N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第61页
SPG EJP6AC-MB-0 2MM-02 2-1-4 -2 识别单元 网板识别照明玻璃盖 X 轴滚珠丝杠 Y 轴滚珠丝杠 X 轴线性轴承 Y 轴线性轴承 传送带 刮刀头 刮刀上下线性轴 刮刀轴线性轴承 刮刀支架 刮刀 基板传送皮带 自动宽度调整轴滚珠丝杠 基板检测传感器 (3 处 ) 自动宽度调整轴 线性轴 基板传送皮带 自动宽度调整轴 滚珠丝杠 基板检测传感器 (3 处 ) 自动宽度调整轴 线性轴 概 要 刮刀轴滚珠丝杠 刮刀轴滚…
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
概要
各单元定期检查部位 1
维修保养篇
2-1-4
2-1-4-1
主体部
XY工作台
前面图
容器瓶
真空泵(选购件)
过滤器
触摸屏
CPU箱
风扇过滤器
运转气压
基板吸着压(选购件)
网板吸着圧(选购件)
Y轴滚珠丝杠
基板侧面夹紧压
刮刀上升气压
喷射器压(选购件)
X轴线性轴承
Y轴线性轴承
X轴滚珠丝杠
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
2-1-4-2
识别单元
网板识别照明玻璃盖
X轴滚珠丝杠
Y轴滚珠丝杠
X轴线性轴承
Y轴线性轴承
传送带
刮刀头
刮刀上下线性轴
刮刀轴线性轴承
刮刀支架
刮刀
基板传送皮带
自动宽度调整轴滚珠丝杠
基板检测传感器(3处)
自动宽度调整轴
线性轴
基板传送皮带
自动宽度调整轴
滚珠丝杠
基板检测传感器 (3处)
自动宽度调整轴
线性轴
概
要
刮刀轴滚珠丝杠
刮刀轴滚珠丝杠
基板挡块(基板上按压部 )
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
2-1-4-3
θ轴滚珠丝杠
升降机轴滚珠丝杠 (4处)
θ轴线性轴承
基板边缘夹具部的
线性轴承
θ轴连接部
自动宽度调整轴滚珠丝杠
自动宽度调整轴线性轴承
支撑板
升降机轴线性轴 (4处)
支撑轴滚珠丝杠 (4处)
夹具挟扣
夹具挟扣
基板识别用孔
基板识别用孔
基板识别用孔
基板识别用孔
保护盖开闭部的
调节器支点 (2处)
保护盖开闭部
的铰链(4处)
前面安全盖的
安全开关
基板支撑板
概要
各单元定期检查部位 2
维修保养篇
2-1-4
保护盖
基板定位升降机
后面安全盖的安全开关