D3维修保养篇__N7201A588C - 第219页
NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-07 7 清扫基板检测传感器部 ●用棉棒的尖端碰触基板检测传感器 的检测部，然 后如下图所示移动棉棒去除附着物。 ●在作业时，建议握持棉棒的尖端 附近。 【单型的清扫】 ●请通过手感确认到棉棒尖 端接触到检测部后，上下 移动 4 、 5 次棉棒进行清 扫。 【双型的清扫】 ●请通过手感确认到棉棒尖 端接触到检测部后，上下 移动 4 、 5 次棉棒后进行 清 扫。请对左右双方的检测 部都进行清扫。…
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基板检测传感器的清扫 2
基板传送带 2
6
确认基板检测传感器的位置和传感器类型
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有6个
单型 双型
●基板检测传感器类型的区分方法
检测部
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维修保养篇
6-10
: 双型
: 单型
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7
清扫基板检测传感器部
●用棉棒的尖端碰触基板检测传感器的检测部，然
后如下图所示移动棉棒去除附着物。
●在作业时，建议握持棉棒的尖端
附近。
【单型的清扫】
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒进行清扫。
【双型的清扫】
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒后进行清
扫。请对左右双方的检测
部都进行清扫。
●将清扫的检测部移动到左
右时，请通过手感确认中
央部的高度差。
检测部
检测部中央的高度差部
请用棉棒的尖端部 (1 mm左右)蘸上水后再进行清扫。
如果使用干燥的棉棒，有时将无法完全去除附着物。
注意
顺序
8
6-10-4
定
期
检
查
每
5
6
0
小
时
保
养
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基板传送带 3
8
9
10
11
安装供料器工作台
盖(→P.3-3)
SERVO
ON
安装交换台车
(→P.3-2)
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基板检测传感器的清扫 3
维修保养篇
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