D3维修保养篇__N7201A588C - 第175页
6 定期检查 每 560 小时保养
NPM-D3 EJM6DC-MB-05M-08
5-10-2
6 定期检查
每560小时保养
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-07
对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。
使用工具:润滑脂枪 所需时间:20 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键添加润滑脂。
●对交换台车侧加以说明。请卸下供料器后进行作业。(→ P.14-8)
●建议在双轨模式下进行作业。(→ P.11-2-1)
维修保养篇
6-1
基板传送带的润滑脂添加 1
6-1-1
卸下交换台车
(→P.3-2)
1
ENABLING
3
2
●事先确认不存在支撑销。
5
OFF
SERVO
4
6
卸下供料器工作台
盖(→P.3-3)
确认提示
ENABLING