2RGZBB007113 - 第64页
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ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
モジュール回路図
MODULE CIRCUIT DIAGRAM
２５
２５
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
オプションリモートI/O基板
OPTION REMOTE I/O BOARD
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
１
FUJI SECRET
2RGZBC004500
ＣＮ＿ＮＥＴ
－Ａ３
－Ｂ３
－Ｂ２
コネクタ基板
－Ａ１
ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ１１
－Ａ２
＋２４ＶＢ３
－３
ＧＢ
－４
オプションリモートＩ／Ｏ基板基板
ＯＰＴＩＯＮ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ＢＯＡＲＤ
ＣＮ－Ａ
ＮＣ
－１
ＦＧ
－２
ＣＴ＋
－３
ＣＴ－
－４
（ＦＧ）
－５
２４Ｖ
－６
２４Ｖ
－７
ＧＮＤ
－８
ＧＮＤ
－９
０ＢＩＴ
－２２
ＳＡ
－１０
ＧＮＤ（ＳＡ用）
－１１
１－Ｂ＿ＬＥＤ
－１２
１－Ｒ＿ＬＥＤ
－１３
１－ＣＯＭ
－１４
２－Ｂ＿ＬＥＤ
－１５
２－Ｒ＿ＬＥＤ
－１６
２－ＣＯＭ
－１７
５Ｖ
－１８
ＧＮＤ
－１９
４８５＋
－２０
４８５－
－２１
ＮＣ
－２３
ＳＨＩＥＬＤ
－２４
ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ
ＭＫＹ０＿ＣＵ＿Ａ
Ｃ１
ＭＫＹ０＿ＣＵ＿Ｂ
Ｂ１
ＧＮＤ＿ＦＧ
Ａ１
ＲＥＬＡＹ ＢＯＡＲＤ
リレー基板
ＣＮ１
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
５Ｖ
ＧＮＤ
５Ｖ
ＧＮＤ
５Ｖ
ＧＮＤ
５Ｖ
ＧＮＤ
Ｘ０００
ＧＡ
Ｉ／Ｌ
－１
ＣＮ－ＯＰ
－２
ＣＯＰＬＡＮＡＲＩＴＹ
－１
ＬＡＳＥＲ
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
インタフェース基板
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
１
２
ＣＮ１６
ＧＡ
Ｘ０００
レーザー１
ＬＡＳＥＲ １
レーザー２
サイドライト光源
ＬＡＳＥＲ ２
ＳＩＤＥ ＬＩＧＨＴ
（ＦＯＲ ＯＦ ＨＥＡＤ）
レーザー３
ＬＡＳＥＲ ３
レーザー４
ＬＡＳＥＲ ４
－９
ＣＮ－Ｃ
ＳＴＥＰＭ２Ｙ４１２
－１４－２
ＧＢ
５Ｖ
ＧＮＤ
ＣＵｎｅｔ１
１
２
３
ＯＰＴＩＯＮ
－４
ＣＮ１３
ＧＢ
ＯＰＴＩＯＮ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＫＴ
オプションリモートＩ／Ｏ ＢＫＴ
Ｍ６ｃ
ＣＵｎｅｔ１
ＨＥＡＤ ＵＮＩＴ
１００Ω
Ｒ
ＣＮ－Ｈ３
－Ａ１
－Ｂ１
－Ａ２
２６ ０ １
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２６ ０ ５
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２６ １ ０
２６ １ １
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２６２９
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
モジュール回路図
MODULE CIRCUIT DIAGRAM
２９
２６
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
ＬＣＲユニット
ＬＣＲ ＵＮＩＴ
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
４
１
2RGTYL000901
２６３０
FUJI SECRET
（３６ＭＴ１）
ＬＣＲ ＭＥＴＥＲ
２
１．２５ｍｍ
ＬＣＲメータ
ＡＣ ＰＯＷＥＲ
Ｒ
Ａ１ ＡＣ２００Ｖ Ｈｐｏｔ
ＡＣ２００Ｖ電源
Ｓ
Ａ２ ＡＣ２００Ｖ ケース
Ａ３ Ｅ
モジュール制御盤 MCBCN16へ
Ｈｃｕｒ
ケース
Ｌｐｏｔ
ケース
Ｌｃｕｒ
ケース
ＧＵＡＲＤ
ＬＡＮ
ＴＸ＋ １
ＴＸ－ ２
ＲＸ＋ ３
ＧＮＤ ４
ＧＮＤ ５
ＲＸ－ ６
ＧＮＤ ７
ＧＮＤ ８
測定プローブ（可動側）
ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＰＲＯＢＥ
（ＭＯＶＡＢＬＥ ＳＩＤＥ）
測定プローブ（固定側）
ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＰＲＯＢＥ
（ＦＩＸＥＤ ＳＩＤＥ）
ＬＣＲユニット土台
ＬＣＲ ＵＮＩＴ ＦＯＵＮＤＡＴＩＯＮ
ＣＰＵ基板
ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ
ＬＡＮ
１ ＴＸ＋
２ ＴＸ－
３ ＲＸ＋
４ ＧＮＤ
５ ＧＮＤ
６ ＲＸ－
７ ＧＮＤ
８ ＧＮＤ
２７ ０ １
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２７ ０ ４
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２７ １ ０
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２７２９
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
モジュール回路図
MODULE CIRCUIT DIAGRAM
２９
２７
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
ＬＣＲユニット
ＬＣＲ ＵＮＩＴ
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
４
２
2RGTYL000901
２７３０
FUJI SECRET
GB
X408
+24VB3
GB
X409
+24VB3
GB
X400
+24VB3
X410
+24VB3
GB
X40A
+24VB3
GB
X40B
+24VB3
GB
X401
+24VB3
+24VB3
GB
(36LS1)
SQ1/36
Ｉ
Ｏ
X408
(36LS2)
SQ2/36
Ｉ
Ｏ
X409
(36LS3)
SQ3/36
Ｉ
Ｏ
X400
Ｉ
Ｏ
X410
Ｉ
Ｏ
X411
(36LS4)
ＳＱ４／３６
Ｉ
Ｏ
X40A
Ｉ
Ｏ
X40B
Ｉ
Ｏ
X401
42PCB21
AP21/42
42PCB21
AP21/42
オプションリモートＩ／Ｏ基板ＢＫＴ
ＯＰＴＩＯＮ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ＢＫＴ
制御基板
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＡＲＤ
３６ＣＮ２ ＬＣＲ ＣＮ１
ＣＮＢ
３ ３ －１１
青 ＢＬＵ
ＬＣＲプローブ原位置確認
ＣＮＢ
２ ２ －９
白 ＷＨＴ
LCR MEASUREMENT PROBE
ORIGIN POSITION CHECK
ＣＮＢ
茶 ＢＲＷ
１ １ －７
ＣＮＢ
６ ６ －１２
青 ＢＬＵ
ＬＣＲ測定台原位置確認
ＣＮＢ
５ ５ －１０
白 ＷＨＴ
LCR MEASUREMENT STAND
ORIGIN POSITION CHECKER OK
ＣＮＢ
４ ４ －８
茶 ＢＲＷ
３６ＣＮ３
ＣＮＢ
３ ９ －６
青 ＢＬＵ
ＣＮＢ
ＬＣＲ測定台着座確認
２ ８ －４
黒 ＢＬＫ
LCR MEASUREMENT
STAND SET CHECK
ＣＮＢ
１ ７ －２
茶 ＢＲＷ
ＣＮＣ
－２
ＣＮＣ
ＬＣＲチェック機能有確認
ＳＨＯＲＴ
－３
LCR
MEASUREMENT CHECK
ＣＮＣ
－４
予約（ＬＣＲ測定ﾌﾟﾛｰﾌﾞＴＹＰＥ２）
(RESERVED)LCR
MEASUREMENT PROBE TYPE2
オプションリモートＩ／Ｏ基板ＢＫＴ
ＯＰＴＩＯＮ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ ＢＫＴ
制御基板
ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＡＲＤ
ＬＣＲ ＣＮ２
ＣＮＤ
－７
ＣＮＤ
ＬＣＲ用
ＮＧパーツ廃棄BOX着座確認
１ ２ ２ －５
PARTS
EJECT BOX SET CHECK(LCR)
ＣＮＤ
１ －３
３６ＣＮ５
ＣＮＤ
３ ５ －８
ＣＮＤ
予備
（ＬＣＲ微小ﾊﾟｰﾂ吸着確認）
２ ４ －６
（RESERVED）
LCR MICRO PARTS
ADSORPTION CONFIRMATION
ＣＮＤ
１ ３ －４
ＣＮＤ
６ ８ －１４
ＣＮＤ
予備
５ ７ －１２
RESERVED
ＣＮＤ
４ ６ －１０