2RGZBB007113 - 第130页
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ 接続図 ＮＦＶｃ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ ベース リモートＩ／Ｏ接続 ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. ４ ７ FUJI SECRET 2R GZ BA0 00 10 5 ベース制御盤 Ｂ Ａ Ｓ Ｅ Ｃ Ｏ Ｎ Ｔ Ｒ Ｏ Ｌ Ｂ Ｏ Ｘ ベース制御Ｉ／Ｆ 基板１ ベースリモ ートＩ／Ｏ基板１（メイン） Ｂ Ａ Ｓ Ｅ Ｃ Ｏ Ｎ Ｔ Ｒ Ｏ Ｌ Ｉ ／ Ｆ Ｐ Ｃ Ｂ １ Ｂ Ａ Ｓ Ｅ Ｒ Ｅ Ｍ Ｏ Ｔ Ｅ Ｉ／ Ｏ Ｐ …
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
制御盤・基板搬送Ｉ／Ｆ接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
３
７
FUJI SECRET
2RGZBA000105
ＡＤＤＲＥＳＳ
7
ＡＤＤＲＥＳＳ
7
ＡＤＤＲＥＳＳ
2
ベース制御盤
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ＢＣＢＣＮ１８
ＣＮ６
ＣＮ５
２ＥＧＺＢＡ００１２＊＊
２ＥＧＺＢＡ００５３＊＊
ベース制御Ｉ／Ｆ基板１
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ １
パーツ真空ポンプ制御ＢＫＴ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＣＵＭ ＰＵＭＰ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＫＴ
ＭＳ１ＣＮ１
ＭＳ１ＣＮ３
ＭＳ１ＣＮ２
２ＥＧＺＢＡ００１３＊＊
Ｍ１Ｍ１
パーツ真空ポンプ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＣＵＭ ＰＵＭＰ
２ＡＧＴＢＢ００１０＊＊
２ＥＧＺＢＡ００１９＊＊
エアー圧力正常
Ｍ１ＰＳ１
ＡＩＲ ＣＨＥＣＫ
パーツバキューム圧力正常
Ｍ１ＰＳ２
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＯＫ
Ｍ１ＰＳ１
Ｍ１ＰＳ２
２ＲＧＴＢＢ００２９＊＊
２ＲＧＴＢＢ００３０＊＊
Ｍ１ＦＡＮ１
２ＥＧＺＢＡ００５４＊＊ ２ＡＧＺＢＢ００２１＊＊
冷却ファン（ベース背面１）
ＣＮ１２
Ｍ１
ＦＡＮ１
Ｍ１ＦＡＮ２
２ＡＧＺＢＢ００２２＊＊
冷却ファン（ベース背面２）
Ｍ１
ＦＡＮ２
ＣＮ２７Ａ
２ＥＧＺＢＡ００２１＊＊
ＣＮ３
ＣＮ２７Ａ
ＣＮ２８Ａ
ＲＨ５７３３＊
ＣＮ８
ＣＮ－２
ＳＭＦ
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ
２ＥＧＺＢＡ００１６＊＊
ＣＮ－５
ＳＭＦ
ＣＮ－１
ＳＭＦ
ＣＮ－３
ＳＭＦ
レーン１
ＬＡＮＥ１
レーン２
ＬＡＮＥ２
２ＥＧＴＢＢ００８０＊＊
ｏｒ
周辺装置
ＣＮ－Ｍ１
ＬＡＮＥ１－Ｆ
ＬＡＮＥ２－Ｆ
ＢＣＢＣＮ７
ＣＮＢ
ＣＮ２８Ａ ＣＮ２８Ａ
２ＥＧＺＢＡ００２２＊＊
ＣＮ４
ＲＨ５７３４＊
ＣＮ２７Ａ
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ
ＣＮ－Ｍ２
ＣＮ－１
ＳＭＲ
２ＥＧＴＢＢ００８０＊＊
ＣＮ－２
ＳＭＲ
ｏｒ
周辺装置
レーン１
ＣＮ－５
ＳＭＲ
ＣＮ－３
ＳＭＲ
ＬＡＮＥ１
ＬＡＮＥ１－Ｒ
レーン２
ＬＡＮＥ２
ＬＡＮＥ２－Ｒ
２ＥＧＺＢＡ００１７＊＊
ＣＮ９
２ＥＧＺＢＡ００６０＊＊
２ＭⅢｃ ベース
２ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
（２ＥＧＺＢＡ００３８＊＊）
（２ＥＧＺＢＡ００４９＊＊）
側面カバーＯＰＴＩＯＮ
１１
Ｍ１９１
1２
Ｍ１９１Ａ
２１
Ｍ１９２
２２
Ｍ１９２Ａ
ＲＨ５７３３＊
ベースより
ＣＮ２７Ｂ
３１
＋２４ＶＭ１
３２
Ｘ０１８
Ｅ１
Ｙ０００Ａ
Ｅ２
ＧＭ
１１
Ｍ１９１Ａ
1２
Ｍ１９１Ｂ
２１
Ｍ１９２Ａ
２２
Ｍ１９２Ｂ
ＲＨ５７３４＊
ベースより
ＣＮ２８Ｂ
３１
＋２４ＶＭ１
３２
Ｘ０１９
Ｅ１
Ｙ００１Ａ
Ｅ２
ＧＭ
盤内配線
モジュール１
接続コネクタＣＮ２へ
モジュール２
接続コネクタＣＮ２へ
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板 ＢＫＴ
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ ＢＫＴ
２ＥＧＺＢＡ００５０＊＊
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板ＢＫＴ
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ ＢＫＴ
２ＥＧＺＢＡ００５１＊＊
ＣＮ２７Ｂ
ＣＮ２８Ｂ
ＲＨ５７３５＊
ＲＨ５７３６＊
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＲＥＡＲ１）
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＲＥＡＲ２）
側面カバー左
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ（Ｌ）
側面カバー右
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ（Ｒ）
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＯＰＴＩＯＮ
ＦＲＯＭ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
ＦＲＯＭ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
側面カバー左
側面カバー右
（４Ｍ流用）
（４Ｍ流用）
ＦＧ
アースＢＫＴへ
（４Ｍ流用）
（４Ｍ流用）
（４Ｍｃ流用）
（４Ｍｃ流用）
サイドカバー（フラットタイプ）
＋安全ＳＷ背面仕様
２ＥＧＺＢＢ０１３２＊＊
ＣＮ２８Ｂ
側面カバー右
ＲＨ３５１７＊
ＯＰＴＩＯＮ
窓付きサイドカバー（装置右側）+安全ＳＷ背面タイプ
ＣＮ２８Ａ
２ＥＧＬＢＡ００１３＊＊
ＣＮ２８Ａ
２ＥＧＺＢＢ０１５５＊＊
連結コネクタ
（２ＥＧＴＢＡ００８１＊＊）
（後工程のＣＮ２７Ａ）
サイドカバー（フラットタイプ）
＋安全ＳＷ背面仕様
２ＥＧＺＢＢ０１３２＊＊
側面カバー左
ＲＨ３５１６＊
ＯＰＴＩＯＮ
窓付きサイドカバー（装置左側）＋安全ＳＷ背面仕様
ＣＮ２７Ａ ＣＮ２７Ａ
２ＥＧＴＢＢ０１６９＊＊ ２ＥＧＬＢＡ００１２＊＊
（前工程のＣＮ２８Ａ）
連結コネクタ
（２ＥＧＴＢＡ００８２＊＊）
ＣＮ２７Ｂ
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
ベース リモートＩ／Ｏ接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
４
７
FUJI SECRET
2RGZBA000105
ベース制御盤
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ベース制御Ｉ／Ｆ基板１
ベースリモートＩ／Ｏ基板１（メイン）
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ １
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＰＣＢ １（ＭＡＩＮ）
２ＥＧＺＢＡ００２４＊＊
ＢＣＢＣＮ５ ＣＮ２－１
ＣＮ２－２ ＣＮ１－２
ベースリモートＩ／Ｏ基板１（中継）
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＰＣＢ １（ＡＤＡＰＴＥＲ）
ＣＮ３ ＣＮＡ
２ＥＧＺＢＡ００５５＊＊
ＣＮ１７ ＣＮ５
２ＥＧＺＢＡ００５７＊＊
ＣＮ７
モジュール１着座確認
Ｍ１ＬＳ１４
ＭＯＤＵＬＥ １ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
モジュール２着座確認
Ｍ１ＬＳ２４
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
２ＥＧＺＢＡ００２６＊＊
タイムカウンタ
ＣＮ１５
ＴＭ１
ＴＩＭＥ ＣＯＵＮＴＥＲ
Ｍ１ＬＳ１７
２ＲＧＴＢＢ０１４８＊＊
残テープＢＯＸ１有りセンサ
Ｍ１ＬＳ１７
ＴＡＰＥ ＢＯＸ １ ＣＨＥＣＫ
２ＭⅢｃ ベース
２ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
１ ＲＸ０００
２ ＲＹ００２
３ ＲＹ００Ａ
４ ＲＸ００８
５ ＲＸ００７
６
７ ＲＸ００３
８ ＲＸ００Ｂ
Ｍ１ＬＳ１８
Ｍ１ＬＳ２８
Ｍ１ＬＳ１８
２ＥＧＺＢＡ００４４＊＊
Ｍ１ＬＳ２８
２ＥＧＺＢＡ００４５＊＊
ＣＮＢＲ１
２ＲＧＺＢＡ００２６＊＊
モジュール１引込み確認安全ＳＷ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＰＵＬＬ ＦＯＲＷＡＲＤ ＣＨＥＣＫ ＳＡＦＥＴＹ ＳＷＩＴＣＨ
モジュール２引込み確認安全ＳＷ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＰＵＬＬ ＦＯＲＷＡＲＤ ＣＨＥＣＫ ＳＡＦＥＴＹ ＳＷＩＴＣＨ
（４Ｍ流用）
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
ベース リモートＩ／Ｏ１接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
５
７
FUJI SECRET
2RGZBA000105
ベースリモートＩ／Ｏ基板１（中継）
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＰＣＢ １（ＡＤＡＰＴＥＲ）
＋２４ＶＭ
ＲＹ０００
ＧＭ
ＲＹ００１
ＧＭ
ＲＹ００２
ＧＭ
ＲＹ００３
ＧＭ
１
２
３
４
５
６
７
８
９
１０
＋２４ＶＭ
ＲＸ００１
＋２４ＶＭ
ＲＸ００２
ＧＭ
１
２
３
４
５
６
＋２４ＶＭ
ＲＹ００８
ＧＭ
ＲＹ００９
ＧＭ
ＲＹ００Ａ
ＧＭ
ＲＹ００Ｂ
ＧＭ
１
２
３
４
５
６
７
８
９
１０
＋２４ＶＭ
ＲＸ００９
＋２４ＶＭ
ＲＸ００Ａ
ＧＭ
１
２
３
４
５
６
＋２４ＶＭ
ＲＸ００５
＋２４ＶＭ
ＲＸ００Ｄ
１
２
３
４
５
＋２４ＶＭ
ＲＸ００４
＋２４ＶＭ
ＲＸ００Ｃ
１
２
３
４
５
ベースリモートＩ／Ｏ基板１（中継）
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＰＣＢ １（ＡＤＡＰＴＥＲ）
ＩＮＰＵＴ
モジュール１クランプ
Ｍ１ＳＯＬ１Ｅ
モジュール１アンクランプ
Ｍ１ＳＯＬ２Ｅ
モジュール１フロント・リア クランプ
Ｍ１ＳＯＬ１７Ｅ
モジュール１フロント・リア アンクランプ
Ｍ１ＳＯＬ１８Ｅ
ＣＮ１
ＣＮ２
ＣＮ３
ＣＮ４
ＣＮ６
ＣＮ７
２ＥＧＺＢＡ００２７＊＊
モジュール１アンクランプ確認
Ｍ１ＬＳ１２
モジュール１クランプ位置確認
Ｍ１ＬＳ１３
モジュール２クランプ
Ｍ１ＳＯＬ３Ｅ
モジュール２アンクランプ
Ｍ１ＳＯＬ４Ｅ
２ＥＧＺＢＡ００２８＊＊
モジュール２フロント・リア クランプ
Ｍ１ＳＯＬ２７Ｅ
モジュール２フロント・リア アンクランプ
Ｍ１ＳＯＬ２８Ｅ
モジュール２アンクランプ確認
Ｍ１ＬＳ２２
モジュール２クランプ位置確認
Ｍ１ＬＳ２３
モジュール１リア アンクランプ（左）
Ｍ１ＬＳ１５Ａ
モジュール１リア アンクランプ（右）
Ｍ１ＬＳ１５Ｂ
２ＥＧＺＢＡ００５６＊＊
モジュール２リア アンクランプ（左）
Ｍ１ＬＳ２５Ａ
モジュール２リア アンクランプ（右）
Ｍ１ＬＳ２５Ｂ
モジュール１フロント アンクランプ（左）
Ｍ１ＬＳ１４Ａ
モジュール１フロント アンクランプ（右）
Ｍ１ＬＳ１４Ｂ
２ＥＧＺＢＡ００３０＊＊
モジュール２フロント アンクランプ（左）
Ｍ１ＬＳ２４Ａ
モジュール２フロント アンクランプ（右）
Ｍ１ＬＳ２４Ｂ
２ＲＧＺＢＡ００１７＊＊
Ｆ－Ｍ１２
２ＲＧＺＢＡ００１２＊＊
２ＭⅢｃ ベース
２ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＸ００６
３ ＧＭ
ＣＮ－Ｘ
ｂ－３
（ＲＸ００６）
４
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＸ００Ｅ
ＣＮ－Ｘ
ｄ－３
（ＲＸ００Ｅ）
３ ＧＭ
４
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＸ００Ｆ
ＣＮ－Ｘ
ｄ－４
（ＲＸ００Ｆ）
３ ＧＭ
４
１ ＋２４ＶＭ
２ ＋２４ＶＭ
ＣＮ－Ｘ
ｅ－４
（予備）
３ ＧＭ
４ ＧＭ
ＯＵＴＰＵＴ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＹ００４
ＣＮ－Ｙ
ｂ－１
（ＲＹ００４）
３ ＧＭ
４ ＧＭ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＹ００５
ＣＮ－Ｙ
ｂ－２
（ＲＹ００５）
３ ＧＭ
４ ＧＭ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＹ００６
ＣＮ－Ｙ
ｂ－３
（ＲＹ００６）
３ ＧＭ
４ ＧＭ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＹ００７
ＣＮ－Ｙ
ｂ－４
（ＲＹ００７）
３ ＧＭ
４ ＧＭ
ＯＵＴＰＵＴ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＹ００Ｃ＋
ＣＮ－Ｙ
ｄ－１
（ＲＹ００Ｃ）
３ ＲＹ００Ｃ－
４ ＧＭ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＹ００Ｄ＋
ＣＮ－Ｙ
ｄ－２
（ＲＹ００Ｄ）
３ ＲＹ００Ｄ－
４ ＧＭ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＹ００Ｅ＋
ＣＮ－Ｙ
ｄ－３
（ＲＹ００Ｅ）
３ ＲＹ００Ｅ－
４ ＧＭ
１ ＋２４ＶＭ
２ ＲＹ００Ｆ＋
ＣＮ－Ｙ
ｄ－４
（ＲＹ００Ｆ）
３ ＲＹ００Ｆ－
４ ＧＭ
２ＲＧＺＢＡ００２９＊＊
２ＲＧＺＢＡ００３０＊＊
Ｒ－Ｍ１
Ｒ－Ｍ２
ＣＮＲ１
ＣＮＲ２
２ＲＧＺＢＡ００２３＊＊
ＭＯＤＵＬＥ １ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ（Ｌ）
ＭＯＤＵＬＥ １ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ（Ｒ）
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ（Ｌ）
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ（Ｒ）
ＭＯＤＵＬＥ １ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ（Ｌ）
ＭＯＤＵＬＥ １ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ（Ｒ）
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ（Ｌ）
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ（Ｒ）
２ＥＧＺＢＡ００５９＊＊
２ＥＧＺＢＡ００５８＊＊ ２ＲＧＺＢＡ００２４＊＊
２ＲＧＺＢＡ００２５＊＊