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ＮＡＭＥ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. Ｉ／Ｆ回路図 I/F CIRCUIT DIAGRAM ﾍﾞｰｽ ～ M6cﾓｼﾞｭｰﾙ間 I/F BASE-M6c MODULE I/F ＴＹＰＥ ＮＸＴⅢｃ ３ ３ FUJI SECRET 2R GZ BB0 07 70 0 M1 MS 12 モジュール２電源遮断 M 1C R3 2 E モジュール２安全扉 M 1M S1 2 モジュール２電源遮断 ＣＮ２へ Ｓ Ｈ Ｉ Ｅ Ｌ Ｄ…
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
Ｉ／Ｆ回路図
I/F CIRCUIT DIAGRAM
ﾍﾞｰｽ ～ M6cﾓｼﾞｭｰﾙ間 I/F
BASE-M6c MODULE I/F
ＴＹＰＥ
ＮＸＴⅢｃ
２
３
FUJI SECRET
2RGZBB007700
M2LS4A
M1MS11
モジュール１電源遮断
DP3
M2CR13X
ＸＳ軸インターロック
DP4
M2LS4B
ＳＨＩＥＬＤ
ＣＮ２Ｒへ
－
＋
Ｍ６ｃモジュール
Ｍ６ｃ ＭＯＤＵＬＥ
ベース
ＢＡＳＥ
ＣＮ５ａ
＋ ＋
Ｃ７
１
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
－ －
ＲＳ４８５
Ｃ８
ＣＮ１
２
＊１モジュール目の場合
３
* In the case of 1st module
＋
Ｃ９
４
モジュール２インタフェース
ＭＯＤＵＬＥ２ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－
ＲＳ４８５
Ｃ１０
ＣＮ１
５
＊１モジュール目の場合
６
* In the case of 1st module
モジュール電源接続扉
MODULE POWER CONNECTION DOOR
＋２４ＶＭ１ ＋２４ＶＭ１
ＧＭ
Ｄ１
モジュール１電源遮断
ＭＯＤＵＬＥ１ ＰＯＷＥＲ ＯＦＦ
Ｍ１１０１ Ｍ１１０１
Ｄ２
＊１モジュール目の場合
* In the case of 1st module
Ｄ３
Ｄ４
Ｘ００７
Ｄ５
ＧＡ
Ｄ６
ＳＨＩＥＬＤ ＳＨＩＥＬＤ
Ｄ７
ペアモジュール非常停止要因
PAIR MODULE EMERGENCY STOP FACTOR
Ｍ１０１５ Ｍ２２８
Ｄ８
セーフティー回路運転条件
Ｍ１０１６ Ｍ２２１
Safety circuit operation conditions
Ｄ９
Ｄ１０
Ｍ６５０ ＋２４ＶＡ１
Ｅ１
Ｍ６：短絡
ＳＰ
ＧＭ
Ｅ２
ＸＳ軸インターロック
ＸＳ ＡＸＩＳ ＩＮＴＥＲＬＯＣＫ
Ｍ２７２
Ｅ３
ＳＥＲＶＯ ＢＯＡＲＤ
＋２４ＶＭ４Ａ
Ｉ／Ｏ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
ＯＰＴＯＢ
インターロック
Ｅ４
１０
interlock
Ｒ２３
Ｒ
ＡＩＭ：短絡
ＳＰ
Ｅ５
ＳＰ
Ｅ６
コンベアコントローラ
ＣＯＮＶＥＹＯＲ ＣＯＮＴＲＯＬＬＥＲ
Ｍ１１０１Ａ
Ｅ７
Ｅ８
Ｅ９
Ｅ１０
ＣＮ３
ＶＰ ＶＰ
１
ＶＧ ＶＧ
２
モジュールＣＰＵボックスへ
ＴＰＡ＊ ＴＰＡ＊
ＨＵＢへ
３
MODULE CPU BOX
ＨＵＢ１－ＣＨ１ １３９４ Ｐ０
ＴＰＡ ＴＰＡ
４
＊１モジュール目の場合
ＴＰＢ＊ ＴＰＢ＊
* In the case of 1st module
５
ＴＰＢ ＴＰＢ
６
Ｘ００５
Ｘ００６
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
Ｉ／Ｆ回路図
I/F CIRCUIT DIAGRAM
ﾍﾞｰｽ ～ M6cﾓｼﾞｭｰﾙ間 I/F
BASE-M6c MODULE I/F
ＴＹＰＥ
ＮＸＴⅢｃ
３
３
FUJI SECRET
2RGZBB007700
M1MS12
モジュール２電源遮断
M1CR32E
モジュール２安全扉
M1MS12
モジュール２電源遮断
ＣＮ２へ
ＳＨＩＥＬＤ
－
＋
Ｅ１
Ｅ２
Ｍ２５６
Ｅ７
＋２４ＶＭ４Ｂ
Ｅ９
＋
－
Ｅ１０
Ｅ１１
ＳＨＩＥＬＤ
Ｍ６ｃモジュール
Ｍ６ｃ ＭＯＤＵＬＥ
Ａ１
Ａ２
Ｂ１
Ｂ２
Ｂ９
Ｃ１
Ｃ９
Ｃ１０
Ｄ１
Ｄ２
Ｄ７
Ｄ３
Ｄ４
Ｄ６
ＣＮ２Ｒ
ベース
ＢＡＳＥ
＋２４ＶＭ４Ｂ
Ｍ１９２
＋
－
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０２
ＳＨＩＥＬＤ
Ｍ１００８
Ｍ１００９
セーフティー回路運転条件
Safety circuit operation conditions
ＧＭ
＋２４ＶＭ４
モジュール２安全扉
ＭＯＤＵＬＥ２ ＳＡＦＥＴＹ ＤＯＯＲ
＊２モジュール目の場合
* In the case of 2nd module
ＧＭ
モジュール２インタフェース
ＭＯＤＵＬＥ２ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
ＣＮ１
＊２モジュール目の場合
* In the case of 2nd module
モジュール２電源遮断
ＭＯＤＵＬＥ２ ＰＯＷＥＲ ＯＦＦ
＊２モジュール目の場合
* In the case of 2nd module
Ｍ１００９ Ｍ２２６
Ｃ３
セーフティー回路運転条件
Ｍ１０１０ Ｍ２２５
Safety circuit operation conditions
Ｃ４
MODULE 2 POWER OFF
モジュール２電源遮断
ＮＡＭＥ ＴＹＰＥ
Ｉ／Ｏアドレス表
I/O ADDRESS LIST
ＮＸＴⅢｃ
ＴＩＴＬＥ
ベースＩ／Ｏ
BASE I/O
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
２
FUJI SECRET
2RGZBB007801
【ＩＮＰＵＴ】
ＡＤＤＲＥＳＳ
ベースリモートＩ／Ｏ基板 Ｉ／Ｏアドレス表
ＲＸ０００
ＲＸ００１
ＲＸ００２
ＲＸ００３
ＲＸ００４
ＲＸ００５
ＲＸ００６
ＲＸ００７
ＲＸ００８
ＲＸ００９
ＲＸ００Ａ
ＲＸ００Ｂ
ＲＸ００Ｃ
ＲＸ００Ｄ
ＲＸ００Ｅ
ＲＸ００Ｆ
ＲＸ０１０
ＲＸ０１１
ＲＸ０１２
ＲＸ０１３
ＲＸ０１４
ＲＸ０１５
ＲＸ０１６
ＲＸ０１７
ＲＸ０１８
ＲＸ０１９
ＲＸ０１Ａ
ＲＸ０１Ｂ
ＲＸ０１Ｃ
ＲＸ０１Ｄ
ＲＸ０１Ｅ
ＲＸ０１Ｆ
ＢＡＳＥ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ Ｉ／Ｏ ＡＤＤＲＥＳＳ
モジュールＮｏ．１ アンクランプ確認
モジュールＮｏ．１ クランプ位置確認
モジュールＮｏ．１ 着座確認
モジュールＮｏ．１ フロントアンクランプ確認
モジュールＮｏ．１ リアアンクランプ確認
モジュールＮｏ．２ アンクランプ確認
モジュールＮｏ．２ クランプ位置確認
モジュールＮｏ．２ 着座確認
モジュールＮｏ．２ フロントアンクランプ確認
モジュールＮｏ．２ リアアンクランプ確認
モジュールＮｏ．３ アンクランプ確認
モジュールＮｏ．３ クランプ位置確認
モジュールＮｏ．３ 着座確認
モジュールＮｏ．３ フロントアンクランプ確認
モジュールＮｏ．３ リアアンクランプ確認
モジュールＮｏ．４ アンクランプ確認
モジュールＮｏ．４ クランプ位置確認
モジュールＮｏ．４ 着座確認
モジュールＮｏ．４ フロントアンクランプ確認
モジュールＮｏ．４ リアアンクランプ確認
ベース - リモートＩ／Ｏ基板①ベース - リモートＩ／Ｏ基板②
信号名称
ＢＡＳＥ−ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ①ＢＡＳＥ−ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ②
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＩＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＩＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＩＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＩＴＩＯＮ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
SIGNAL NAME
【ＯＵＴＰＵＴ】
ＡＤＤＲＥＳＳ
ＲＹ０００
ＲＹ００１
ＲＹ００２
ＲＹ００３
ＲＹ００４
ＲＹ００５
ＲＹ００６
ＲＹ００７
ＲＹ００８
ＲＹ００９
ＲＹ００Ａ
ＲＹ００Ｂ
ＲＹ００Ｃ
ＲＹ００Ｄ
ＲＹ００Ｅ
ＲＹ００Ｆ
ＲＹ０１０
ＲＹ０１１
ＲＹ０１２
ＲＹ０１３
ＲＹ０１４
ＲＹ０１５
ＲＹ０１６
ＲＹ０１７
ＲＹ０１８
ＲＹ０１９
ＲＹ０１Ａ
ＲＹ０１Ｂ
ＲＹ０１Ｃ
ＲＹ０１Ｄ
ＲＹ０１Ｅ
ＲＹ０１Ｆ
モジュールＮｏ．２ クランプ
モジュールＮｏ．２ アンクランプ
モジュールＮｏ．２ フロント、リアクランプ
モジュールＮｏ．２ フロント、リアアンクランプ
モジュールＮｏ．４ クランプ
モジュールＮｏ．４ アンクランプ
モジュールＮｏ．４ フロント、リアクランプ
モジュールＮｏ．４ フロント、リアアンクランプ
モジュールＮｏ．１ クランプ
モジュールＮｏ．１ アンクランプ
モジュールＮｏ．１ フロント、リアクランプ
モジュールＮｏ．１ フロント、リアアンクランプ
モジュールＮｏ．３ クランプ
モジュールＮｏ．３ アンクランプ
モジュールＮｏ．３ フロント、リアクランプ
モジュールＮｏ．３ フロント、リアアンクランプ
信号名称
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．２ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＵＮＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＣＬＡＭＰ
ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．４ ＦＲＯＮＴ，ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ
SIGNAL NAME
【ＩＮＰＵＴ】
ベースＣＰＵ基板 Ｉ／Ｏアドレス表
ＢＡＳＥ ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ Ｉ／Ｏ ＡＤＤＲＥＳＳ
ＡＤＤＲＥＳＳ
Ｘ０００
Ｘ００１
Ｘ００２
Ｘ００３
Ｘ００４
Ｘ００５
Ｘ００６
Ｘ００７
Ｘ００８
Ｘ００９
Ｘ００Ａ
Ｘ００Ｂ
Ｘ００Ｃ
Ｘ００Ｄ
Ｘ００Ｅ
Ｘ００Ｆ
Ｘ０１０
Ｘ０１１
Ｘ０１２
Ｘ０１３
Ｘ０１４
Ｘ０１５
Ｘ０１６
Ｘ０１７
Ｘ０１８
Ｘ０１９
Ｘ０１Ａ
Ｘ０１Ｂ
Ｘ０１Ｃ
Ｘ０１Ｄ
Ｘ０１Ｅ
Ｘ０１Ｆ
エアー圧力確認
パーツバキューム圧力確認
パーツインバータ正常
基板バキューム圧力確認・ＯＰＴＩＯＮ
基板インバータ正常・ＯＰＴＩＯＮ
ベース種確認１
ベース種確認２
ベース種確認３
サイドカバーあり前工程
サイドカバーあり後工程
ベース冷却ファン正常
サイドカバー開閉確認 前工程
サイドカバー開閉確認 後工程
信号名称
ＡＩＲ ＣＨＥＣＫ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＣＨＥＣＫ
ＰＡＲＴＳ ＩＮＶＥＲＴＥＲ ＯＫ
ＰＡＮＥＬ ＶＡＣＵＵＭ ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＣＨＥＣＫ（ＯＰＴＩＯＮ）
ＰＡＮＥＬ ＩＮＶＥＲＴＥＲ ＯＫ（ＯＰＴＩＯＮ）
ＢＡＳＥ ＴＹＰＥ ＣＨＥＣＫ １
ＢＡＳＥ ＴＹＰＥ ＣＨＥＣＫ ２
ＢＡＳＥ ＴＹＰＥ ＣＨＥＣＫ ３
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＰＲＥＳＥＮＴ−ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＭＡＣＨＩＮＥ
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＰＲＥＳＥＮＴ−ＮＥＸＴ ＭＡＣＨＩＮＥ
ＢＡＳＥ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ ＯＫ
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＣＬＯＳＥＤ ＣＨＥＣＫ−ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＭＡＣＨＩＮＥ
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＣＬＯＳＥＤ ＣＨＥＣＫ−ＮＥＸＴ ＭＡＣＨＩＮＥ
SIGNAL NAME
【ＯＵＴＰＵＴ】
ＡＤＤＲＥＳＳ
Ｙ０００
Ｙ００１
Ｙ００２
Ｙ００３
Ｙ００４
Ｙ００５
Ｙ００６
Ｙ００７
Ｙ００８
Ｙ００９
Ｙ００Ａ
Ｙ００Ｂ
Ｙ００Ｃ
Ｙ００Ｄ
Ｙ００Ｅ
Ｙ００Ｆ
Ｙ０１０
Ｙ０１１
Ｙ０１２
Ｙ０１３
Ｙ０１４
Ｙ０１５
Ｙ０１６
Ｙ０１７
Ｙ０１８
Ｙ０１９
Ｙ０１Ａ
Ｙ０１Ｂ
Ｙ０１Ｃ
Ｙ０１Ｄ
Ｙ０１Ｅ
Ｙ０１Ｆ
サイドカバーロック 前工程
パーツバキュームポンプ入り
基板バキュームポンプ入り・ＯＰＴＩＯＮ
ベース冷却ファン入り
サイドカバーロック 後工程
信号名称
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＬＯＣＫ−ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＭＡＣＨＩＮＥ
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＯＮ
ＰＡＮＥＬ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ ＯＮ（ＯＰＴＩＯＮ）
ＢＡＳＥ ＣＯＯＬＩＮＧ ＦＡＮ ＯＮ
ＳＩＤＥ ＣＯＶＥＲ ＬＯＣＫ−ＮＥＸＴ ＳＴＡＧＥ
SIGNAL NAME
モジュールＮｏ．１、２残テープボックスあり ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．１、２ ＴＡＰＥ ＢＯＸ ＯＫ
モジュールＮｏ．３、４残テープボックスあり ＭＯＤＵＬＥ Ｎｏ．３、４ ＴＡＰＥ ＢＯＸ ＯＫ
ベースリビジョン０
ベースリビジョン１
ＢＡＳＥ ＲＥＶＩＳＩＯＮ ０
ＢＡＳＥ ＲＥＶＩＳＩＯＮ １
ベース種確認４ ＢＡＳＥ ＴＹＰＥ ＣＨＥＣＫ ４
ＢＡＳＥ ＫＩＮＤ ＆ ＲＥＶＩＳＩＯＮ
Ｘ０１２ Ｘ０１３ Ｘ０１４Ｘ０１９
Ｘ００４
Ｘ００５
ＲＥＶ．２
４Ｍｃ
２Ｍｃ
ＢＡＳＥ ＫＩＮＤ
ＲＥＶＩＳＩＯＮ
０ １００
０００ １
０
１
４Ｍｃ
２Ｍｃ
前工程安全扉閉じ
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＭＡＣＨＩＮＥ ＣＯＶＥＲ ＣＬＯＳＥＤ ＣＨＥＣＫ
後工程安全扉閉じ ＮＥＸＴ ＭＡＣＨＩＮＥ ＣＯＶＥＲ ＣＬＯＳＥＤ ＣＨＥＣＫ
モジュール１引込み確認安全ＳＷ正常
MODULE 1 PULL FORWARD CHECK SAFETY SWITCH NORMAL
モジュール２引込み確認安全ＳＷ正常
MODULE 2 PULL FORWARD CHECK SAFETY SWITCH NORMAL
モジュール３引込み確認安全ＳＷ正常
MODULE 3 PULL FORWARD CHECK SAFETY SWITCH NORMAL
モジュール４引込み確認安全ＳＷ正常
MODULE 4 PULL FORWARD CHECK SAFETY SWITCH NORMAL
最終モジュールレーン１検査ＯＫ
LAST MODULE LANE 1 INSPECTION OK
最終モジュールレーン２検査ＯＫ
LAST MODULE LANE 2 INSPECTION OK
全レーン基板飛び出し確認正常
ALL LANE PANEL STICK OUT CHECK OK
レーン１基板飛び出し確認正常
LANE 1 PANEL STICK OUT CHECK OK
レーン２基板飛び出し確認正常
LANE 2 PANEL STICK OUT CHECK OK