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4-38 JO-108 1005-002 (8) 認識マーク位置の教示を行います。 Fig. D47 (9) レーン 1 吸着穴位置の教示を行います。 (10 個の穴位置を順次教示していきます。 ) Fig. D48 2.2 [ 測種 5] の操作手順

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(7) スプロケットの基準位置出し動作が完了すると、 下記の作業案内メッ
セージが表示されるので、 マスターテープ、 遮光治具を正しく取付け
てください。
マスターテープの取付けについては、 2.3マスターテープの取付
けおよび取外し方法を参照してください。
マスターテープと遮光治具をセットし、
[OK] ボタンをクリックしてください
取付けが完了したら、[OK] ボタンをクリックしてください。
⇒ この後は [ 測種 3] と同様の調整操作手順で進めていきます。
認識マーク位置の教示、L1、L2 (10 歯ずつ)の吸着穴位置の教示
Fig. D46
2.2 [ 測種 5] の操作手順

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(8) 認識マーク位置の教示を行います。
Fig. D47
(9) レーン 1 吸着穴位置の教示を行います。
(10 個の穴位置を順次教示していきます。 )
Fig. D48
2.2 [ 測種 5] の操作手順

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(10) レーン 2 吸着穴位置の教示を行います。
(10 個の穴位置を順次教示していきます。 )
Fig. D49
(11) 各オフセットデータの算出が完了すると、 Z 方向オフセットの入力画
面が表示されます。
吸着高さデータを変更しない場合は、[Cancel] ボタンを押してください。
吸着高さを変更する場合は、オフセットの数値を入力し [OK] ボタンを押してください。
Fig. D50
2.2 [ 測種 5] の操作手順