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ＮＡＭＥ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. 部品配置図 PARTS ARRANGEMENT 2 RG TB B0 13 70 1 ベースコントロールボックス１ BASE CONTROL BOX 1 ＴＹＰＥ ＮＸＴⅢ １ ５ Ｓ Ｅ Ｃ Ｒ Ｅ Ｔ ＢＯＸデンキ（２ＡＧＴＢＢ００１９＊＊） ＢＯＸ ＥＬＥＣＴＲＩＣ（２ＡＧ ＴＢＢ００１９＊＊） 部 品 名 記 号 Ｎｏ． Ｐ Ａ Ｒ Ｔ Ｓ Ｎ Ａ Ｍ Ｅ Ｓ Ｙ Ｍ Ｂ Ｏ…
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB013600
ブレーカボックス２
BREAKER BOX 2
ＴＹＰＥ
ＮＸＴⅢ
１
１
FUJI SECRET
ＢＫＴ（２ＡＧＴＢＢ０００４＊＊）
部 品 名 記 号
Ｎｏ．
ＰＡＲＴＳ ＮＡＭＥ ＳＹＭＢＯＬ
サーキットブレーカ
２
Ｍ１ＣＰ３
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＥＡＫＥＲ
サーキットブレーカ
Ｍ１ＣＰ４
ＣＩＲＣＵＩＴ ＢＲＥＡＫＥＲ
１
ＣＰ２ＣＮ５
ＣＰ２ＣＮ３Ｂ
ＣＰ２ＣＮ３Ａ
ＣＰ２ＣＮ１
ＢＲＥＡＫＥＲ ＢＯＸ １
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ ２
ＣＰ２ＣＮ１
ＣＰ２ＣＮ３Ａ
Ａ１ Ｒ１００
１ Ｒ１１３
Ａ２ Ｓ１００
２ Ｓ１１３
Ｂ１ Ｔ１００
３ Ｔ１１３
Ｂ２
４
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ ２
ＣＰ２ＣＮ３Ｂ
１ Ｒ１１４
２ Ｓ１１４
３ Ｔ１１４
４
ＯＰＴＩＯＮＡＬ ＤＥＶＩＣＥ
ＣＰ２ＣＮ５
１ Ｒ１１４
２ Ｓ１１４
３ Ｔ１１４
４
ブレーカボックス１より
ベースコントロールボックス２へ
ベースコントロールボックス２へ
オプション装置へ
１
２
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB013701
ベースコントロールボックス１
BASE CONTROL BOX 1
ＴＹＰＥ
ＮＸＴⅢ
１
５
ＳＥＣＲＥＴ
ＢＯＸデンキ（２ＡＧＴＢＢ００１９＊＊）
ＢＯＸ ＥＬＥＣＴＲＩＣ（２ＡＧＴＢＢ００１９＊＊）
部 品 名 記 号
Ｎｏ．
ＰＡＲＴＳ ＮＡＭＥ ＳＹＭＢＯＬ
電磁接触器
２
Ｍ１ＭＳ１１
ＥＬＥＣＴＲＯ ＭＡＧＮＥＴＩＣ
ＣＯＮＴＡＣＴＯＲ
電磁接触器
３
Ｍ１ＭＳ１２
ＥＬＥＣＴＲＯ ＭＡＧＮＥＴＩＣ
ＣＯＮＴＡＣＴＯＲ
インターフェース基板
５
ＦＨ１６００
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＤＣ電源
１
Ｍ１ＲＥＣ１
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ
ＢＲＥＡＫＥＲ ＢＯＸ １
ＭＯＤＵＬＥ１ ＰＯＷＥＲ ＲＥＭＯＴＥ Ｉ／Ｏ ＢＯＡＲＤ １ ＰＯＷＥＲ
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
ＢＣＢＣＮ１Ａ
ＢＣＢＣＮ２ ＢＣＢＣＮ５
ＣＮ－３ ＳＭＦ
１ Ｒ１１１
１ Ｒ１２１ １ ＋２４ＶＭ
１ ＋２４ＶＭ
２ Ｓ１１１
２ Ｓ１２１ ２ ＧＭ
２ ＧＭ
３ Ｔ１１１
３ Ｔ１２１
３
４
４
４ ＡＤ００
５ ＋２４ＶＭ
６ Ｘ０１４
ＢＲＥＡＫＥＲ ＢＯＸ １
ＭＯＤＵＬＥ２ ＰＯＷＥＲ
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ ＰＯＷＥＲ
７ Ｘ０１３
ＢＣＢＣＮ１Ｂ
ＢＣＢＣＮ３
ＢＣＢＣＮ７
８ Ｘ０１２
１ Ｒ１１２
１ Ｒ１２２
１ ＋２４ＶＭ
２ Ｓ１１２
２ Ｓ１２２
２ ＧＭ
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ
ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
３ Ｔ１１２
３ Ｔ１２２
ＣＮ－３ ＳＭＲ
４
４
１ ＋２４ＶＭ
２ ＧＭ
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＰＲＩＭＡＲＹ
ＸＳ ＡＸＩＳ ＩＮＴＥＲＬＯＣＫ ＢＯＡＲＤ １ ＰＯＷＥＲ
３
ＢＣＢＣＮ４
ＢＣＢＣＮ１７
４
１ Ｒ１０１
１ ＋２４ＶＭ
５
２ Ｓ１０１
２ ＧＭ
６
３ Ｔ１０１
７
４
８
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ
ＢＣＢＣＮ１８
１ Ｒ１０１
２ Ｓ１０１
３ Ｔ１０１
４
ＢＯＡＲＤ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ
ＢＣＢＣＮ１９
１ Ｒ１０１
２ Ｓ１０１
３ Ｔ１０１
４
ブレーカボックス１より
ブレーカボックス１より
モジュール１電源へ
モジュール２電源へ
ＤＣ電源１次側
パーツバキュームポンプ
基板バキュームポンプ リモートＩ／Ｏ基板１電源
次ベース増設制御盤電源
ＸＳ軸インターロック基板１
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＢＣＢＣＮ１Ａ
ＢＣＢＣＮ１Ｂ
ＢＣＢＣＮ２
ＢＣＢＣＮ３
ＢＣＢＣＮ４
ＢＣＢＣＮ１８
ＢＣＢＣＮ１９
ＢＣＢＣＮ１７
ＢＣＢＣＮ７
ＢＣＢＣＮ５
ＣＮ－３ ＳＭＲ
ＣＮ－３ ＳＭＦ
セーフティーモジュール
４
Ｍ１ＳＲ１
ＳＡＦＥＴＹ ＲＥＬＡＹ ＭＯＤＵＬＥ
１ ２
３
４
５
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB013701
ベースコントロールボックス１
BASE CONTROL BOX 1
ＴＹＰＥ
ＮＸＴⅢ
２
５
ＳＥＣＲＥＴ
型式 定格 メーカ
ＴＹＰＥ ＲＡＴＩＮＧ ＭＡＮＵＦＡＣＴＯＲ
大東通信機
Ｆ１ ＤＭ２０
ＡＣ／ＤＣ１２５Ｖ
２．０Ａ
Ｄａｉｔｏ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ａｐｐａｒａｔｕｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ
大東通信機
Ｆ２ ＤＭ１０
ＡＣ／ＤＣ１２５Ｖ
１．０Ａ
Ｄａｉｔｏ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ａｐｐａｒａｔｕｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ
大東通信機
Ｆ３ ＤＭ３２
ＡＣ／ＤＣ１２５Ｖ
３．２Ａ
Ｄａｉｔｏ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ａｐｐａｒａｔｕｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ
大東通信機
Ｆ４ ＤＭ３２
ＡＣ／ＤＣ１２５Ｖ
３．２Ａ
Ｄａｉｔｏ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ａｐｐａｒａｔｕｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ
大東通信機
Ｆ５ ＤＭ２０
ＡＣ／ＤＣ１２５Ｖ
２．０Ａ
Ｄａｉｔｏ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ Ａｐｐａｒａｔｕｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ
ヒューズ
ＦＵＳＥ
ＦＨ１６００＊＊Ｆ
ＰＯＷＥＲ
ＳＩＤＥ ＳＡＦＥＴＹ ＣＯＶＥＲ１ ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＳＷ
線 番
線 番 線 番
ＰＩＮ Ｎｏ
ＰＩＮ Ｎｏ ＰＩＮ Ｎｏ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
１ ＋２４ＶＭ
１ Ｍ１００６ １ ＋２４ＶＭ１
２ ＧＭ
２ Ｍ１００７ ２ Ｘ００６
３ ３ ＧＭ
４ ４ ＋２４ＶＭ１
５ ＋２４ＶＭ１Ａ ５ Ｘ００７
６ Ｘ０１８ ６ ＧＭ
ＣＯＮＴＲＯＬ ＣＩＲＣＵＩＴ
７ Ｙ０００Ａ ７ ＋２４ＶＭ１
線 番
ＰＩＮ Ｎｏ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
８ ＧＭ ８ Ｘ００Ａ
１ ＋２４ＶＭ１
９ Ｘ０１５ ９ ＧＭ
２ ＧＭ
１０ ＋２４ＶＭ１Ａ １０
３ Ｍ１７２
４ Ｍ１７２
５ Ｍ１７１
６ ＋２４ＶＭ４
ＳＩＤＥ ＳＡＦＥＴＹ ＣＯＶＥＲ２ ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ
７ ＋２４ＶＭ４
線 番 線 番
ＰＩＮ Ｎｏ ＰＩＮ Ｎｏ
８ ＋２４ＶＭ４
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
９ Ｍ１７４
１ Ｍ１０１４ １ ＋２４ＶＭ１
１０ Ｍ１７６
２ Ｍ１７２ ２ Ｘ００８
１１ Ｍ１７５
３ ３ ＋２４ＶＭ１
１２ Ｍ１１０１
４ ４ Ｍ１４１
１３ Ｍ１１０２
５ ＋２４ＶＭ１Ｂ ５ Ｙ００６
１４ Ｘ０１２
６ Ｘ０１Ｆ ６ ＧＭ
１５ Ｘ０１３
７ Ｙ０１５Ａ ７ Ｍ１４３
１６ Ｘ０１４
８ ＧＭ ８ Ｙ００９
１７ ＋２４ＶＭ４Ａ
９ Ｘ０１６ ９ ＧＭ
１８ ＋２４ＶＭ４Ｂ
１０ ＋２４ＶＭ１Ｂ １０
１９ ＋２４ＶＭ６
２０ ＧＭ
２１ ＋２４ＶＭ６
２２ ＧＭ
２３
２４
ＣＮ１：電源
ＣＮ２：制御回路 ＣＮ３：側面安全扉１ ＣＮ５：圧力センサ
ＣＮ４：側面安全扉２ ＣＮ６：パーツ真空ポンプ