2RGZBB007113 - 第33页
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１３ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１３
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
モジュールＩ／Ｆ
MODULE INTERFACE
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
２
FUJI SECRET
2RGZBB008600
ＣＮ２
－Ａ１
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
－Ｂ１
－Ｂ２
－Ｂ３
－Ｂ４
－Ｂ５
－Ｂ６
－Ｂ７
－Ｂ８
－Ｂ９
－Ｂ１０
－Ｃ１
－Ｃ２
－Ｄ１
－Ｄ２
－Ｃ５
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
－Ｄ３
－Ｄ４
－Ｄ５
－Ｄ６
－Ｅ１
－Ｅ２
－Ｅ３
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
＋
モジュール２インタフェース
－Ｃ７
－
ＭＯＤＵＬＥ２ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－Ｃ８
ＣＮ１
ＳＨＩＥＬＤ
－Ｄ７
＋
－Ｃ９
－
－Ｃ１０
ＣＮ２
Ｅ１ Ｅ１
－Ａ１
Ｅ２ Ｅ２
－Ａ２
－Ａ３
－Ａ４
－Ａ５
－Ａ６
－Ａ７
－Ａ８
－Ａ９
－Ａ１０
Ｍ２５６ Ｍ２５６
－Ｂ１
Ｅ７ Ｅ７
－Ｂ２
Ｍ１７５ Ｍ１７５
－Ｂ３
Ｘ０１６ Ｘ０１６
－Ｂ４
Ｘ０１７ Ｘ０１７
－Ｂ５
Ｘ０１８ Ｘ０１８
－Ｂ６
Ｘ０１９ Ｘ０１９
－Ｂ７
＋２４ＶＡ１ ＋２４ＶＡ１
－Ｂ８
＋２４ＶＭ４Ａ ＋２４ＶＭ４Ａ
－Ｂ９
ＧＭ ＧＭ
－Ｂ１０
Ｅ９ Ｅ９
－Ｃ１
Ｍ２７１ Ｍ２７１
－Ｃ２
＋２４ＶＭ１ ＋２４ＶＭ１
－Ｄ１
Ｍ１１０１ Ｍ１１０１
－Ｄ２
モジュール３
－Ｃ５
モジュール４
ＭＯＤＵＬＥ ３ ＭＯＤＵＬＥ ４
－Ｃ６
－Ｃ３
－Ｃ４
Ｘ００５ Ｘ００５
－Ｄ３
Ｘ００６ Ｘ００６
－Ｄ４
Ｘ００７ Ｘ００７
－Ｄ５
ＧＡ ＧＡ
－Ｄ６
Ｍ６５０ Ｍ６５０
－Ｅ１
－Ｅ２
Ｍ２７２ Ｍ２７２
－Ｅ３
ＯＰＴＯＢ ＯＰＴＯＢ
－Ｅ４
－Ｅ５
－Ｅ６
－Ｅ８
－Ｅ９
－Ｄ１０
－Ｅ１０
－Ｅ７
＋ ＋ ＋
－Ｃ７
－ － －
－Ｃ８
ＳＨＩＥＬＤ ＳＨＩＥＬＤ ＳＨＩＥＬＤ
－Ｄ７
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
＋ ＋ ＋
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
－Ｃ９
－ － －
ＣＮ１
－Ｃ１０
４Ｍｃ
ＣＮ１０
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
－１５
－１６
－１７
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
－２３
－２４
－２５
－２６
＋２４ＶＭ１２Ｃ
Ｍ１０２１
Ｍ１８５
Ｈ１１
Ｈ１２
Ｈ１３
Ｈ１４
Ｈ１５
＋２４ＶＭ１２Ａ
ＧＭ
Ｍ１９３
Ｆ３５
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０３
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ ２
インタフェース基板２
ＣＮ１１
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
－１５
－１６
－１７
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
－２３
－２４
－２５
－２６
Ｍ１０２８
Ｍ１０２９
Ｍ１８５
Ｈ１６
Ｈ１７
Ｈ１８
Ｈ１９
Ｈ２０
＋２４ＶＭ１２Ｂ
ＧＭ
Ｍ１９４
Ｆ３６
＋２４ＶＭ１
Ｍ１１０４
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ ２
インタフェース基板２
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＣＸ００２
ＣＸ００Ａ
ＣＹ００２
ＣＹ００７
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ
ＲＹ００８
ＲＹ００８Ａ Ｍ１２６４
Ｍ１２６３
Ｍ１２６２
Ｍ１２６１
－２７
Ｍ１０２２
－２８
Ｍ１０３５
－２９
Ｍ１０３６
－３０
Ｍ１０２１
－Ｄ８
－Ｄ９
Ｍ２２１
Ｍ２２６
Ｍ２２５
Ｍ２２８
－２７
Ｍ１０３０
－２８
Ｍ１０３７
－２９
Ｍ１０３８
－３０
Ｍ１０２９
－Ｄ８
－Ｄ９
Ｍ２２１
Ｍ２２６
Ｍ２２５
Ｍ２２８
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１４ ４４
１４ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１４
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
リモートＩ／Ｏ基板
REMOTE I/O BOARD
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
４
FUJI SECRET
2RGZBB008701
M1LS12
M1LS13
D ON
M1LS14A M1LS14B
M1LS15A M1LS15B
M1LS22
M1LS23
D ON
M1LS24A M1LS24B
M1LS25A M1LS25B
ＡＤＤＲＥＳＳ
517
インタフェース基板１
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
ＣＮ５ＣＮ１７
ＲＸ０００ ＲＸ０００
－１ －１
モジュール１クランプ確認
ＭＯＤＵＬＥ １ ＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮ２
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００１
－２
モジュール１アンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
＋２４ＶＭ
－３
ＲＸ００２
－４
モジュール１クランプ位置確認
ＥＥ－ＳＸ９５４Ｐ－Ｒ
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＩＴＩＯＮ
－５
ＲＸ００３ ＲＸ００３
－７ －７
モジュール１着座確認
ＭＯＤＵＬＥ １ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
ＣＮ７
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００４Ａ ＲＸ００４
－２
モジュール１フロントアンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮ６
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００５Ａ ＲＸ００５
－２
モジュール１リアアンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ １ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮＸＢ３
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００６
－２
予備
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
－４
ＲＸ００７ ＲＸ００７
－５ －５
モジュール１、２ 残テープボックスあり
ＭＯＤＵＬＥ１、２ ＷＡＳＴＥ ＴＡＰＥ ＢＯＸ ＯＫ
リモートＩ／Ｏ基板１
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ １
リモートＩ／Ｏ基板１
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ １
ＲＸ００８ ＲＸ００８
－４ －４
モジュール２クランプ確認
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮ４
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００９
－２
モジュール２アンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
＋２４ＶＭ
－３
ＲＸ００Ａ
－４
モジュール２クランプ位置確認
ＥＥ－ＳＸ９５４Ｐ－Ｒ
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＣＬＡＭＰ ＰＯＳＩＴＩＯＮ
－５
ＲＸ００Ｂ ＲＸ００Ｂ
－８ －８
モジュール２着座確認
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＤＯＣＫＩＮＧ ＣＨＥＣＫ
＋２４ＶＭ
－３
ＲＸ００ＣＡ
ＲＸ００Ｃ
－４
モジュール２フロントアンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＦＲＯＮＴ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
＋２４ＶＭ
－３
ＲＸ００ＤＡ
ＲＸ００Ｄ
－４
モジュール２リアアンクランプ確認
Ｄ－Ｃ７３Ｌ Ｄ－Ｃ７３Ｌ
ＭＯＤＵＬＥ ２ ＲＥＡＲ ＵＮＣＬＡＭＰ ＣＨＥＣＫ
ＣＮＸＤ３
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００Ｅ
－２
予備
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
－４
ＣＮＸＤ４
＋２４ＶＭ
－１
ＲＸ００Ｆ
－２
予備
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
－４
ＣＮＸＥ４
＋２４ＶＭ
－１
＋２４ＶＭ
－２
ＧＭ
－３
ＧＭ
－４
ＦＨ１２１８＋ＦＨ１４１４
ＣＮ１１
ＣＴ＋
－１
ＣＴ－
ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ
－２
ＳＨＩＥＬＤ
ＣＵｎｅｔ
－３
ＣＮ１２
ＣＴ＋
－１
ＣＴ－
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ２
－２
ＳＨＩＥＬＤ
ＣＮ１１
－３
ＣＮ２１
＋２４ＶＭ
－１
＋２４ＶＭ
ベースコントロールボックス１
－２
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ １
ＧＭ
ＢＣＢＣＮ５
－３
ＧＭ
－４
ＣＮ２２
＋２４ＶＭ
－１
＋２４ＶＭ
－２
ＧＭ
－３
ＧＭ
－４
１５ ０１
１５ ０２
１５ ０３
１５ ０４
１５ ０５
１５ ０６
１５ ０７
１５ ０８
１５ ０９
１５ １０
１５ １１
１５ １２
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１５ １４
１５ １５
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１５ ３５
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ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１５
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
リモートＩ／Ｏ基板
REMOTE I/O BOARD
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
４
FUJI SECRET
2RGZBB008701
ｐ
M1SOL1E
ｐ
M1SOL2E
ｐ
M1SOL18E
ｐ
M1SOL3E
ｐ
M1SOL4E
ｐ
M1SOL28E
ｐ
M1SOL17E
ｐ
M1SOL27E
リモートＩ／Ｏ基板１
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ １
ＣＮ１
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ０００
モジュール１クランプ
－２
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ１ ＣＬＡＭＰ
－３
ＲＹ００１
モジュール１アンクランプ
－４
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ１ ＵＮＣＬＡＭＰ
－５
インタフェース基板１
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
ＣＮ１７
ＲＹ００２
ＲＹ００２
モジュール１フロント、リアクランプ
－６
－２
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ１ ＵＮＣＬＡＭＰ
－７
ＲＹ００３
モジュール１フロント、リアアンクランプ
－８
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ１ ＵＮＣＬＡＭＰ
－９
ＣＮＹＢ１
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００４
予備
－２
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
ＧＭ
－４
ＣＮＹＢ２
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００５
予備
－２
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
ＧＭ
－４
ＣＮＹＢ３
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００６
予備
－２
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
ＧＭ
－４
ＣＮＹＢ４
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００７
予備
－２
ＧＭ
ＳＰＡＲＥ
－３
ＧＭ
－４
ＣＮ３
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００８
モジュール２クランプ
－２
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ２ ＣＬＡＭＰ
－３
ＲＹ００９
モジュール２アンクランプ
－４
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ２ ＵＮＣＬＡＭＰ
－５
ＲＹ００Ａ
ＲＹ００Ａ
モジュール２フロント、リアクランプ
－６
－３
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ２ ＵＮＣＬＡＭＰ
－７
ＲＹ００Ｂ
モジュール２フロント、リアアンクランプ
－８
ＧＭ
ＭＯＤＵＬＥ２ ＵＮＣＬＡＭＰ
－９
リモートＩ／Ｏ基板１
ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ １
ＣＮＹＤ１
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００Ｃ＋
予備
－２
ＲＹ００Ｃ－
ＳＰＡＲＥ
－３
ＧＭ
－４
ＣＮＹＤ２
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００Ｄ＋
予備
－２
ＲＹ００Ｄ－
ＳＰＡＲＥ
－３
ＧＭ
－４
ＣＮＹＤ３
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００Ｅ＋
予備
－２
ＲＹ００Ｅ－
ＳＰＡＲＥ
－３
ＧＭ
－４
ＣＮＹＤ４
＋２４ＶＭ
－１
ＲＹ００Ｆ＋
予備
－２
ＲＹ００Ｆ－
ＳＰＡＲＥ
－３
ＧＭ
－４
ＦＨ１２１８＋ＦＨ１４１４
－２
ＲＹ００２
ＣＮ５
－３
ＲＹ００Ａ
ＭＯＤＵＬＥ１ ＵＮＣＬＡＭＰ
モジュール１フロント、リアクランプ
ＭＯＤＵＬＥ２ ＵＮＣＬＡＭＰ
モジュール２フロント、リアクランプ
Ｍ１ＣＲ３１Ｘ
モジュール１フロント、リアクランプ
Ｍ１ＣＲ３２Ｘ
モジュール２フロント、リアクランプ