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Ref No. Remarks R 1 Q'ty 52 基板吸着下受ブロック(L) Board Vacuum Support Block (L) ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 KXFX03BZA00 Part Nam e 備 考 セク ショ ンNo . PARTS LIST Section No. R 3 BLOCK 1…

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52
基板吸着下受ブロック(L)
Board Vacuum Support Block (L)
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
KXFX03BZA00
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O115
( KKXFX03BZA00-05 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
52
基板吸着下受ブロック(L)
Board Vacuum Support Block (L)
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品　　名品　　番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
KXFX03BZA00
Part Name
備　　　考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BLOCK
1
1 N210001415AB
A
BLOCK
3
2 N210001416AC
A
BLOCK
6
3 N210001417AC
A
JOINT
12
4 KXFB0713A01
BLOCK
1
5 KXFB0714A00
BOLT
20
6 KXF09TBAA00 GUTB3-4-20
MAGNET
36
7 N986KM0015 KM-0015
SCREW
36
8 XXE5D8FT
Hexagon socket set screw Cup point M5X8-45H SOB
JOINT
3
9 KXF0DWUJA00 KQ2L06-M6
JOINT
9
10 KXF0DWUKA00 KQ2T06-M6
JOINT
3
11 KXF091HAA00 CPP15-6B
PACKING
24
12 KXF0DY0XA00 SPGC11
PIN
2
13 KXF0DYJPA00 MS1.5-8
O116
--
( KKXFX03BZA00-05 )
53
基板吸着下受ブロック(M)
Board Vacuum Support Block (M)
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
KXFX039UA00
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O117
( KKXFX039UA00-03 )