2RGZBB007113 - 第23页
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3 45
NAME PAGE
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
19
3
TITLE TYPE
動力回路(AC)
POWER SOURCE CIRCUIT(AC)
NXTⅢc
DRAWING No.
3
4
FUJI SECRET
2RGZBB008000
M
~
M1M1
M1IV1
P1 P2
M1U1
R/L1 U
パーツバキュームポンプモータ
M1V1
S/L2 V
PARTS VACUUM PUMP MOTOR
400W
M1W1
T/L3 W
GM X008
CM 30B
Y006
FWD
+24VM1
X1 30C
R101
S101
T101
PARTS VACUUM PUMP CONTROL BOX
パーツバキュームポンプコントロールボックス
BCBCN4
-2
-3
-4
-1
BASE CONTROL BOX 1
ベースコントロールボックス1
BCBCN18
-1
-2
-3
-4
MS1CN1
-1
-2
-3
-4
BREAKER BOX 1
ブレーカボックス1
MS1CN3
-6
-5
-7
-1
-2
MS1CN2
-1
-2
-3
-6
AWG16
インタフェース基板1
INTERFACE BOARD 1
CN6
+24VM1
-1
X008
-2
+24VM1
-3
M141
-4
Y006
-5
GM
-6
-7
-8
M143
-9
-10
-5
SHIELD
SHIELD
-10
NEXT PAGE
Y009
GM
CP1CN4
-1
-2
-3
-4
R101
S101
T101

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4 45
NAME PAGE
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
19
4
TITLE TYPE
動力回路(AC)
POWER SOURCE CIRCUIT(AC)
NXTⅢc
DRAWING No.
4
4
FUJI SECRET
2RGZBB008000
ADDRESS
503
ベースコントロールボックス1
BASE CONTROL BOX 1
R101
S101
T101
BCBCN19
-1
-2
-3
-4
インタフェース基板1
INTERFACE BOARD 1
CN16
+24VM1
-1
X00B
-2
+24VM1
-3
M142
-4
Y007
-5
GM
-6
-7
-8
M144
-9
-10
インタフェース基板1
INTERFACE BOARD 1
CN5
+24VM1
-7
X00A
-8
GM
-9
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NAME PAGE
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
19
5
TITLE TYPE
動力回路(DC)
POWER SOURCE CIRCUIT(DC)
NXTⅢc
DRAWING No.
1
1
FUJI SECRET
2RGZBB008100
ADDRESS
1405
ADDRESS
1028
ADDRESS
1105
ADDRESS
1605
F1
(2A)
F3
(3.2A)
F4
(3.2A)
F2
(1A)
F1
(2A)
F2
(1A)
ADDRESS
421
F5
(2A)
F4
(3.2A)
F3
(3.2A)
F5
(2A)
AWG16
AWG16
M1REC1
R101
L
CN1-1
+24VM
+V
CN51-8
S101
N
CN1-3
GM
-V
CN51-4
FG
CN1-5
+24VM
+V
CN51-7
GM
-V
CN51-3
+V
CN51-6
-V
CN51-2
DC24V
150W
PEAK
-V
CN51-1
BCBCN17
-1
-2
-1
BCBCN7
-2
BCBCN5
-1
-2
BASE CONTROL BOX 1
ベースコントロールボックス1
インタフェース基板1
INTERFACE BOARD1
ベースコントロールボックス2
BASE CONTROL BOX 2
AWG16
EBCBCN4 EBCBCN11
+24VM
-1 -1
GM
-2 -2
インタフェース基板2
INTERFACE BOARD2
EBCBCN14
-1
-2
4Mc
CN1
+24VM
-1
GM
-2
CN1
+24VM
-1
GM
-2
CN2
X012
-14
X013
-15
X014
-16
CN3
+24VA
-1
GA
-2
-3
AD00
-4
アドレス設定”0”
+24VA
-5
AD01
-6
AD02
-7
AD03
-8
前工程基板搬送I/F基板
PREVIOUS PANEL TRANSFER I/F BOARD
後工程基板搬送I/F基板
NEXT PANEL TRANSFER I/F BOARD
CN3
+24VA
-1
GA
-2
-3
AD00
-4
+24VA
-5
AD01
-6
AD02
-7
AD03
-8
CN21
+24VM
-1
+24VM
-2
GM
-3
GM
-4
CN22
+24VM
-1
+24VM
-2
GM
-3
GM
-4
リモートI/O基板1
REMOTE I/O BOARD 1
リモートI/O基板2
REMOTE I/O BOARD 2
CN21
+24VM
-1
+24VM
-2
GM
-3
GM
-4
CN22
+24VM
-1
+24VM
-2
GM
-3
GM
-4
+24VM4
+24VM1
+24VM2
+24VM5
+24VM12
+24VM11
Address setting "0"
+24VM6
-19
+24VM6
-20
GM
-21
+24VM6
-22
GM
+24VM13
+24VM14
+24VM6