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ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ 接続図 ＮＦＶｃ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ 制御盤・基板搬送Ｉ／Ｆ接続 ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. ３ ８ FUJI SECRET 2R GZ BB0 00 10 5 Ａ Ｄ Ｄ Ｒ Ｅ Ｓ Ｓ 8 Ａ Ｄ Ｄ Ｒ Ｅ Ｓ Ｓ 8 Ａ Ｄ Ｄ Ｒ Ｅ Ｓ Ｓ 2 ベース制御 盤 Ｂ Ａ Ｓ Ｅ Ｃ Ｏ Ｎ Ｔ Ｒ Ｏ Ｌ ＢＯ Ｘ Ｂ Ｃ Ｂ Ｃ Ｎ １ ８ Ｃ Ｎ ６ Ｃ Ｎ ５ ２ ＥＧ ＺＢ Ｂ０ １ ０ ０ ＊＊ ベー…
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
アース接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
８
FUJI SECRET
2RGZBB000105
ＡＤＤＲＥＳＳ
3
一次電源
ＰＥ
（２ＥＧＺＢＢ０００３＊＊）
アースターミナル１
ＥＡＲＴＨ ＴＥＲＭＩＮＡＬ１
アースターミナル２
ＥＡＲＴＨ ＴＥＲＭＩＮＡＬ２
メインスイッチ
ＭＡＩＮ ＳＷ
ノイズフィルター
ＮＯＩＳＥ ＦＩＬＴＥＲ
Ｍ１ＮＦ１
サーキットブレーカＢＫＴ
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＥＡＫＥＲ ＢＫＴ
サーキットブレーカ増設ＢＫＴ
ＥＸＴＥＮＤ ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＥＡＫＥＲ ＢＫＴ
２ＥＧＺＢＢ００１５＊＊
２ＥＧＺＢＢ００１３＊＊
２ＥＧＺＢＢ００１４＊＊
アースＢＫＴ
ＥＡＲＴＨ ＢＫＴ
４ＭⅢｃ ベース
４ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
（リストバンド中継 フロント）
（リストバンド中継 リア左）
Ｍ１ＳＷ１
ハンドルＢＫＴ
サージキラー
ＳＵＲＧＥ ＫＩＬＬＥＲ
Ｍ１ＳＫ１
２ＥＧＺＢＢ００１１＊＊
２ＥＧＺＢＢ０１１１＊＊
トランス
ＴＲＡＮＳＦＯＲＭＥＲ
トランス
Ｍ１Ｔ１
２ＥＧＺＢＢ００７６＊＊
トランス ＯＰＴＩＯＮ
２ＥＧＺＢＢ００７０＊＊
アースターミナル３ （リストバンド中継 リア右）
ＥＡＲＴＨ ＴＥＲＭＩＮＡＬ３
トランス ＯＰＴＩＯＮ
（２ＥＧＺＢＢ００７１＊＊）
（２ＥＧＺＢＢ０１００＊＊）
ベース制御Ｉ／Ｆ基板１ ＣＮ６へ
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
制御盤・基板搬送Ｉ／Ｆ接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
３
８
FUJI SECRET
2RGZBB000105
ＡＤＤＲＥＳＳ
8
ＡＤＤＲＥＳＳ
8
ＡＤＤＲＥＳＳ
2
ベース制御盤
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ＢＣＢＣＮ１８
ＣＮ６
ＣＮ５
２ＥＧＺＢＢ０１００＊＊
ベース制御Ｉ／Ｆ基板１
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ １
パーツ真空ポンプ制御ＢＫＴ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＣＵＭ ＰＵＭＰ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＫＴ
ＭＳ１ＣＮ１
ＭＳ１ＣＮ３
ＭＳ１ＣＮ２ Ｍ１Ｍ１
パーツ真空ポンプ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＣＵＭ ＰＵＭＰ
２ＡＧＴＢＢ００７０＊＊
２ＥＧＺＢＢ００２４＊＊
エアー圧力正常
Ｍ１ＰＳ１
ＡＩＲ ＣＨＥＣＫ
パーツバキューム圧力正常
Ｍ１ＰＳ２
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＯＫ
Ｍ１ＰＳ１
Ｍ１ＰＳ２
２ＲＧＴＢＢ００２９＊＊
２ＲＧＴＢＢ００３０＊＊
Ｍ１ＦＡＮ１
２ＥＧＺＢＢ００８９＊＊ ２ＡＧＺＢＢ００２１＊＊
冷却ファン（ベース背面１）
ＣＮ１２
Ｍ１
ＦＡＮ１
Ｍ１ＦＡＮ２
冷却ファン（ベース背面２）
Ｍ１
ＦＡＮ２
ＣＮ２７Ａ
２ＥＧＺＢＢ００２６＊＊
ＣＮ３
ＣＮ８
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ
２ＥＧＺＢＢ００８８＊＊
ＣＮ－５
ＳＭＦ
ＣＮ－１
ＳＭＦ
ＣＮ－３
ＳＭＦ
レーン１
ＬＡＮＥ１
レーン２
ＬＡＮＥ２
ＬＡＮＥ１－Ｆ
ＬＡＮＥ２－Ｆ
ＢＣＢＣＮ７
ＣＮＢ
２ＥＧＺＢＢ００２０＊＊
２ＥＧＺＢＢ００３６＊＊
ベース増設制御盤
ＥＸＴＥＮＤ ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ベース制御Ｉ／Ｆ基板２
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ ２
ＣＮ２８Ａ
２ＥＧＺＢＢ００２７＊＊
ＣＮ４
ＣＮＡ
ＥＢＣＢＣＮ４
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ
ＣＮ－１
ＳＭＲ
レーン１
ＣＮ－５
ＳＭＲ
ＣＮ－３
ＳＭＲ
ＬＡＮＥ１
ＬＡＮＥ１－Ｒ
レーン２
ＬＡＮＥ２
ＬＡＮＥ２－Ｒ
２ＥＧＺＢＢ００２２＊＊
ＣＮ９
２ＥＧＺＢＢ０１１０＊＊
４ＭⅢｃ ベース
４ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
（２ＥＧＺＢＢ００５４＊＊）
（２ＥＧＺＢＢ００８４＊＊）
側面カバーＯＰＴＩＯＮ
１１
Ｍ１９１
1２
Ｍ１９１Ａ
２１
Ｍ１９２
２２
Ｍ１９２Ａ
ＲＨ５７３３＊
ベースより
ＣＮ２７Ｂ
３１
＋２４ＶＭ１
３２
Ｘ０１８
Ｅ１
Ｙ０００Ａ
Ｅ２
ＧＭ
１１
Ｍ１９１Ａ
1２
Ｍ１９１Ｂ
２１
Ｍ１９２Ａ
２２
Ｍ１９２Ｂ
ＲＨ５７３４＊
ベースより
ＣＮ２８Ｂ
３１
＋２４ＶＭ１
３２
Ｘ０１９
Ｅ１
Ｙ００１Ａ
Ｅ２
ＧＭ
２ＥＧＺＢＢ００９４＊＊
ＣＮ１２
Ｍ１ＦＡＮ５
２ＲＧＴＢＢ００３５＊＊
冷却ファン（トランス後）
Ｍ１
ＦＡＮ５
Ｍ１ＦＡＮ６
２ＲＧＴＢＢ００３６＊＊
冷却ファン（トランス上）
Ｍ１
ＦＡＮ６
盤内配線
モジュール１
接続コネクタＣＮ２へ
モジュール４
接続コネクタＣＮ２へ
ＣＮ－Ｍ２
ＣＮ－２
ＳＭＲ
２ＥＧＴＢＢ００８０＊＊
ｏｒ
周辺装置
２ＥＧＴＢＢ００８０＊＊
ｏｒ
周辺装置
ＣＮ－Ｍ１
ＣＮ－２
ＳＭＦ
Ｍ１ＦＡＮ３
冷却ファン（ベース背面３）
Ｍ１
ＦＡＮ３
Ｍ１ＦＡＮ４
冷却ファン（ベース背面４）
Ｍ１
ＦＡＮ４
２ＥＧＺＢＢ００１６＊＊
２ＥＧＺＢＢ００１７＊＊
トランス ＯＰＴＩＯＮ
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板 ＢＫＴ
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ ＢＫＴ
２ＥＧＴＢＡ００５０＊＊
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板ＢＫＴ
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＰＣＢ ＢＫＴ
２ＥＧＴＢＡ００５１＊＊
ＣＮ２７Ａ ＣＮ２７Ｂ
ＲＨ５７３５＊
側面カバー左
ＲＨ５７３３＊
ＣＮ２８Ａ
ＣＮ２８Ａ ＣＮ２８Ｂ
ＲＨ５７３６＊
側面カバー右
ＲＨ５７３４＊
ＣＮ２７Ａ
ＦＧ
ＣＮ１６
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＲＥＡＲ１）
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＲＥＡＲ２）
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＲＥＡＲ３）
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＲＥＡＲ４）
ＴＲＡＮＳＦＯＲＭＥＲ ＯＰＴＩＯＮ
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＴＲＡＮＳＦＯＲＭＥＲ ＲＥＡＲ）
ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ （ＴＲＡＮＳＦＯＲＭＥＲ ＵＰＰＥＲ）
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＯＰＴＩＯＮ
ＦＲＯＭ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
ＦＲＯＭ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
側面カバー左
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ（Ｌ）
側面カバー右
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ（Ｒ）
（４Ｍ流用）
（４Ｍ流用）
ＦＧ
アースＢＫＴへ
（４Ｍ流用）
（４Ｍ流用）
サイドカバー（フラットタイプ）
＋安全ＳＷ背面仕様
２ＥＧＺＢＢ０１３２＊＊
ＣＮ２８Ａ
側面カバー右
ＲＨ３５１７＊
ＯＰＴＩＯＮ
窓付きサイドカバー（装置右側）+安全ＳＷ背面タイプ
ＣＮ２８ＡＣＮ２８Ａ
２ＥＧＺＢＢ０１５５＊＊ ２ＥＧＬＢＡ００１３＊＊
連結コネクタ
（２ＥＧＺＢＢ００２６＊＊）
（後工程のＣＮ２７Ａ）
サイドカバー（フラットタイプ）
＋安全ＳＷ背面仕様
２ＥＧＺＢＢ０１３２＊＊
側面カバー左
ＲＨ３５１６＊
ＯＰＴＩＯＮ
窓付きサイドカバー（装置左側）＋安全ＳＷ背面仕様
ＣＮ２７Ａ ＣＮ２７Ａ
２ＥＧＴＢＢ０１６９＊＊ ２ＥＧＬＢＡ００１２＊＊
連結コネクタ
（２ＥＧＺＢＢ００２７＊＊）
（前工程のＣＮ２８Ａ）
ＣＮ２７Ｂ
２ＡＧＺＢＢ００２２＊＊
２ＡＧＺＢＢ００２３＊＊
２ＡＧＺＢＢ００２４＊＊
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
接続図
ＮＦＶｃ
ＴＩＴＬＥ
ベース リモートＩ／Ｏ接続
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
４
８
FUJI SECRET
2RGZBB000105
ベース制御盤
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ベース制御Ｉ／Ｆ基板１
ベースリモートＩ／Ｏ基板１（メイン）
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ １
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＰＣＢ １（ＭＡＩＮ）
２ＥＧＺＢＢ００３０＊＊
ＢＣＢＣＮ５ ＣＮ２－１
ＣＮ２－２ ＣＮ１－２
ベースリモートＩ／Ｏ基板１（中継）
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＰＣＢ １（ＡＤＡＰＴＥＲ）
ＣＮ３ ＣＮＡ
２ＥＧＺＢＢ００９０＊＊
ＣＮ１７ ＣＮ５
２ＥＧＺＢＢ０１０１＊＊
ＣＮ７
ＣＮＢＲ１
２ＲＧＺＢＢ００９３＊＊
モジュール１着座確認
Ｍ１ＬＳ１４
ＭＯＤＵＬＥ １ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
モジュール２着座確認
Ｍ１ＬＳ２４
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
モジュール３着座確認
Ｍ１ＬＳ３４
ＭＯＤＵＬＥ ３ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
モジュール４着座確認
Ｍ１ＬＳ４４
ＭＯＤＵＬＥ ４ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
ベース増設制御盤
ＥＸＴＥＮＤ ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ
ベースリモートＩ／Ｏ基板２（メイン）
ベース制御Ｉ／Ｆ基板２
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＰＣＢ ２（ＭＡＩＮ）
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ Ｉ／Ｆ ＰＣＢ ２
２ＥＧＺＢＢ００３３＊＊
ＣＮ１－１ＣＮ２－１ＥＢＣＢＣＮ１４
ＣＮ１－２ＣＮ２－２
ベースリモートＩ／Ｏ基板２（中継）
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＰＣＢ ２（ＡＤＡＰＴＥＲ）
ＣＮＡＣＮ３
２ＥＧＺＢＢ００３４＊＊
ＣＮ１７
ＣＮ７
２ＥＧＺＢＢ００３２＊＊
タイムカウンタ
ＣＮ１５
ＴＭ１
ＴＩＭＥ ＣＯＵＮＴＥＲ
Ｍ１ＬＳ１７
２ＲＧＴＢＢ０１４８＊＊
残テープＢＯＸ１有りセンサ
Ｍ１ＬＳ１７
ＴＡＰＥ ＢＯＸ １ ＣＨＥＣＫ
Ｍ１ＬＳ３７
２ＥＧＺＢＢ００３５＊＊ ２ＲＧＴＢＢ０１４９＊＊
残テープＢＯＸ２有りセンサ
ＣＮ１５ Ｍ１ＬＳ３７
ＴＡＰＥ ＢＯＸ ２ ＣＨＥＣＫ
４ＭⅢｃ ベース
４ＭⅢｃ ＢＡＳＥ ＵＮＩＴ
１ ＲＸ０００
２ ＲＹ００２
３ ＲＹ００Ａ
４ ＲＸ００８
５ ＲＸ００７
６
７ ＲＸ００３
８ ＲＸ００Ｂ
１ ＲＸ０１０
２ ＲＹ０１２
３ ＲＹ０１Ａ
４ ＲＸ０１８
ＣＮ５
５ ＲＸ０１７
６
７ ＲＸ０１３
８ ＲＸ０１Ｂ
Ｍ１ＬＳ１８
モジュール１引込み確認安全ＳＷ
Ｍ１ＬＳ１８
ＭＯＤＵＬＥ １ ＰＵＬＬ ＦＯＲＷＡＲＤ ＣＨＥＣＫ ＳＡＦＥＴＹ ＳＷＩＴＣＨ
Ｍ１ＬＳ２８
Ｍ１ＬＳ３８
Ｍ１ＬＳ４８
２ＥＧＺＢＢ００４８＊＊
Ｍ１ＬＳ２８
２ＥＧＺＢＢ００６５＊＊
２ＥＧＺＢＢ００６６＊＊
Ｍ１ＬＳ３８
Ｍ１ＬＳ４８
２ＥＧＺＢＢ００６７＊＊
２ＥＧＺＢＢ００６８＊＊
ＣＮＢＲ２
２ＲＧＺＢＢ００９５＊＊
２ＥＧＺＢＢ０１０４＊＊
モジュール２引込み確認安全ＳＷ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＰＵＬＬ ＦＯＲＷＡＲＤ ＣＨＥＣＫ ＳＡＦＥＴＹ ＳＷＩＴＣＨ
モジュール３引込み確認安全ＳＷ
ＭＯＤＵＬＥ ３ ＰＵＬＬ ＦＯＲＷＡＲＤ ＣＨＥＣＫ ＳＡＦＥＴＹ ＳＷＩＴＣＨ
モジュール４引込み確認安全ＳＷ
ＭＯＤＵＬＥ ４ ＰＵＬＬ ＦＯＲＷＡＲＤ ＣＨＥＣＫ ＳＡＦＥＴＹ ＳＷＩＴＣＨ
（４Ｍ流用）
（４Ｍ流用）