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ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ 接続図 ＮＦＶｃ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ アース接続 ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. ２ ７ FUJI SECRET 2R GZ BA0 00 10 5 Ａ Ｄ Ｄ Ｒ Ｅ Ｓ Ｓ 3 一次電源 ＰＥ Ｍ１ＳＷ１ ハンドルＢＫ Ｔ （ ２Ｅ ＧＺ ＢＡ ０ ０ ０３ ＊＊ ） ２ Ｅ Ｇ ＺＢ Ａ ０ ００ ８ ＊ ＊ アースター ミ ナル １ Ｅ Ａ Ｒ Ｔ Ｈ Ｔ Ｅ Ｒ Ｍ Ｉ Ｎ ＡＬ １ ２ Ｅ Ｇ ＺＢ Ａ ０ ００…
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
動力接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
７
FUJI SECRET
2RGZBA000105
ＡＤＤＲＥＳＳ
2
ＡＤＤＲＥＳＳ
2
２ＭⅢｃ ベース
ＣＰ１ＣＮ７
２ＥＧＺＢＡ０００３＊＊ ２ＥＧＺＢＡ０００２＊＊
２ＥＧＺＢＡ０００１＊＊
一次電源
Ｍ１ＮＦＢ１ Ｍ１ＮＦ１
ＣＰ１ＣＮ６
ＣＰ１ＣＮ５
ＣＰ１ＣＮ４
ＣＰ１ＣＮ３Ａ
ＣＰ１ＣＮ１
ＣＰ１ＣＮ２
ＯＰＴＩＯＮ装置
ＯＰＴＩＯＮ装置
２ＥＧＺＢＡ０００４＊＊
２ＡＧＴＢＢ０００３＊＊
２ＡＧＴＢＢ０００５＊＊
ＢＣＢＣＮ１Ａ
ＢＣＢＣＮ４
２ＥＧＺＢＡ００５０＊＊
２ＥＧＺＢＡ００５２＊＊
Ｍ１ＳＷ１
メインスイッチ
ＭＡＩＮ ＳＷ
メインブレーカ
ＮＯ ＦＵＳＥ ＢＲＥＡＫＥＲ
ノイズフィルター
ＮＯＩＳＥ ＦＩＬＴＥＲ
サーキットブレーカＢＫＴ
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＥＡＫＥＲ ＢＫＴ
ベース制御盤
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
２ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
２ＥＧＺＢＡ００５１＊＊
ＣＰ１ＣＮ３Ｂ ＢＣＢＣＮ１Ｂ
ベースＣＰＵ－ＢＯＸ
ＢＡＳＥ ＣＰＵ－ＢＯＸ
ＤＣ電源
ＤＣ ＳＵＰＰＬＹ
バックプレーン
ＢＡＣＫＰＬＡＮＥ
２ＥＧＴＢＣ０１４４＊＊
ＣＮ２０１ ＢＡＣＫＰＬＡＮＥ
ＣＮ１
２ＥＧＴＢＣ０１４５＊＊
冷却ファン（下部）
ＣＮ２０２ ＦＡＮ
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＵＮＤＥＲ）
２ＥＧＴＢＣ０１１８＊＊
２ＡＧＴＢＣ００１２＊＊
ＯＰＴＩＯＮ ＵＮＩＴ
ＯＰＴＩＯＮ ＵＮＩＴ
アースボスへ アースＢＫＴへ
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
アース接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
７
FUJI SECRET
2RGZBA000105
ＡＤＤＲＥＳＳ
3
一次電源
ＰＥ
Ｍ１ＳＷ１
ハンドルＢＫＴ
（２ＥＧＺＢＡ０００３＊＊） ２ＥＧＺＢＡ０００８＊＊
アースターミナル１
ＥＡＲＴＨ ＴＥＲＭＩＮＡＬ１
２ＥＧＺＢＡ０００９＊＊
アースターミナル２
ＥＡＲＴＨ ＴＥＲＭＩＮＡＬ２
メインスイッチ
ＭＡＩＮ ＳＷ
ノイズフィルター
ＮＯＩＳＥ ＦＩＬＴＥＲ
Ｍ１ＮＦ１
サーキットブレーカＢＫＴ
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＥＡＫＥＲ ＢＫＴ
サージキラー
ＳＵＲＧＥ ＫＩＬＬＥＲ
Ｍ１ＳＫ１
２ＥＧＺＢＢ００１５＊＊
２ＥＧＺＢＡ００１０＊＊
アースＢＫＴ
ＥＡＲＴＨ ＢＫＴ
２ＭⅢｃ ベース
２ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
（リストバンド中継 フロント）
（リストバンド中継 リア）
（４Ｍｃ流用）
（２ＥＧＺＢＡ００５３＊＊）
ベース制御Ｉ／Ｆ基板１ ＣＮ６へ
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
制御盤・基板搬送Ｉ／Ｆ接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
３
７
FUJI SECRET
2RGZBA000105
ＡＤＤＲＥＳＳ
7
ＡＤＤＲＥＳＳ
7
ＡＤＤＲＥＳＳ
2
ベース制御盤
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ＢＣＢＣＮ１８
ＣＮ６
ＣＮ５
２ＥＧＺＢＡ００１２＊＊
２ＥＧＺＢＡ００５３＊＊
ベース制御Ｉ／Ｆ基板１
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ １
パーツ真空ポンプ制御ＢＫＴ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＣＵＭ ＰＵＭＰ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＫＴ
ＭＳ１ＣＮ１
ＭＳ１ＣＮ３
ＭＳ１ＣＮ２
２ＥＧＺＢＡ００１３＊＊
Ｍ１Ｍ１
パーツ真空ポンプ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＣＵＭ ＰＵＭＰ
２ＡＧＴＢＢ００１０＊＊
２ＥＧＺＢＡ００１９＊＊
エアー圧力正常
Ｍ１ＰＳ１
ＡＩＲ ＣＨＥＣＫ
パーツバキューム圧力正常
Ｍ１ＰＳ２
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＯＫ
Ｍ１ＰＳ１
Ｍ１ＰＳ２
２ＲＧＴＢＢ００２９＊＊
２ＲＧＴＢＢ００３０＊＊
Ｍ１ＦＡＮ１
２ＥＧＺＢＡ００５４＊＊ ２ＡＧＺＢＢ００２１＊＊
冷却ファン（ベース背面１）
ＣＮ１２
Ｍ１
ＦＡＮ１
Ｍ１ＦＡＮ２
２ＡＧＺＢＢ００２２＊＊
冷却ファン（ベース背面２）
Ｍ１
ＦＡＮ２
ＣＮ２７Ａ
２ＥＧＺＢＡ００２１＊＊
ＣＮ３
ＣＮ２７Ａ
ＣＮ２８Ａ
ＲＨ５７３３＊
ＣＮ８
ＣＮ－２
ＳＭＦ
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ
２ＥＧＺＢＡ００１６＊＊
ＣＮ－５
ＳＭＦ
ＣＮ－１
ＳＭＦ
ＣＮ－３
ＳＭＦ
レーン１
ＬＡＮＥ１
レーン２
ＬＡＮＥ２
２ＥＧＴＢＢ００８０＊＊
ｏｒ
周辺装置
ＣＮ－Ｍ１
ＬＡＮＥ１－Ｆ
ＬＡＮＥ２－Ｆ
ＢＣＢＣＮ７
ＣＮＢ
ＣＮ２８Ａ ＣＮ２８Ａ
２ＥＧＺＢＡ００２２＊＊
ＣＮ４
ＲＨ５７３４＊
ＣＮ２７Ａ
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ
ＣＮ－Ｍ２
ＣＮ－１
ＳＭＲ
２ＥＧＴＢＢ００８０＊＊
ＣＮ－２
ＳＭＲ
ｏｒ
周辺装置
レーン１
ＣＮ－５
ＳＭＲ
ＣＮ－３
ＳＭＲ
ＬＡＮＥ１
ＬＡＮＥ１－Ｒ
レーン２
ＬＡＮＥ２
ＬＡＮＥ２－Ｒ
２ＥＧＺＢＡ００１７＊＊
ＣＮ９
２ＥＧＺＢＡ００６０＊＊
２ＭⅢｃ ベース
２ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
（２ＥＧＺＢＡ００３８＊＊）
（２ＥＧＺＢＡ００４９＊＊）
側面カバーＯＰＴＩＯＮ
１１
Ｍ１９１
1２
Ｍ１９１Ａ
２１
Ｍ１９２
２２
Ｍ１９２Ａ
ＲＨ５７３３＊
ベースより
ＣＮ２７Ｂ
３１
＋２４ＶＭ１
３２
Ｘ０１８
Ｅ１
Ｙ０００Ａ
Ｅ２
ＧＭ
１１
Ｍ１９１Ａ
1２
Ｍ１９１Ｂ
２１
Ｍ１９２Ａ
２２
Ｍ１９２Ｂ
ＲＨ５７３４＊
ベースより
ＣＮ２８Ｂ
３１
＋２４ＶＭ１
３２
Ｘ０１９
Ｅ１
Ｙ００１Ａ
Ｅ２
ＧＭ
盤内配線
モジュール１
接続コネクタＣＮ２へ
モジュール２
接続コネクタＣＮ２へ
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板 ＢＫＴ
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ ＢＫＴ
２ＥＧＺＢＡ００５０＊＊
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板ＢＫＴ
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ ＢＫＴ
２ＥＧＺＢＡ００５１＊＊
ＣＮ２７Ｂ
ＣＮ２８Ｂ
ＲＨ５７３５＊
ＲＨ５７３６＊
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＲＥＡＲ１）
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＲＥＡＲ２）
側面カバー左
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ（Ｌ）
側面カバー右
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ（Ｒ）
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＯＰＴＩＯＮ
ＦＲＯＭ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
ＦＲＯＭ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
側面カバー左
側面カバー右
（４Ｍ流用）
（４Ｍ流用）
ＦＧ
アースＢＫＴへ
（４Ｍ流用）
（４Ｍ流用）
（４Ｍｃ流用）
（４Ｍｃ流用）
サイドカバー（フラットタイプ）
＋安全ＳＷ背面仕様
２ＥＧＺＢＢ０１３２＊＊
ＣＮ２８Ｂ
側面カバー右
ＲＨ３５１７＊
ＯＰＴＩＯＮ
窓付きサイドカバー（装置右側）+安全ＳＷ背面タイプ
ＣＮ２８Ａ
２ＥＧＬＢＡ００１３＊＊
ＣＮ２８Ａ
２ＥＧＺＢＢ０１５５＊＊
連結コネクタ
（２ＥＧＴＢＡ００８１＊＊）
（後工程のＣＮ２７Ａ）
サイドカバー（フラットタイプ）
＋安全ＳＷ背面仕様
２ＥＧＺＢＢ０１３２＊＊
側面カバー左
ＲＨ３５１６＊
ＯＰＴＩＯＮ
窓付きサイドカバー（装置左側）＋安全ＳＷ背面仕様
ＣＮ２７Ａ ＣＮ２７Ａ
２ＥＧＴＢＢ０１６９＊＊ ２ＥＧＬＢＡ００１２＊＊
（前工程のＣＮ２８Ａ）
連結コネクタ
（２ＥＧＴＢＡ００８２＊＊）
ＣＮ２７Ｂ