N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第55页
SPG EJP6AC-MB-0 2MM-02 消磨零件一览 2-1-2 -4 概 要 No. 名称 参考使用寿命 备注 参阅 1 刮刀刀刃 － － P.4-1-1 2 基板传送皮带 3000 小时 显示在消耗零件更换时间 的画面上 P.4-1-6 3 基板搬送滚轮 3000 小时 请与本公司服务部门联络 显示在消耗零件更换时间 的画面上 － 4 清洁单元过滤器 3000 小时 显示在消耗零件更换时间 的画面上 P.4-1-2 5 CPU…
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
每3000小时的定期检查
每6000小时的定期检查
No.
对象单元 检查、添加润滑油处 检查、添加润滑油内容 参阅
1
XY工作台
X轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
P.3-5-4
Y轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
2
刮刀头
刮刀轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
P.3-5-5
刮刀上下线性轴 注油、涂抹润滑油
P.3-5-1
3
识别/清洁单元
X轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
P.3-5-3
Y轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
4
基板定位升降机
基板边缘夹具部
线性轴承
注油、涂抹润滑油
P.3-5-2
自动宽度调整轴轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
自动宽度调整轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
升降机部线性轴 注油、涂抹润滑油
θ轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
θ轴连接部 注油、涂抹润滑油
5
搬送传送带
自动宽度调整轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
P.3-5-6
自动宽度调整轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
6
温调单元(选购件) 送风机 振动、异常声音的确认
P.3-5-7
No.
対象单元 检查、添加润滑油处 检查、添加润滑油内容 参阅
1
主体部
CPU箱风扇过滤器 附着物的清扫
P.3-6-1
鼓风喷射器(选购件)过滤器 附着物的清扫
P.3-6-2
No.
対象单元 检查、添加润滑油处 检查、添加润滑油内容 参阅
1
保护盖
保护盖开闭部铰链 注油、涂抹润滑油
P.3-6-3
保护盖开闭部调节器支点 注油、涂抹润滑油
2-1-2-3
每1500小时的定期检查
概要
各周期定期检查项目／
消磨零件一览 2
维修保养篇
2-1-2
【75~85分钟】
【5~10分钟】
【5~10分钟】
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
消磨零件一览
2-1-2-4
概
要
No.
名称 参考使用寿命 备注 参阅
1
刮刀刀刃 － －
P.4-1-1
2
基板传送皮带
3000小时
显示在消耗零件更换时间
的画面上
P.4-1-6
3
基板搬送滚轮
3000小时
请与本公司服务部门联络
显示在消耗零件更换时间
的画面上
－
4
清洁单元过滤器
3000小时
显示在消耗零件更换时间
的画面上
P.4-1-2
5
CPU板的蓄电池 － －
P.4-1-3
-1
6
NCIO板的蓄电池 － －
P.4-1-3-3
7
真空泵 (选购件) 3000小时 请与本公司服务部门联络 －
8
真空用管式过滤器芯 3000小时 －
P.4-1-4
9
LNB电池(选购件) 87600小时
请与本公司服务部门联络
显示在消耗零件更换时间
的画面上
LNB使用说明书
Page4-32
10
LNB UPS蓄电池(选购件) 52560小时
显示在消耗零件更换时间
的画面上
LNB使用说明书
Page4-33
11
温调单元吸附过滤器
(无纺布) (选购件)
－
－
P.4-1-7
12
温调单元过滤器 (网)
－
－
P.4-1-7
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
概要
各单元定期检查项目1
2-1-3-1
维修保养篇
2-1-3
在下表中,分类显示各单元的检查周期。
No.
单元名
检查、添加润滑油
处
检查、添加润滑油
内容
周期 (时间)
参阅
24 140 560 1000150030006000
1
主体部
运转气压
气压的确认 (工作
前)
P.3-2-1
喷射器(选购件)气压
气压的确认 (工作
前)
空气排水(运转空气
用)
排水的废弃 (工作
前)
空气排水(喷射器空
气(选购件)用)
排水的废弃 (工作
前)
触摸屏 清扫
P.3-3-2
刮刀上升气压 气压的确认
P.3-4-1
基板夹具压 气压的确认
CPU箱风扇
过滤器
粘着物的清扫
P.3-6-1
鼓风喷射器(选购件)
过滤器
粘着物的清扫
P.3-6-2
2
XY
工作台
X轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
P.3-4-4
Y轴滚珠丝杠
注油、涂抹润滑油
X轴线性
轴承
注油、涂抹润滑油
P.3-5-4
Y轴线性
轴承
注油、涂抹润滑油
3
刮刀头
刮刀
边缘的磨
损状态和
破损检查
(工作前)
P.3-2-3
刮刀单元
焊料的清
扫
(工作结束前)
P.3-2-4
刮刀轴滚珠丝杠
注油、涂抹润滑油
P.3-4-5
刮刀轴线性
轴承
注油、涂抹润滑油
P.3-5-5
刮刀上下
线性轴
注油、涂抹润滑油
P.3-5-1
刮刀上下轴滚珠丝杠
注油、涂抹润滑油
P.3-4-5
焊料剩余量检测传感
器
光轴部的清扫
P.3-2-8