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NAME T I T L E DRAWING No . 部品配置図 PARTS ARRANGEMENT 2 RG TB B0 1 40 02 ベースCPUボックス BASE CPU BOX TYPE NXTⅢ 1 2 FUJI SECRET BOXコントロール(2AG T BA001 0 ** ) BOX CONTR O L(2A GTBA0010**) 4M:X64~、2M:X30~ 4Mc:X19~、2Mc:X1 6~ 部 品 名 …

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NAME
DRAWING No.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB013901
バキュームポンプコントロールボックス
VACUUM PUMP CONTROL BOX
TYPE
NXTⅢ
FUJI SECRET
BKT(2AGTBB0018**) For 4M,4Mc
部 品 名 記 号
No.
 
インバータ
MS1/2/3 CN3
MS1/2/3 CN2
MS1/2/3 CN1
BASE CONTROL BOX 1
MS1/2/3 CN1
R101
S101
T101
PARTS VACUUM PUMP
MS1/2/3 CN2
M1U1
M1V1
M1W1
HIELD
INTERFACE BOARD
MS1/2/3 CN3
24VM1
X008(X00B
Y006(Y007
GM
10 SHIELD
ベースコントロールボックス1より
パーツバキュームポンプへ
インターフェース基板より
BKT(2AGTBA0008**) For 2M,2Mc
NAME
DRAWING No.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB014002
ベースCPUボックス
BASE CPU BOX
TYPE
NXTⅢ
FUJI SECRET
BOXコントロール(2AGBA001**
BOX CONTRL(2AGTBA0010**)
4M:X64~、2M:X30~
4Mc:X19~、2Mc:X16~
部 品 名 記 号 品 目
No.
 
筐体
2EGTBA0076**
DC電源
2EGTBC0118**
   
2EGTBC0302**
 
2EGTBA0083**
 
NAME
DRAWING No.
部品配置図
PARTS ARRANGEMENT
2RGTBB014002
ベースCPUボックス
BASE CPU BOX
TYPE
NXTⅢ
FUJI SECRET
BOXコントロール(2AGBC001**
BOX CONTRL(2AGTBC0012**)
4M:~X63、2M:~X29
4Mc:~X18、2Mc:~X15
部 品 名 記 号 品 目
No.
 
筐体
2EGTBC0195**
DC電源
2EGTBC0118**
   
2EGTBC0065**
 
K61776