N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第162页
SPG EJP6AC-MB-0 5MM-01 设备 维修保养 5-2-3 -3 选项许可的删除方法 1 2 1 选择 项目 2 确 认 提示 ■ 不删除时 对删除进行确认。 3 3 选项许可 2 维修保养篇 5-2-3
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
5-2-3-2
选项号码
●选择列表与设备捆包在一起。选择列表请妥善保管好。
调
整
注意
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
设备
维修保养
5-2-3-3
选项许可的删除方法
1
2
1
选择项目
2
确认提示
■不删除时
对删除进行确认。
3
3
选项许可 2
维修保养篇
5-2-3
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
机器
参数
机器参数的校正 1
●为了进行有关设备动作的重要参数设定,请必须经过本公司的培训后再进行。
●由于错误操作等造成的损害问题,请恕本公司一概不负任何责任。
●有关培训情况,请咨询本公司营业(销售)部门。
把「θ轴原点」「基板原点」「基板照相机倍率」「θ轴旋转原点」,通过识别夹具上的标记,进行自动计测。
(可以进行4个项目的个别校正)
注意
5-3-1-1
维修保养篇
5-3-1
1
＋
A
B
计测结果
校正结果的保存
选择是否保存。
1
A B
(开始自动校正)
调
整