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Ref No. Remarks R 1 Q'ty 27 マスククリーニングユニット制御:SPG Mask Cleaning U nit (H):SPG ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 N610142536AA Part Nam e 備 考 セク ショ ンNo . PARTS LIST Section No. R 3 Sen…
27
マスククリーニングユニット制御:SPG
Mask Cleaning Unit (H):SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142536AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S135
( KN610142536AA-00 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
27
マスククリーニングユニット制御:SPG
Mask Cleaning Unit (H):SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142536AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
Sensor Connection Board
2
1 N610096014AA PNF0A8-AA
SCREW
2
2XYN4+J8FN
Cross recessed Pan head machine screw with SW & Small round-plain was
S136
--
( KN610142536AA-00 )
28
マスククリーニングユニット配線:SPG
Mask Cleaning Unit Wiring:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142537AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S137
( KN610142537AA-04 )