N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第163页
SPG EJP6AC-MB-0 5MM-01 机器 参数 机器参数的校正 1 ●为了进行有关设备动作的重要参数设定 , 请必 须经过本公司的培训后再进行。 ●由于错误操作等造成的损害问题 , 请恕本公司 一概不负任何责任。 ●有关培训情况 , 请咨询本公司营业 ( 销售 ) 部门。 把「 θ 轴原点」「基板原点」「 基板照相机倍率」「 θ 轴旋转原点」 , 通过识别夹 具上的标记 , 进行自动计测。 ( 可以进行 4 个项目的 个别校正…
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
设备
维修保养
5-2-3-3
选项许可的删除方法
1
2
1
选择项目
2
确认提示
■不删除时
对删除进行确认。
3
3
选项许可 2
维修保养篇
5-2-3
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
机器
参数
机器参数的校正 1
●为了进行有关设备动作的重要参数设定,请必须经过本公司的培训后再进行。
●由于错误操作等造成的损害问题,请恕本公司一概不负任何责任。
●有关培训情况,请咨询本公司营业(销售)部门。
把「θ轴原点」「基板原点」「基板照相机倍率」「θ轴旋转原点」,通过识别夹具上的标记,进行自动计测。
(可以进行4个项目的个别校正)
注意
5-3-1-1
维修保养篇
5-3-1
1
＋
A
B
计测结果
校正结果的保存
选择是否保存。
1
A B
(开始自动校正)
调
整
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
5-3-1-2
清扫夹具上的标记
1
2
(返回「机器参数校正菜单」画面)
＋
自动校正发生识别错误时
标记 (识别用孔)
2
机器
参数
维修保养篇
5-3-1
机器参数的校正 2