D3维修保养篇__N7201A588C - 第216页

NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-0 7 基板检测传感器的清扫 1 在以下对基板传送带、传送带 L 、传送带 R 的基 板检测传感器的清扫方法进行说明 。 使用工具 : 棉棒 ( MTN Z001268AA) 所需时间 : 基板传送 带需要 8 分钟、传送带 L 、 传送带 R 分别需要 5 分钟。 注意 维护周期设定为 560 个小时，但是根据客户所拥有设备的设置环境以及 生产的基板、生产运转状况等各种 条件的不同，有时最佳维…

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期
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查
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小
时
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养
对安全开关(安全盖)的检查方法进行说明。
使用工具:不要 所需时间:2 分钟
●顺序 至 ，是从设备前侧进行，顺序 是从设备的后侧进行操作。
1
2
3
(显示「输入确认」画面显示)
3
按一次 键
打开前侧安全盖后，确认
・[安全盖1]
・[安全盖3]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
4
打开后侧安全盖后，确认
・[安全盖2]
・[安全盖4]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
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1
2
4
安全开关(安全盖)的检查
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EJM6DC-MB-06M-07
基板检测传感器的清扫 1
在以下对基板传送带、传送带L、传送带R的基板检测传感器的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉棒(MTNZ001268AA)
所需时间:基板传送带需要8分钟、传送带L、传送带R分别需要5分钟。
注意
维护周期设定为560个小时，但是根据客户所拥有设备的设置环境以及生产的基板、生产运转状况等各种
条件的不同，有时最佳维护周期会发生变化。
另外，如果在基板检测传感器脏污的状态下持续使用设备，不仅会导致难以正常检测，而且也不易去除脏
污，从而造成维护需要时间。
请按照符合客户设备使用状况的适当维护周期，对基板检测传感器进行清扫。
用于清扫的棉棒，请使用以下的精密机械用的工业用棉棒。
请注意，如果使用其他的棉棒，有可能无法对基板检测传感器实施充分的清扫。
注意
型号 品号 备注
HUBY340 BB-013FL (2 500根)
MTNZ001268AA
2 500根装 (25根装×100袋)
使用指定外棉棒进行清扫时 使用指定棉棒进行清扫时
棉棒无法碰触到检测面，因此不
能进行充分的清扫。
棉棒碰触到检测面，因此能够进
行充分的清扫
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维修保养篇
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EJM6DC-MB-06M-07
使用工具:棉棒 (MTNZ001268AA)
所需时间:8 分钟
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基板传送带 1
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对基板检测传感器的清扫方法进行说明。 请拆下托盘供料器后再作业。(→ P.14-8)
卸下交换台车
(→P.3-2)
卸下供料器工作
台盖(→P.3-3)
OFF
SERVO
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定
期
检
查
每
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小
时
保
养
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作篇』P.2-5-4)
●为了更有利于操作
顺序
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