设定代码。
按钮
增大设定值。
按钮
减小设定值。
按钮
确认设定值。
D
A
B
C
E
F
G
单位规格
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
1 2
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6
7
3
4
设定值的输入1
●安装基板吸着箱。
●准备没有弯曲的基板
（XY工作台返回原点位置）
（基板吸着箱开始吸着）
顺序
5-1-3-2
准备:
调
整
(No.18)
(在真空泵规格下，真空泵将
开始运转)
(No.77)
OFF
SERVO
●显示：
－6～－10 kPa。
载入基板前,
确认显示值
8
在基板吸着箱载入基板后,
确认显示值
●一般是,－80～－98 kPa。
●显示值为极端低数值的时候,
确认基板是否有弯曲。
(因为吸着箱和基板之间有间隙)
●显示值变小时，设定为比显示值
小10～20kPa的值。
9
●在这项设定中，[－(负号)]表示真空压，数
值的大小请只以数字部分为准。
注意