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NPM-D 安装篇 2.3 装置的规格 EJM1DC-MB-02I-00 Page 2-29 2.3.4 外形尺寸 是交換台车规格时 ( 单位 : mm) 前面 基准 基板搬送高度 900 2652 686 941 421 964 305 420 1207 864 1025 820 ( 盖的外形 ) 830 ( 传送带宽度 ) 5 820 835 ( 主体 ) 7 1444 1514 ( 横向放置信号塔时 ) 900 8 1629 …
NPM-D
安装篇
2.3
装置的规格
Page 2-28 EJM1DC-MB-02I-00
2.3.3
基板流动方向
基板流动方向的更改，作为选项来对应。
若要改成以内侧为基准
(
单轨模式时
)
的状态，将设备翻转来对应。
双轨模式
标准
:
自左至右·以前侧为基准
选项
:
自右至左·以前侧为基准
单轨模式
标准
:
自左至右·以前侧为基准
选项
:
自右至左·以前侧为基准
前面侧
基准轨道
可动轨道
基板流动方向
可动轨道
基准轨道
基板流动方向
前面侧
基准轨道
可动轨道
可动轨道
基准轨道
基板流动方向
基板流动方向
前面侧
可动轨道
基准轨道
基板流动方向
基板流动方向
前面侧
可动轨道
基准轨道
NPM-D
安装篇
2.3
装置的规格
EJM1DC-MB-02I-00 Page 2-29
2.3.4
外形尺寸
是交換台车规格时
(
单位
: mm)
前面
基准
基板搬送高度
900
2652
686 941
421 964 305 420
1207
864
1025
820 (
盖的外形
)
830 (
传送带宽度
)
5
820
835 (
主体
)
7
1444
1514 (
横向放置信号塔时
)
900
8
1629 (
纵向放置信号塔时
)
调整螺栓
5
交换台车
941
686
NPM-D
安装篇
2.3
装置的规格
Page 2-30 EJM1DC-MB-02I-00
是托盘供料器规格时
1.
连接托盘供料器时
2.
连接交換台车时
(
单位
: mm)
2728
1787
941
前面
交换台车
1207
864
1711
交换台车
前面
2683
1742
941
1207
864
1711
托盘供料器主体
交换台车