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ＮＡＭＥ Ｔ Ｉ Ｔ Ｌ Ｅ ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ. 部品配置図 PARTS ARRANGEMENT 2 RG TB B0 13 90 1 バキュームポンプコントロールボックス VACUUM PUMP CONTROL BOX ＴＹＰＥ ＮＸＴⅢ １ １ FUJI SECRET ＢＫＴ（２ＡＧＴＢＢ００１８＊＊） Ｆｏｒ ４ Ｍ，４Ｍｃ 部 品 名 記 号 Ｎｏ． Ｐ Ａ Ｒ Ｔ Ｓ Ｎ Ａ Ｍ Ｅ Ｓ Ｙ Ｍ Ｂ Ｏ Ｌ インバータ Ｍ…
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB013801
ベースコントロールボックス２
BASE CONTROL BOX 2
ＴＹＰＥ
ＮＸＴⅢ
５
５
ＳＥＣＲＥＴ
Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ１
線 番 線 番 線 番
ＰＩＮ Ｎｏ ＰＩＮ Ｎｏ ＰＩＮ Ｎｏ
ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
１ １ １ Ｘ００２
２ ２ ２ Ｘ００３
３ ３ ３ Ｘ００Ｆ
４ ４ ４ Ｙ００Ｅ
５ ５ ５ Ｙ００Ｆ
６ ６ ６ Ｘ０１１
７ ７ ７ Ｘ０１６
８ ８ ８ Ｘ０１Ｆ
９ ９ ９ Ｙ００８
１０ １０ １０ Ｙ０１５
１１ １１ １１
１２ １２ １２
１３ １３ １３
１４ １４ １４
１５ １５
１６ １６
１７ １７
１８ １８
１９ １９
線 番
ＰＩＮ Ｎｏ
２０ ２０ ＷＩＲＥ ＭＡＲＫ
２１ １
２２ ２
２３ ３
２４ ４
５
６
７
８
９
１０
１１
１２
１３
１４
ＣＮ２１ ＣＮ２２ ＣＮＡ：Ｉ／Ｆ基板１
ＣＮＢ
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB013901
バキュームポンプコントロールボックス
VACUUM PUMP CONTROL BOX
ＴＹＰＥ
ＮＸＴⅢ
１
１
FUJI SECRET
ＢＫＴ（２ＡＧＴＢＢ００１８＊＊） Ｆｏｒ ４Ｍ，４Ｍｃ
部 品 名 記 号
Ｎｏ．
ＰＡＲＴＳ ＮＡＭＥ ＳＹＭＢＯＬ
インバータ
Ｍ１ＩＶ１
ＩＮＶＥＲＴＥＲ
１
ＭＳ１／２／３ ＣＮ３
ＭＳ１／２／３ ＣＮ２
ＭＳ１／２／３ ＣＮ１
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ １
ＭＳ１／２／３ ＣＮ１
１ Ｒ１０１
２ Ｓ１０１
３ Ｔ１０１
４
ＰＡＲＴＳ ＶＡＣＵＵＭ ＰＵＭＰ
ＭＳ１／２／３ ＣＮ２
１ Ｍ１Ｕ１
２ Ｍ１Ｖ１
３ Ｍ１Ｗ１
４
５ ＳＨＩＥＬＤ
６
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
ＭＳ１／２／３ ＣＮ３
１ ＋２４ＶＭ１
２
Ｘ００８（Ｘ００Ｂ）
３
４
５
Ｙ００６（Ｙ００７）
６ ＧＭ
７
８
９
１０ ＳＨＩＥＬＤ
ベースコントロールボックス１より
パーツバキュームポンプへ
インターフェース基板より
ＢＫＴ（２ＡＧＴＢＡ０００８＊＊） Ｆｏｒ ２Ｍ，２Ｍｃ
１
ＮＡＭＥ
ＴＩＴＬＥ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB014002
ベースＣＰＵボックス
BASE CPU BOX
ＴＹＰＥ
ＮＸＴⅢ
１
２
FUJI SECRET
ＢＯＸコントロール（２ＡＧＴＢＡ００１０＊＊）
ＢＯＸ ＣＯＮＴＲＯＬ（２ＡＧＴＢＡ００１０＊＊）
４Ｍ：Ｘ６４～、２Ｍ：Ｘ３０～
４Ｍｃ：Ｘ１９～、２Ｍｃ：Ｘ１６～
部 品 名 記 号 品 目
Ｎｏ．
ＰＡＲＴＳ ＮＡＭＥ ＳＹＭＢＯＬ ＩＴＥＭ
筐体
１
－－－－
2EGTBA0076**
ＣＡＳＥ
ＤＣ電源
２
－－－－
2EGTBC0118**
ＤＣ ＰＯＷＥＲ ＳＵＰＰＬＹ ＵＮＩＴ
ＣＰＵ基板
３
－－－－
2EGTBC0302**
ＣＰＵ ＢＯＡＲＤ
メモリーカード
４
－－－－
2EGTBA0083**
ＭＥＭＯＲＹ ＣＡＲＤ
１
４
３
２