N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊 - 第62页
SPG EJP6AC-MB-0 2MM-02 2-1-4 -3 θ 轴滚珠丝杠 升降机轴滚珠丝杠 (4 处 ) θ 轴线性轴承 基板边缘夹具部的 线性轴承 θ 轴连接部 自动宽度调整轴滚珠丝杠 自动宽度调整轴线性轴承 支撑板 升降机轴线性轴 (4 处 ) 支撑轴滚珠丝杠 (4 处 ) 夹具挟扣 夹具挟扣 基板识别用孔 基板识别用孔 基板识别用孔 基板识别用孔 保护盖开闭部的 调节器支点 (2 处 ) 保护盖开闭部 的铰链 (4 处 ) …
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
2-1-4-2
识别单元
网板识别照明玻璃盖
X轴滚珠丝杠
Y轴滚珠丝杠
X轴线性轴承
Y轴线性轴承
传送带
刮刀头
刮刀上下线性轴
刮刀轴线性轴承
刮刀支架
刮刀
基板传送皮带
自动宽度调整轴滚珠丝杠
基板检测传感器(3处)
自动宽度调整轴
线性轴
基板传送皮带
自动宽度调整轴
滚珠丝杠
基板检测传感器 (3处)
自动宽度调整轴
线性轴
概
要
刮刀轴滚珠丝杠
刮刀轴滚珠丝杠
基板挡块(基板上按压部 )
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
2-1-4-3
θ轴滚珠丝杠
升降机轴滚珠丝杠 (4处)
θ轴线性轴承
基板边缘夹具部的
线性轴承
θ轴连接部
自动宽度调整轴滚珠丝杠
自动宽度调整轴线性轴承
支撑板
升降机轴线性轴 (4处)
支撑轴滚珠丝杠 (4处)
夹具挟扣
夹具挟扣
基板识别用孔
基板识别用孔
基板识别用孔
基板识别用孔
保护盖开闭部的
调节器支点 (2处)
保护盖开闭部
的铰链(4处)
前面安全盖的
安全开关
基板支撑板
概要
各单元定期检查部位 2
维修保养篇
2-1-4
保护盖
基板定位升降机
后面安全盖的安全开关
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
温调单元(选购件）
清洁单元
真空泵(选购件）
吸嘴
溶剂容器
过滤器
2-1-4-4
概
要
Y轴线性轴承
Y轴线性轴承
过滤器
过滤器
热交換器
送风机
结露水排水器
漏电断路器
过滤器(网)
热交換器