2RGZBB007113 - 第32页
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１２ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１２
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
モジュールＩ／Ｆ
MODULE INTERFACE
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
２
FUJI SECRET
2RGZBB008600
－Ａ１
ＣＮ２
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
－Ｂ１
－Ｂ２
－Ｂ３
－Ｂ４
－Ｂ５
－Ｂ６
－Ｂ７
－Ｂ８
－Ｂ９
－Ｂ１０
－Ｃ１
－Ｃ２
－Ｄ１
－Ｄ２
－Ｃ５
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
－Ｄ３
－Ｄ４
－Ｄ５
－Ｄ６
－Ｅ１
－Ｅ２
－Ｅ３
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
－Ｃ７
－Ｃ８
－Ｄ７
－Ｃ９
－Ｃ１０
モジュール１
ＭＯＤＵＬＥ １
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ１
＋
－
ＳＨＩＥＬＤ
＋
－
Ｅ１
Ｅ２
Ｍ２５６
Ｅ７
Ｍ１７５
Ｘ０１６
Ｘ０１７
Ｘ０１８
Ｘ０１９
＋２４ＶＡ１
＋２４ＶＭ４Ａ
ＧＭ
Ｅ９
Ｍ２７１
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０１
Ｘ００５
Ｘ００６
Ｘ００７
ＧＡ
Ｍ６５０
Ｍ２７２
ＯＰＴＯＢ
＋
－
ＳＨＩＥＬＤ
＋
－
ＣＮ２
－Ａ１
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
－Ｂ１
－Ｂ２
－Ｂ３
－Ｂ４
－Ｂ５
－Ｂ６
－Ｂ７
－Ｂ８
－Ｂ９
－Ｂ１０
－Ｃ１
－Ｃ２
－Ｄ１
－Ｄ２
－Ｃ５
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
－Ｄ３
－Ｄ４
－Ｄ５
－Ｄ６
－Ｅ１
－Ｅ２
－Ｅ３
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
＋
－Ｃ７
－
－Ｃ８
ＳＨＩＥＬＤ
－Ｄ７
モジュール３インタフェース
＋
ＭＯＤＵＬＥ３ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－Ｃ９
－
ＣＮ１
－Ｃ１０
Ｅ１
Ｅ２
Ｍ２５６
Ｅ７
Ｍ１７５
Ｘ０１６
Ｘ０１７
Ｘ０１８
Ｘ０１９
＋２４ＶＡ１
＋２４ＶＭ４Ａ
ＧＭ
Ｅ９
Ｍ２７１
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０１
モジュール２
ＭＯＤＵＬＥ ２
Ｘ００５
Ｘ００６
Ｘ００７
ＧＡ
Ｍ６５０
Ｍ２７２
ＯＰＴＯＢ
＋
－
ＳＨＩＥＬＤ
＋
－
ＣＮ１０
＋２４ＶＭ４Ｃ
－１
Ｍ１００１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
Ｍ１７５
－１３
Ｈ１
－１４
Ｈ２
－１５
Ｈ３
－１６
Ｈ４
－１７
Ｈ５
－１８
＋２４ＶＭ４Ａ
－１９
ＧＭ
－２０
Ｍ１９１
－２１
Ｆ３３
－２２
＋２４ＶＭ１
－２３
Ｍ１１０１
－２４
－２５
－２６
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
インタフェース基板１
ＣＮ１１
Ｍ１００８
－１
Ｍ１００９
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
Ｍ１７５
－１３
Ｈ６
－１４
Ｈ７
－１５
Ｈ８
－１６
Ｈ９
－１７
Ｈ１０
－１８
＋２４ＶＭ４Ｂ
－１９
ＧＭ
－２０
Ｍ１９２
－２１
Ｆ３４
－２２
＋２４ＶＭ１
－２３
Ｍ１１０２
－２４
－２５
－２６
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
インタフェース基板１
ＣＸ００２ ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２ ＣＹ００２
ＣＹ００７ ＣＹ００７
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ
Ｍ１２３４
Ｍ１２３５
Ｍ１２３８
Ｍ１２３９
－２７
Ｍ１００１
－２８
Ｍ１００２
－２９
Ｍ１０１５
－３０
Ｍ１０１６
－Ｄ８
－Ｄ９
Ｍ２２６
Ｍ２２５
Ｍ２２８
Ｍ２２１
－２７
Ｍ１０１０
－２８
Ｍ１０１７
－２９
Ｍ１０１８
－３０
Ｍ１００９
－Ｄ８
－Ｄ９
Ｍ２２１
Ｍ２２６
Ｍ２２５
Ｍ２２８
１３ ０１
１３ ０２
１３ ０３
１３ ０４
１３ ０５
１３ ０６
１３ ０７
１３ ０８
１３ ０９
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ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１３
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
モジュールＩ／Ｆ
MODULE INTERFACE
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
２
FUJI SECRET
2RGZBB008600
ＣＮ２
－Ａ１
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
－Ｂ１
－Ｂ２
－Ｂ３
－Ｂ４
－Ｂ５
－Ｂ６
－Ｂ７
－Ｂ８
－Ｂ９
－Ｂ１０
－Ｃ１
－Ｃ２
－Ｄ１
－Ｄ２
－Ｃ５
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
－Ｄ３
－Ｄ４
－Ｄ５
－Ｄ６
－Ｅ１
－Ｅ２
－Ｅ３
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
＋
モジュール２インタフェース
－Ｃ７
－
ＭＯＤＵＬＥ２ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－Ｃ８
ＣＮ１
ＳＨＩＥＬＤ
－Ｄ７
＋
－Ｃ９
－
－Ｃ１０
ＣＮ２
Ｅ１ Ｅ１
－Ａ１
Ｅ２ Ｅ２
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
Ｍ２５６ Ｍ２５６
－Ｂ１
Ｅ７ Ｅ７
－Ｂ２
Ｍ１７５ Ｍ１７５
－Ｂ３
Ｘ０１６ Ｘ０１６
－Ｂ４
Ｘ０１７ Ｘ０１７
－Ｂ５
Ｘ０１８ Ｘ０１８
－Ｂ６
Ｘ０１９ Ｘ０１９
－Ｂ７
＋２４ＶＡ１ ＋２４ＶＡ１
－Ｂ８
＋２４ＶＭ４Ａ ＋２４ＶＭ４Ａ
－Ｂ９
ＧＭ ＧＭ
－Ｂ１０
Ｅ９ Ｅ９
－Ｃ１
Ｍ２７１ Ｍ２７１
－Ｃ２
＋２４ＶＭ１ ＋２４ＶＭ１
－Ｄ１
Ｍ１１０１ Ｍ１１０１
－Ｄ２
モジュール３
－Ｃ５
モジュール４
ＭＯＤＵＬＥ ３ ＭＯＤＵＬＥ ４
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
Ｘ００５ Ｘ００５
－Ｄ３
Ｘ００６ Ｘ００６
－Ｄ４
Ｘ００７ Ｘ００７
－Ｄ５
ＧＡ ＧＡ
－Ｄ６
Ｍ６５０ Ｍ６５０
－Ｅ１
－Ｅ２
Ｍ２７２ Ｍ２７２
－Ｅ３
ＯＰＴＯＢ ＯＰＴＯＢ
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
＋ ＋ ＋
－Ｃ７
－ － －
－Ｃ８
ＳＨＩＥＬＤ ＳＨＩＥＬＤ ＳＨＩＥＬＤ
－Ｄ７
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
＋ ＋ ＋
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
－Ｃ９
－ － －
ＣＮ１
－Ｃ１０
４Ｍｃ
ＣＮ１０
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
－１５
－１６
－１７
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
－２３
－２４
－２５
－２６
＋２４ＶＭ１２Ｃ
Ｍ１０２１
Ｍ１８５
Ｈ１１
Ｈ１２
Ｈ１３
Ｈ１４
Ｈ１５
＋２４ＶＭ１２Ａ
ＧＭ
Ｍ１９３
Ｆ３５
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０３
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ ２
インタフェース基板２
ＣＮ１１
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
－１５
－１６
－１７
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
－２３
－２４
－２５
－２６
Ｍ１０２８
Ｍ１０２９
Ｍ１８５
Ｈ１６
Ｈ１７
Ｈ１８
Ｈ１９
Ｈ２０
＋２４ＶＭ１２Ｂ
ＧＭ
Ｍ１９４
Ｆ３６
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０４
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ ２
インタフェース基板２
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ Ｍ１２６４
Ｍ１２６３
Ｍ１２６２
Ｍ１２６１
－２７
Ｍ１０２２
－２８
Ｍ１０３５
－２９
Ｍ１０３６
－３０
Ｍ１０２１
－Ｄ８
－Ｄ９
Ｍ２２１
Ｍ２２６
Ｍ２２５
Ｍ２２８
－２７
Ｍ１０３０
－２８
Ｍ１０３７
－２９
Ｍ１０３８
－３０
Ｍ１０２９
－Ｄ８
－Ｄ９
Ｍ２２１
Ｍ２２６
Ｍ２２５
Ｍ２２８
１４ ０１
１４ ０２
１４ ０３
１４ ０４
１４ ０５
１４ ０６
１４ ０７
１４ ０８
１４ ０９
１４ １０
１４ １１
１４ １２
１４ １３
１４ １４
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１４ ２４
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１４ ３１
１４ ３２
１４ ３３
１４ ３４
１４ ３５
１４ ３６
１４ ３７
１４ ３８
１４ ３９
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１４ ４１
１４ ４２
１４ ４３
１４ ４４
１４ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１４
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
リモートＩ／Ｏ基板
REMOTE I/O BOARD
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
４
FUJI SECRET
2RGZBB008701
M1LS12
M1LS13
D ON
M1LS14A M1LS14B
M1LS15A M1LS15B
M1LS22
M1LS23
D ON
M1LS24A M1LS24B
M1LS25A M1LS25B
ＡＤＤＲＥＳＳ
517
インタフェース基板１
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
ＣＮ５ＣＮ１７
ＲＸ０００ ＲＸ０００
－１ －１
モジュール１クランプ確認
ＭＯＤＵＬＥ １ ＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮ２
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００１
－２
モジュール１アンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
＋２４ＶＭ
－３
ＲＸ００２
－４
モジュール１クランプ位置確認
ＥＥ－ＳＸ９５４Ｐ－Ｒ
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＩＴＩＯＮ
－５
ＲＸ００３ ＲＸ００３
－７ －７
モジュール１着座確認
ＭＯＤＵＬＥ １ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
ＣＮ７
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００４Ａ ＲＸ００４
－２
モジュール１フロントアンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮ６
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００５Ａ ＲＸ００５
－２
モジュール１リアアンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮＸＢ３
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００６
－２
予備
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
－４
ＲＸ００７ ＲＸ００７
－５ －５
モジュール１、２ 残テープボックスあり
ＭＯＤＵＬＥ１、２ ＷＡＳＴＥ ＴＡＰＥ ＢＯＸ ＯＫ
リモートＩ／Ｏ基板１
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ １
リモートＩ／Ｏ基板１
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ １
ＲＸ００８ ＲＸ００８
－４ －４
モジュール２クランプ確認
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮ４
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００９
－２
モジュール２アンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
＋２４ＶＭ
－３
ＲＸ００Ａ
－４
モジュール２クランプ位置確認
ＥＥ－ＳＸ９５４Ｐ－Ｒ
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＩＴＩＯＮ
－５
ＲＸ００Ｂ ＲＸ００Ｂ
－８ －８
モジュール２着座確認
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
＋２４ＶＭ
－３
ＲＸ００ＣＡ
ＲＸ００Ｃ
－４
モジュール２フロントアンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
＋２４ＶＭ
－３
ＲＸ００ＤＡ
ＲＸ００Ｄ
－４
モジュール２リアアンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮＸＤ３
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００Ｅ
－２
予備
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
－４
ＣＮＸＤ４
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００Ｆ
－２
予備
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
－４
ＣＮＸＥ４
＋２４ＶＭ
－１
＋２４ＶＭ
－２
ＧＭ
－３
ＧＭ
－４
ＦＨ１２１８＋ＦＨ１４１４
ＣＮ１１
ＣＴ＋
－１
ＣＴ－
ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ
－２
ＳＨＩＥＬＤ
ＣＵｎｅｔ
－３
ＣＮ１２
ＣＴ＋
－１
ＣＴ－
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ２
－２
ＳＨＩＥＬＤ
ＣＮ１１
－３
ＣＮ２１
＋２４ＶＭ
－１
＋２４ＶＭ
ベースコントロールボックス１
－２
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ １
ＧＭ
ＢＣＢＣＮ５
－３
ＧＭ
－４
ＣＮ２２
＋２４ＶＭ
－１
＋２４ＶＭ
－２
ＧＭ
－３
ＧＭ
－４