DECAN_L2_Maintenance(Chi_Ver6.2).pdf - 第58页
每周检查 Chap ter 4 Advanced Mult i- Func ti onal Place r DE CAN L 2 M ain te na nc e H an db oo k 4 -7 Head Vacuum Filter检查及更换 Step 5. V a cuum Filte r 把 箭 头 方 向 ,分 离 Step 6. 更换 Filt er E lement Step 7 . 参 考 详见 "3. 撤 销…

每周检查
Chapter 4
Advanced Multi-Functional Placer
DECAN L2 Maintenance Handbook
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Head Vacuum Filter检查及更换
每周检查
Head
Vacuum
Filter
检查及更换
措施
Step 1. 参考详见"4. Front X-Frame 前面移动" (第1-3页) 和 ""Rear
X Frame 后面移动" (第1-7页)把各X Frame向两端进行移动。
Step 2. 按OP面板的'EMG'按钮停止作业后、依次按'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见"2. 紧急停止" (第1-2页)
Step 3. 检查Vacuum Filter变色与否(检查过滤器变色周期:建议每月1
次)
Step 4. 从真空过滤器分离圈管
注 意
检查或交换Vacuum Filter后,请查看Filter和Tube的组装状态。
(所需时间: 30分 / No. W-4)

每周检查
Chapter 4
Advanced Multi-Functional Placer
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Head Vacuum Filter检查及更换
Step 5. Vacuum Filter把 箭 头 方 向 ,分 离
Step 6. 更换Filter Element
Step 7. 参 考 详见"3. 撤销紧急停止" (第1-10页)解除紧急停止后重新进行
作业
注 意
真空过滤器以每周进行检查并且至少在6个月内更换、如此才能正常地
形成可以吸附(Pickup)元器件的真空。
注 意
电磁阀是消耗品、为了让电磁阀稳定地发挥其功能、建议每两年更换一
次电磁阀。

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MEMO
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