2RGZBB007113.pdf - 第31页
１ ２ ０ １ １ ２ ０ ２ １ ２ ０ ３ １ ２ ０ ４ １ ２ ０ ５ １ ２ ０ ６ １ ２ ０ ７ １ ２ ０ ８ １ ２ ０ ９ １ ２ １ ０ １ ２ １ １ １ ２ １ ２ １ ２ １ ３ １ ２ １ ４ １ ２ １ ５ １ ２ １ ６ １ ２ １ ７ １ ２ １ ８ １ ２ １ ９ １ ２ ２ ０ １ ２ ２ １ １ ２ ２ ２ １２ ２ ３ １２ ２ ４ １２ ２ ５ １２ ２ ６ １２ ２ ７ １２ ２ ８ １２…
１１ ０１
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１１ ３２
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１１ ３５
１１ ３６
１１ ３７
１１ ３８
１１ ３９
１１ ４０
１１ ４１
１１ ４２
１１ ４３
１１ ４４
１１ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１１
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
機械間Ｉ／Ｆ
INTERFACE BETWEEN MACHINES
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
２
FUJI SECRET
2RGZBB008501
ＡＤＤＲＥＳＳ
513
レーン１基板搬送コネクタ（後工程）
ＣＮＢＬ１
Ｌ１ＳＭＭ５
－１
後工程からの送れ信号（入力）
Ｌ１ＳＭＭ６
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－２
Ｌ１ＳＭＭ７
－３
後工程への基板あり信号（出力）
Ｌ１ＳＭＭ８
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－４ＣＮ－ＣＶＩＦ－Ｒ
ＵＮＵＳＥＤ
－１ －５
ＵＮＵＳＥＤ
－２ －６
Ｌ１ＳＭＭ１３
後工程への基板確認信号（出力）
－３ －７
Ｌ１ＳＭＭ１４
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－４ －８
ＲＥＳＥＲＶＥ
－５ －９
ＲＥＳＥＲＶＥ
－６ －１０
ＲＥＳＥＲＶＥ
－７ －１１
ＲＥＳＥＲＶＥ
－８ －１２
ＲＥＳＥＲＶＥ
－９ －１３
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１０ －１４
Ｌ１ＳＭＭ９
Ｌ１ＳＭＭ１０
Ｌ１ＳＭＭ１１／１３
Ｌ１ＳＭＭ１２／１４
Ｌ１ＳＭＭ１５
Ｌ１ＳＭＭ１６
Ｌ１ＳＭＭ１７
Ｌ１ＳＭＭ１８
Ｌ１ＳＭＭ１９
Ｌ１ＳＭＭ２０
ＬＡＮＥ１ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＯＵＴ）
レーン２基板搬送コネクタ（後工程）
ＬＡＮＥ２ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＯＵＴ）
ＣＮＢＬ２
Ｌ２ＳＭＭ５
後工程からの送れ信号（入力）
－１
Ｌ２ＳＭＭ６
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－２
Ｌ２ＳＭＭ７
後工程への基板あり信号（出力）
－３
Ｌ２ＳＭＭ８
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
ＣＮ－ＣＶＩＦ－Ｒ －４
Ｌ２ＳＭＭ９
ＵＮＵＳＥＤ
－１１ －５
Ｌ２ＳＭＭ１０
ＵＮＵＳＥＤ
－１２ －６
Ｌ２ＳＭＭ１１／１３ Ｌ２ＳＭＭ１３
後工程への基板確認信号（出力）
－１３ －７
Ｌ２ＳＭＭ１２／１４ Ｌ２ＳＭＭ１４
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－１４ －８
Ｌ２ＳＭＭ１５
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１５ －９
Ｌ２ＳＭＭ１６
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１６ －１０
Ｌ２ＳＭＭ１７
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１７ －１１
Ｌ２ＳＭＭ１８
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１８ －１２
Ｌ２ＳＭＭ１９
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１９ －１３
Ｌ２ＳＭＭ２０
ＲＥＳＥＲＶＥ
－２０ －１４
ＣＮ－Ｍ２
－４Ｃ
－４Ｄ
－３Ｄ
－５Ｄ
後工程インタフェース
ＮＥＸＴ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－１Ａ
－１Ｂ
－２Ａ
－２Ｂ
－３Ａ
－３Ｂ
－４Ａ
－４Ｂ
－５Ａ
－５Ｂ
－１Ｃ
－１Ｄ
－２Ｃ
－２Ｄ
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＣＮ２
ＲＳ－４８５ＲＳ－４８５
ＣＮ１
＋＋
－１－１
－－
－２－２
Ｒ－ＳＨＩＥＬＤ
－３－３
ＳＨＩＥＬＤ
－４
ＦＧ
ＣＮ４ＣＮ３
ベースコントロールボックス１
Ｂ３／Ａ３＋２４ＶＡ＋２４ＶＭ６
－１－１
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ １
Ｂ４／Ａ４ＧＡＧＭ
－２－２
Ｂ３／Ａ３
－３－３
Ｂ４／Ａ４ＡＤ００
追従許可信号
－４
電源
－４
アドレス設定”Ｆ”
ＦＯＬＬＯＷ ＰＥＲＭＩＴ
＋２４ＶＡ
ＰＯＷＥＲ
－５－５
ＡＤ０１
－６－６
ＡＤ０２
－７－７
ＡＤ０３
－８
ＣＮ５
ＳＭＭ１／ＳＭＭ５
－１
ＳＭＭ２／ＳＭＭ６
－２
ＳＭＭ３／ＳＭＭ７
－３
ＳＭＭ４／ＳＭＭ８
－４
ＳＭＭ１１／ＳＭＭ１３
－５
ＳＭＭ１２／ＳＭＭ１４
－６
ＳＭＭ１３／ＳＭＭ１１
－７
ＳＭＭ１４／ＳＭＭ１２
－８
－９
－１０
ＳＭＭ１／ＳＭＭ５
－１１
ＳＭＭ２／ＳＭＭ６
－１２
ＳＭＭ３／ＳＭＭ７
－１３
ＳＭＭ４／ＳＭＭ８
－１４
ＳＭＭ１１／ＳＭＭ１３
－１５
ＳＭＭ１２／ＳＭＭ１４
－１６
ＳＭＭ１３／ＳＭＭ１１
－１７
ＳＭＭ１４／ＳＭＭ１２
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
レーン１基板搬送コネクタ（前工程）
ＬＡＮＥ１ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＩＮ）
レーン２基板搬送コネクタ（前工程）
ＬＡＮＥ２ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＩＮ）
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
モジュールｎ
インタフェース
ＭＯＤＵＬＥｎ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－５Ｃ
－３Ｃ
Address setting "F"
ＦＵＪＩ仕様
ＦＵＪＩ Ｓｔａｎｄａｒｄ
後工程側
Ｎｅｘｔ ｓｉｄｅ
レーン１ レーン２
ＬＡＮＥ１ ＬＡＮＥ２
ピンＮｏ． 送れ入力 送れ入力
Ｐｉｎ Ｎｏ．
Ｓｅｎｄ ｉｎｐｕｔ Ｓｅｎｄ ｉｎｐｕｔ
１ Ｌ１ＳＭＭ５ Ｌ２ＳＭＭ５
２ Ｌ１ＳＭＭ６ Ｌ２ＳＭＭ６
コネクタ
ＳＴＡＳ２
ＳＴＡＳＩ２
（Ｈｉｒｓｃｈｍａｎｎ）
ＳＴＡＳ２
ＳＴＡＳＩ２
（Ｈｉｒｓｃｈｍａｎｎ）
Ｃｏｎｎｅｃｔｏｒ
ＣＡＢＬＥ：０.３ｍ㎡ ＣＡＢＬＥ：０.３ｍ㎡
注）ＦＵＪＩ仕様はＣＮＢＬ１、ＣＮＢＬ２ に延長ハーネスを追加しての対応となります。
Notes)FUJI Standard serve as correspondence which adds extended harness to CNBL1 and CNBL2.
ＲＹ２，５は後工程時ＯＮします
RY 2 and 5 is turned on at the time of a back process.
ＲＹ２ＲＹ１
ＲＹ３
＋２４Ｖ
０Ｖ
ＲＹ５ＲＹ４
ＲＹ６
＋２４Ｖ
０Ｖ
インタフェース基板１（２）
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １（２）
ＣＮ９
Ａ１１
－１
Ａ１２
－２
Ｂ９
－３
Ｘ０１１
－４
Ｍ１０１１
－５
Ｍ１０１２
－６
Ａ７
－７
Ａ８
－８
－９
－１０
－１１
－１２
４Ｍｃ２Ｍｃ
ＣＮ７
Ｌ１ＳＭＭ９
－１
Ｌ１ＳＭＭ１０
－２
Ｌ１ＳＭＭ１９
－３
Ｌ１ＳＭＭ２０
ＩＨコンベア Ｉ／Ｆ
－４
Ｌ２ＳＭＭ９
ＩＨ ＣＯＮＶＥＹＯＲ Ｉ／Ｆ
－５
Ｌ２ＳＭＭ１０
－６
Ｌ２ＳＭＭ１９
－７
Ｌ２ＳＭＭ２０
－８
１２ ０１
１２ ０２
１２ ０３
１２ ０４
１２ ０５
１２ ０６
１２ ０７
１２ ０８
１２ ０９
１２ １０
１２ １１
１２ １２
１２ １３
１２ １４
１２ １５
１２ １６
１２ １７
１２ １８
１２ １９
１２ ２０
１２ ２１
１２ ２２
１２ ２３
１２ ２４
１２ ２５
１２ ２６
１２ ２７
１２ ２８
１２ ２９
１２ ３０
１２ ３１
１２ ３２
１２ ３３
１２ ３４
１２ ３５
１２ ３６
１２ ３７
１２ ３８
１２ ３９
１２ ４０
１２ ４１
１２ ４２
１２ ４３
１２ ４４
１２ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１２
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
モジュールＩ／Ｆ
MODULE INTERFACE
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
２
FUJI SECRET
2RGZBB008600
－Ａ１
ＣＮ２
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
－Ｂ１
－Ｂ２
－Ｂ３
－Ｂ４
－Ｂ５
－Ｂ６
－Ｂ７
－Ｂ８
－Ｂ９
－Ｂ１０
－Ｃ１
－Ｃ２
－Ｄ１
－Ｄ２
－Ｃ５
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
－Ｄ３
－Ｄ４
－Ｄ５
－Ｄ６
－Ｅ１
－Ｅ２
－Ｅ３
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
－Ｃ７
－Ｃ８
－Ｄ７
－Ｃ９
－Ｃ１０
モジュール１
ＭＯＤＵＬＥ １
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ１
＋
－
ＳＨＩＥＬＤ
＋
－
Ｅ１
Ｅ２
Ｍ２５６
Ｅ７
Ｍ１７５
Ｘ０１６
Ｘ０１７
Ｘ０１８
Ｘ０１９
＋２４ＶＡ１
＋２４ＶＭ４Ａ
ＧＭ
Ｅ９
Ｍ２７１
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０１
Ｘ００５
Ｘ００６
Ｘ００７
ＧＡ
Ｍ６５０
Ｍ２７２
ＯＰＴＯＢ
＋
－
ＳＨＩＥＬＤ
＋
－
ＣＮ２
－Ａ１
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
－Ｂ１
－Ｂ２
－Ｂ３
－Ｂ４
－Ｂ５
－Ｂ６
－Ｂ７
－Ｂ８
－Ｂ９
－Ｂ１０
－Ｃ１
－Ｃ２
－Ｄ１
－Ｄ２
－Ｃ５
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
－Ｄ３
－Ｄ４
－Ｄ５
－Ｄ６
－Ｅ１
－Ｅ２
－Ｅ３
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
＋
－Ｃ７
－
－Ｃ８
ＳＨＩＥＬＤ
－Ｄ７
モジュール３インタフェース
＋
ＭＯＤＵＬＥ３ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－Ｃ９
－
ＣＮ１
－Ｃ１０
Ｅ１
Ｅ２
Ｍ２５６
Ｅ７
Ｍ１７５
Ｘ０１６
Ｘ０１７
Ｘ０１８
Ｘ０１９
＋２４ＶＡ１
＋２４ＶＭ４Ａ
ＧＭ
Ｅ９
Ｍ２７１
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０１
モジュール２
ＭＯＤＵＬＥ ２
Ｘ００５
Ｘ００６
Ｘ００７
ＧＡ
Ｍ６５０
Ｍ２７２
ＯＰＴＯＢ
＋
－
ＳＨＩＥＬＤ
＋
－
ＣＮ１０
＋２４ＶＭ４Ｃ
－１
Ｍ１００１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
Ｍ１７５
－１３
Ｈ１
－１４
Ｈ２
－１５
Ｈ３
－１６
Ｈ４
－１７
Ｈ５
－１８
＋２４ＶＭ４Ａ
－１９
ＧＭ
－２０
Ｍ１９１
－２１
Ｆ３３
－２２
＋２４ＶＭ１
－２３
Ｍ１１０１
－２４
－２５
－２６
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
インタフェース基板１
ＣＮ１１
Ｍ１００８
－１
Ｍ１００９
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
Ｍ１７５
－１３
Ｈ６
－１４
Ｈ７
－１５
Ｈ８
－１６
Ｈ９
－１７
Ｈ１０
－１８
＋２４ＶＭ４Ｂ
－１９
ＧＭ
－２０
Ｍ１９２
－２１
Ｆ３４
－２２
＋２４ＶＭ１
－２３
Ｍ１１０２
－２４
－２５
－２６
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
インタフェース基板１
ＣＸ００２ ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２ ＣＹ００２
ＣＹ００７ ＣＹ００７
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ
Ｍ１２３４
Ｍ１２３５
Ｍ１２３８
Ｍ１２３９
－２７
Ｍ１００１
－２８
Ｍ１００２
－２９
Ｍ１０１５
－３０
Ｍ１０１６
－Ｄ８
－Ｄ９
Ｍ２２６
Ｍ２２５
Ｍ２２８
Ｍ２２１
－２７
Ｍ１０１０
－２８
Ｍ１０１７
－２９
Ｍ１０１８
－３０
Ｍ１００９
－Ｄ８
－Ｄ９
Ｍ２２１
Ｍ２２６
Ｍ２２５
Ｍ２２８
１３ ０１
１３ ０２
１３ ０３
１３ ０４
１３ ０５
１３ ０６
１３ ０７
１３ ０８
１３ ０９
１３ １０
１３ １１
１３ １２
１３ １３
１３ １４
１３ １５
１３ １６
１３ １７
１３ １８
１３ １９
１３ ２０
１３ ２１
１３ ２２
１３ ２３
１３ ２４
１３ ２５
１３ ２６
１３ ２７
１３ ２８
１３ ２９
１３ ３０
１３ ３１
１３ ３２
１３ ３３
１３ ３４
１３ ３５
１３ ３６
１３ ３７
１３ ３８
１３ ３９
１３ ４０
１３ ４１
１３ ４２
１３ ４３
１３ ４４
１３ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１３
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
モジュールＩ／Ｆ
MODULE INTERFACE
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
２
FUJI SECRET
2RGZBB008600
ＣＮ２
－Ａ１
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
－Ｂ１
－Ｂ２
－Ｂ３
－Ｂ４
－Ｂ５
－Ｂ６
－Ｂ７
－Ｂ８
－Ｂ９
－Ｂ１０
－Ｃ１
－Ｃ２
－Ｄ１
－Ｄ２
－Ｃ５
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
－Ｄ３
－Ｄ４
－Ｄ５
－Ｄ６
－Ｅ１
－Ｅ２
－Ｅ３
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
＋
モジュール２インタフェース
－Ｃ７
－
ＭＯＤＵＬＥ２ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－Ｃ８
ＣＮ１
ＳＨＩＥＬＤ
－Ｄ７
＋
－Ｃ９
－
－Ｃ１０
ＣＮ２
Ｅ１ Ｅ１
－Ａ１
Ｅ２ Ｅ２
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
Ｍ２５６ Ｍ２５６
－Ｂ１
Ｅ７ Ｅ７
－Ｂ２
Ｍ１７５ Ｍ１７５
－Ｂ３
Ｘ０１６ Ｘ０１６
－Ｂ４
Ｘ０１７ Ｘ０１７
－Ｂ５
Ｘ０１８ Ｘ０１８
－Ｂ６
Ｘ０１９ Ｘ０１９
－Ｂ７
＋２４ＶＡ１ ＋２４ＶＡ１
－Ｂ８
＋２４ＶＭ４Ａ ＋２４ＶＭ４Ａ
－Ｂ９
ＧＭ ＧＭ
－Ｂ１０
Ｅ９ Ｅ９
－Ｃ１
Ｍ２７１ Ｍ２７１
－Ｃ２
＋２４ＶＭ１ ＋２４ＶＭ１
－Ｄ１
Ｍ１１０１ Ｍ１１０１
－Ｄ２
モジュール３
－Ｃ５
モジュール４
ＭＯＤＵＬＥ ３ ＭＯＤＵＬＥ ４
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
Ｘ００５ Ｘ００５
－Ｄ３
Ｘ００６ Ｘ００６
－Ｄ４
Ｘ００７ Ｘ００７
－Ｄ５
ＧＡ ＧＡ
－Ｄ６
Ｍ６５０ Ｍ６５０
－Ｅ１
－Ｅ２
Ｍ２７２ Ｍ２７２
－Ｅ３
ＯＰＴＯＢ ＯＰＴＯＢ
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
＋ ＋ ＋
－Ｃ７
－ － －
－Ｃ８
ＳＨＩＥＬＤ ＳＨＩＥＬＤ ＳＨＩＥＬＤ
－Ｄ７
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
＋ ＋ ＋
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
－Ｃ９
－ － －
ＣＮ１
－Ｃ１０
４Ｍｃ
ＣＮ１０
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
－１５
－１６
－１７
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
－２３
－２４
－２５
－２６
＋２４ＶＭ１２Ｃ
Ｍ１０２１
Ｍ１８５
Ｈ１１
Ｈ１２
Ｈ１３
Ｈ１４
Ｈ１５
＋２４ＶＭ１２Ａ
ＧＭ
Ｍ１９３
Ｆ３５
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０３
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ ２
インタフェース基板２
ＣＮ１１
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
－１５
－１６
－１７
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
－２３
－２４
－２５
－２６
Ｍ１０２８
Ｍ１０２９
Ｍ１８５
Ｈ１６
Ｈ１７
Ｈ１８
Ｈ１９
Ｈ２０
＋２４ＶＭ１２Ｂ
ＧＭ
Ｍ１９４
Ｆ３６
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０４
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ ２
インタフェース基板２
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ Ｍ１２６４
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