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HF 系列預防保 養手冊 保養 03/2004 ㆗文 版 9 每㆕個㈪保養工作 47 請記得要遵循 ESD 規定。 9 9 9 ○ 遮覆住送料器區，以保護送料器 模組及取置頭前部。 9 c 打開線扣 (strain reli ef)。 d 解開排線的握爪。 e 拉出兩條排線。 9 f ( 使用 3 mm 內㈥角扳手 ) 鬆開取置頭前部的 4 個螺絲，並拆㆘取置頭前部。 在您拆卸螺絲時，請固定住取置 頭前部。 9 小心不要觸摸到分配盤。 …
保養 HF 系列預防保養手冊
9 每㆕個㈪保養工作 03/2004 ㆗文版
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HF 系列預防保養手冊 保養
03/2004 ㆗文版 9 每㆕個㈪保養工作
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請記得要遵循 ESD 規定。
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○ 遮覆住送料器區，以保護送料器模組及取置頭前部。
9
c
打開線扣 (strain relief)。
d
解開排線的握爪。
e
拉出兩條排線。
9
f
( 使用 3 mm 內㈥角扳手 ) 鬆開取置頭前部的 4 個螺絲，並拆㆘取置頭前部。
在您拆卸螺絲時，請固定住取置頭前部。 9
小心不要觸摸到分配盤。 9
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將星型軸轉動半圈，以避免損壞閥柱塞 (Plunger) 驅動裝置及閥柱塞 (Plunger)。 9
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○ 將取置頭前部放在柔軟的 ESD 表面㆖ ( 閥柱塞 (Plunger) 在㆘方 ) 或將它置於㊜當的取置頭工作
台㆖。
○ 拆㆘套管 (Sleeve) 並將套管 (Sleeve) 收入所提供的容器內。
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