N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第164页
SPG EJP6AC-MB-0 5MM-01 5-3-1 -2 清扫夹具上的标记 1 2 ( 返回「机器参数校正菜单」画面 ) ＋ 自动校正发生识别错误时 标记 ( 识别用孔 ) 2 机器 参数 维修保养篇 5-3-1 机器参数的校正 2
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
机器
参数
机器参数的校正 1
●为了进行有关设备动作的重要参数设定,请必须经过本公司的培训后再进行。
●由于错误操作等造成的损害问题,请恕本公司一概不负任何责任。
●有关培训情况,请咨询本公司营业(销售)部门。
把「θ轴原点」「基板原点」「基板照相机倍率」「θ轴旋转原点」,通过识别夹具上的标记,进行自动计测。
(可以进行4个项目的个别校正)
注意
5-3-1-1
维修保养篇
5-3-1
1
＋
A
B
计测结果
校正结果的保存
选择是否保存。
1
A B
(开始自动校正)
调
整
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
5-3-1-2
清扫夹具上的标记
1
2
(返回「机器参数校正菜单」画面)
＋
自动校正发生识别错误时
标记 (识别用孔)
2
机器
参数
维修保养篇
5-3-1
机器参数的校正 2
设置
6
-1
设置前
-2
搬送
-3
设置
-4
主电源的连接
-5
空气源的连接
-6
温调单元(选购件)
的连接
6
Maintenance
-1
设置前
-2
搬送
-3
设置
-4
主电源的连接
-5
空气源的连接
-6
周围设备的连接
-6-1
生产线构成/接続箇所
-6-2
生产线信号规格
-6-3
以太网电缆LWS(线性工作站)
-7
温调单元(选购件)的连接
(主机、背面机通用)
设置