D3维修保养篇__N7201A588C - 第217页
NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-0 7 使用工具 : 棉棒 (MTNZ0 01268AA) 所需时间 :8 分钟 1 2 3 4 基板传送带 1 5 对基板检测传感器的清扫方法进行说明。 请拆下托盘供料器后再作业。 (→ P.14-8 ) 卸下交换台车 ( →P.3-2) 卸下供料器工作 台盖 (→P.3-3) OFF SERVO 6-10 -2 定 期 检 查 每 5 6 0 小 时 保 养 将传送带宽度调整 为 150 m…
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EJM6DC-MB-06M-07
基板检测传感器的清扫 1
在以下对基板传送带、传送带L、传送带R的基板检测传感器的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉棒(MTNZ001268AA)
所需时间:基板传送带需要8分钟、传送带L、传送带R分别需要5分钟。
注意
维护周期设定为560个小时，但是根据客户所拥有设备的设置环境以及生产的基板、生产运转状况等各种
条件的不同，有时最佳维护周期会发生变化。
另外，如果在基板检测传感器脏污的状态下持续使用设备，不仅会导致难以正常检测，而且也不易去除脏
污，从而造成维护需要时间。
请按照符合客户设备使用状况的适当维护周期，对基板检测传感器进行清扫。
用于清扫的棉棒，请使用以下的精密机械用的工业用棉棒。
请注意，如果使用其他的棉棒，有可能无法对基板检测传感器实施充分的清扫。
注意
型号 品号 备注
HUBY340 BB-013FL (2 500根)
MTNZ001268AA
2 500根装 (25根装×100袋)
使用指定外棉棒进行清扫时 使用指定棉棒进行清扫时
棉棒无法碰触到检测面，因此不
能进行充分的清扫。
棉棒碰触到检测面，因此能够进
行充分的清扫
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维修保养篇
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使用工具:棉棒 (MTNZ001268AA)
所需时间:8 分钟
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基板传送带 1
5
对基板检测传感器的清扫方法进行说明。 请拆下托盘供料器后再作业。(→ P.14-8)
卸下交换台车
(→P.3-2)
卸下供料器工作
台盖(→P.3-3)
OFF
SERVO
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定
期
检
查
每
5
6
0
小
时
保
养
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作篇』P.2-5-4)
●为了更有利于操作
顺序
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基板检测传感器的清扫 2
基板传送带 2
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确认基板检测传感器的位置和传感器类型
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有6个
单型 双型
●基板检测传感器类型的区分方法
检测部
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维修保养篇
6-10
: 双型
: 单型