FX-3R-Rev05 - 第157页
- 15 0 - NOTE( 注 記 ) #01....TYPE XL ＸＬ 仕 様 #0 2. ...F OR E N ＥＮ 用 REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 4 00-47557 ETHER -SLAVE PC B ASM ＥＴＨＥＲ − ＳＬ ＡＶＥ 基 板組 3 2 4 01-19361 XY -RELA Y PCB ASM ＸＹ − ＲＥＬＡＹ 基板組 …
- 149 -
75.SYSTEM DIAGRAM (XY-RELAY)
ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ（ＸＹ − ＲＥＬＡＹ）
SENSOR
YL(RR) +LIMIT
YLRR+L
YLRRNR
YLRF-L
YLRFNR
CN132
CN130
CN132
CN130
9-2B
3-3D
3-4A
3-2B
3-3A
1-5D
7-1A
7-1A
SENSOR
YL(RR) NEA R
SENSOR
YL(RF) -LIMIT
SENSOR
YL(RF) N EAR
XY5
CN 5
CN 13 0
CN132
CN 13 0
CN131
CN144
CN152
CN131
CN 13 0
CN144
CN130
CN132
CN152
SENSOR
X(RR) NEAR
SENSOR
X(RR) +LIMIT
SENSOR
X(RR) -LIMIT
SENSOR
Y(R) C LIMIT
SENSOR
X(RF) N EAR
SENSOR
X(RF) +LIMIT
SENSOR
X(RF) -LIMIT
CN127
CN127
127RR
127RF
XY6
CN 6
SENSOR
X(LR) NEAR
SENSOR
X(LR) +LIMIT
SENSOR
X(LR) -LIMIT
SENSOR
Y(L) C LIMIT
SENSOR
X(LF) NEA R
SENSOR
X(LF) +LIMIT
SENSOR
X(LF) -LIMIT
YRLRNR
YRLR+L
YRLFNR
YRLF-L
SENSOR
YR(LR) N EAR
SENSOR
YR(LR) +LIMIT
SENSOR
YR(LF) N EAR
SENSOR
YR(LF) -LIMIT
CN130
CN132
CN130
CN132
CN127
XY1
CN1
127LR
CN144
CN130
CN132
CN152 CN131
CN144
CN144
CN130
CN152
CN132
CN131
CN127
127LF
CN2
8-1B
ETHER-SLAVE
PCB(BC)
ETHER-SLAVE
PCB(FEEDER_L)
10-1A
EN1
EN2
ES-BC
EN2
ES-FL
EN1
ES-XY
EN1
ES-XY
EN2
ETHER-SLAVE
PCB(XY)
EN1
EN2
J2
J1
2-1D
CN16
XY-RELAY
PCB
P1
P2
XY16
HEAD-IO
PWRL-IO
PWRR-IO
SA FE -I O
VAC-IO
CN-P2
CN-P1
CN08
AIR PRESSURE
AIR PRESSURE
METER (-)
METER (+)
APIL03
PWRR064
PWRL064
CN3
1-2A
CN064
4-3C
4-3A
CN064
1-2D
RR245
CN245
RF245
CN245
LR245
CN245
CN801
CN801
CN801
LF245
CN245
CN801
HEAD-MAIN
PCB
(LF)
6-1A
CN15
6-1A
HEAD-MAIN
PCB
(LR)
CN15
HEAD-MAIN
PCB
(RR)
HEAD-MAIN
PCB
(RF)
CN15
CN15
AC PWR INPT UNIT
POWER UNIT (R)
POWER UNIT (L)
XY-RELAY
PCB
XY2
F_FAN
F_FAN
F_FAN0
F_FAN0
XY-RELAY
PCB
F_FAN F_FAN0
F_FAN
F_FAN0
1
1
3
4
1
2
5
6
10 11
7
8
9898989
12 12 12 12
13
14
15
16 17
18 19
2
34
25
26
25
26
23
24
20
21
22
29 30 31
36 27
37
3627
28
37
37
27 27
2
33
25
26 23 24
21
22
35
25 26
3231
29
32
36
27
37
36
37
27
28
27 37 27 37
37
- 150 -
NOTE( 注記 ) #01....TYPE XL ＸＬ 仕様
#02....FOR EN ＥＮ 用
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-47557 ETHER-SLAVE PCB ASM
ＥＴＨＥＲ − ＳＬＡＶＥ 基板組
3
2 401-19361 XY-RELAY PCB ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ 基板組
3
3 400-89927 ETHER CABL BC-XY ASM
イーサケーブル ＢＡＳＥＣＡＲＲＹ − ＸＹ 組
1
4 400-89928 ETHER CABLE XY-FDL ASM
イーサケーブル ＸＹ − ＦＤＬ 組
1
5 400-91918 XY-RELAY I/O CABLE ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
6 400-91884 HEAD I/O CABLE ASM
ヘッド Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
7 400-82362 VACUUM I/O CABLE ASM
バキューム Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
1
8 400-47500 XY BEAR CABLES D ASM
ＸＹ ベアケーブル Ｄ 組
4
9
#01
400-91884 HEAD I/O CABLE ASM
ヘッド Ｉ ／ Ｏ ケーブル組
4
10 400-47958 PWR UNIT I/O CABLE (L) ASM
パワーユニット Ｉ ／ Ｏ ケーブル（Ｌ）組
1
11 400-91881 PWR UNIT I/O CABLE (R) ASM
パワーユニット Ｉ ／ Ｏ ケーブル（Ｒ）組
1
12 400-47506 HEAD-MAIN PCB ASM
ＨＥＡＤ − ＭＡＩＮ 基板組
4
13 400-98974 POWER_SUPPLY_ASSY_L(ST)
電源供給組（左）ＳＴ
1
14
#02
400-93149 POWER SUPPLY ASSY L(EN)
電源供給組（左）ＥＮ
1
15 400-98950 POWER_SUPPLY_ASSY_R(ST)
電源供給組（右）ＳＴ
1
16
#02
400-93150 POWER SUPPLY ASSY R(EN)
電源供給組（右）ＥＮ
1
17 401-22663 AC POWER INPUT UNIT
ＡＣ 入力ユニット
1
18 400-48168 AIR PRESSURE SW ASM
正圧センサー組
1
19 400-02333 AIR PRESSURE METER ASM
エアプレッシャーメータ組
1
20 400-91855 XY-RELAY SENS CABLE (XL) ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ センサーケーブル（ＸＬ）組
1
21 400-47810 Y BEAR A CABLES ASM
Ｙ ベア Ａ ケーブル組
2
22
#01
400-89838 Y BEAR A CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ａ 組 ＸＬ
2
23 400-47810 Y BEAR A CABLES ASM
Ｙ ベア Ａ ケーブル組
2
24
#01
400-89838 Y BEAR A CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ａ 組 ＸＬ
2
25 400-47811 Y BEAR B CABLES ASM
Ｙ ベア Ｂ ケーブル組
2
26
#01
400-89839 Y BEAR B CABLES ASM XL
Ｙ ベアケーブル Ｂ 組 ＸＬ
2
27 400-02229 X ORG RANGE SENSOR ASM
Ｘ 軸原点周囲センサ組
8
28 400-47880 YC LIMIT SENSOR ASM
Ｙ Ｃ リミットセンサ組
2
29 400-48242 X PLUS LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ プラス ＬＩＭＩＴ 中継ケーブル組
2
30 400-47882 X C LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ センタチミット中継ケーブル組
1
31 400-47881 X POS LIMIT RELAY CABLE ASM
Ｘ プラスリミット中継ケーブル組
2
32 400-48241 X NEAR SENSOR RELAY CABLE ASM
Ｘ ニア中継ケーブル組
2
33 400-91856 XY-RELAY SENSOR CABLE (XR) ASM
ＸＹ − ＲＥＬＡＹ センサーケーブル（ＸＲ）組
1
34 400-92736 XY-RELAY SENSOR RLY CABLE (YL) ASM
ＸＹ − ＲＬＹ センサ中継ケーブル（ＹＬ）組
1
35 400-92737 XY-RELAY SENSOR RLY CABLE (YR) ASM
ＸＹ − ＲＬＹ センサ中継ケーブル（ＹＲ）組
1
36 400-02228 X MINUS LMT SENSOR ASM
Ｘ 軸マイナスリミットセンサ組
4
37 400-02227 X PLUS LMT SENSOR ASM
Ｘ 軸プラスリミットセンサ組
8
- 151 -
76.SYSTEM DIAGRAM (Z THETA POWER)
ＳＹＳＴＥＭ ＤＩＡＧＲＡＭ（Ｚθ ＰＯＷＥＲ）
2-3A
CNP1
ZTACNP1
SERVO AMP
Z
(LF-1)
5-1A
5-1B
2-3C
CNP1
SERVO AMP
Z
(RF-1)
ZTACNP1
5-1B
SERVO AMP
Z
(RF-2)
2-3C
CNP1
ZTBCNP1
2-3C
SERVO AMP
Z
(RF-3)
5- 2B
CNP1
ZTCCNP1
CN211
CN212
CN213
CN214
CN201
CN202
CN013
CN014
CN037
4-5C
CN037
CN014
CN013
3-2B
POWER UNIT(R)
5-3B
SERVO AMP
Z
(RR-1)
2-5D
CNP1
ZTACNP1
2-5D
CNP1
SERVO AMP
Z
(RR-2)
5-4B
ZTBCNP1
2-5D
SERV O A MP
Z
(RR-3)
5-5B
CNP1
ZTCC N P1
CN212
CN213
CN214
CN211
CN202
CN20 1
POWER U NIT(R)
CN015
CN016
CN038
7-1A
CN038
CN016
CN015
4-3C
POWER UNIT(L)
4-3A
CN015
CN016
CN038
6-1A
CN015
CN016
CN038
CN202
CN201
CN211
CN212
CN213
CN214
ZTCCNP1
ZTBCNP1
2-5B
SERVO AMP
Z
(LR-3)
5-5A
CNP1
CNP1
2-5B
SERVO AMP
Z
(LR-2)
5-4A
ZTACNP1
CNP1
2-5B
SERVO AMP
Z
(LR-1)
5-3A
POWER UNIT(L)
3-2B
CN013
CN014
CN037
4-5A
CN037
CN014
CN013
CN201
CN202
CN211
CN212
CN213
CN214
ZTCCNP1
CNP1
2-3A
SERVO AMP
Z
(LF-3)
5-2A
ZTBCNP1
CNP1
2-3A
SERVO AMP
Z
(LF-2)
5-1A
11
1
1
11
2
3
4
5
6
5
6
7
8
9
2
3
4
5
6
5
6
7
10
11
2
1
1
5
6
1
8
9
3
4
5
6
12
12
2
5
6
5
6
1
1
4
3
1
10
11