N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第150页
SPG EJP6AC-MB-0 5MM-01 设定值的输入 5-1-3 -3 各种 传感器的 动作确认 维修保养篇 5-1-3 真空传感器 （选购件） 2 9 10 17 18 19 卸下按钮保护盖 ● 螺丝 (2 个 ) 按钮保护盖 长按 键4秒 22 21 20 按键 ・ 设定下限 按或 者 设定为「 -70 」 按键 ・ 设定上限 同时按 和 锁键 确认 LED 显示 是否是绿色 按或 者 设定为「 -101 」
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
1 2
5
6
7
3
4
设定值的输入1
●安装基板吸着箱。
●准备没有弯曲的基板
（XY工作台返回原点位置）
（基板吸着箱开始吸着）
顺序
5-1-3-2
准备:
调
整
(No.18)
(在真空泵规格下，真空泵将
开始运转)
(No.77)
OFF
SERVO
●显示：
－6～－10 kPa。
载入基板前,
确认显示值
8
在基板吸着箱载入基板后,
确认显示值
●一般是,－80～－98 kPa。
●显示值为极端低数值的时候,
确认基板是否有弯曲。
(因为吸着箱和基板之间有间隙)
●显示值变小时，设定为比显示值
小10～20kPa的值。
9
●在这项设定中，[－(负号)]表示真空压，数
值的大小请只以数字部分为准。
注意
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
设定值的输入
5-1-3-3
各种
传感器的
动作确认
维修保养篇
5-1-3
真空传感器（选购件）2
9
10
17
18
19
卸下按钮保护盖
●螺丝(2个)
按钮保护盖
长按 键4秒
22
21
20
按键・
设定下限
按或者
设定为「-70」
按键・
设定上限
同时按 和
锁键
确认LED显示
是否是绿色
按或者
设定为「-101」
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
5-1-3-4
调
整
調
整
卸下基板,
确认LED显示
是否是红色
23
13
连续按 键
返回主界面
●连续按 3下
11
应差设定
12
按或者
变更・设定为
「1」
14
15
16
连续按 键
设定颜色
长按 键2秒
24
安装按钮保护盖
●螺丝(2个)
按钮保护盖
SERVO
ON
(基板吸着转为OFF)
25
2627
(No.77)
连续按 键
返回主界面