D3维修保养篇__N7201A588C - 第220页
NPM-D3 EJM6DC-MB-06M-0 7 基板传送带 3 8 9 10 11 安装供料器工作台 盖 (→P.3-3) SERVO ON 安装交换台车 (→P.3-2) 6-10 -5 基板检测传感器的清扫 3 维修保养篇 6-10
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-07
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清扫基板检测传感器部
●用棉棒的尖端碰触基板检测传感器的检测部，然
后如下图所示移动棉棒去除附着物。
●在作业时，建议握持棉棒的尖端
附近。
【单型的清扫】
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒进行清扫。
【双型的清扫】
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒后进行清
扫。请对左右双方的检测
部都进行清扫。
●将清扫的检测部移动到左
右时，请通过手感确认中
央部的高度差。
检测部
检测部中央的高度差部
请用棉棒的尖端部 (1 mm左右)蘸上水后再进行清扫。
如果使用干燥的棉棒，有时将无法完全去除附着物。
注意
顺序
8
6-10-4
定
期
检
查
每
5
6
0
小
时
保
养
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EJM6DC-MB-06M-07
基板传送带 3
8
9
10
11
安装供料器工作台
盖(→P.3-3)
SERVO
ON
安装交换台车
(→P.3-2)
6-10-5
基板检测传感器的清扫 3
维修保养篇
6-10
NPM-D3
EJM6DC-MB-06M-07
1
传送带L、传送带R1
3
2
打开传送带的
上面盖
OFF
SERVO
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定
期
检
查
每
5
6
0
小
时
保
养
使用工具:棉棒 (MTNZ001268AA)
所需时间:5 分钟
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作篇』P.2-5-4)
●为了更有利于操作
顺序
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