MX系列中文说明书 - 第192页
Mx Series Manual 4-26 错误 代 码 信息 内 容 措施 措施方法 及 参 考 12030 - 12037 Rear Gantry 1 号 -6 号 Head 喷 嘴有异物或 Pla ce 后喷嘴检测到 部件。 请确认喷嘴。 请参考喷嘴检验方法进行清洗和 管理。 13000 - 13007 (Front Gantry Head1-6) 放置 喷嘴的过程中出现错误。 请确认 ANC 设置及状态。 13010 - 130…
第4章 解决问题
4-25
错误代码 信息内容 措施 措施方法及参考
12000 喷嘴有异物或Place后喷嘴检测
到部件。
请确认喷嘴。
请参考喷嘴检验方法进行清洗和管理。
12001 TF Lack Pallet排列不正确。 请排列Tray Feeder的Pallet。
12002 无法找到Mark。 请确认Fiducial Mark位置及状态。
12003 无法抽出Offset Jig。
12004 Door开启导致轴停止移动。 请关闭Door。 4-27
12005 未找到适当的喷嘴，请更换喷
嘴。
请确认喷嘴。
请确认ANC的Nozzle设置。
12006 气压低，无法作业。 装备气压低而导致。
请确认气压。
4-40
12007 Z轴低，无法移动XY-Gantry。 请确认Z轴高度。
请确认Z轴高度设定值。
12008 未检测到Front feeder悬空。 不适用于MxSeries。
12009 未检测到Rear
feeder
悬空。 不适用于MxSeries。
12010 该位置无托盘或感应器运行错
误。
请检验Tray Feeder或Shuttle的托盘。
12011 Front真空罐(Vacuum Tank)的
压力低。
不适用于MxSeries。 4-40
12012 Rear真空罐(Vacuum Tank)的
压力低。
不适用于MxSeries。 4-40
12013 直线电动机的温度过高。 无相关项
12014 Front
feeder
base未锁定。 不适用于MxSeries。
12015 Rear
feeder
base未锁定。 不适用于MxSeries。
12016 再生产的Board存在未插入可
能性。
情确认部件数据库及运行状态。
12020 - 12027 Front Gantry 1号-6号Head喷
嘴有异物或Place后喷嘴检测到
部件。
请确认喷嘴。
请参考喷嘴检验方法进行清洗和管理。
Mx Series
Manual
4-26
错误代码 信息内容 措施 措施方法及参考
12030 - 12037 Rear Gantry 1号-6号Head喷
嘴有异物或Place后喷嘴检测到
部件。
请确认喷嘴。
请参考喷嘴检验方法进行清洗和管理。
13000 - 13007 (Front Gantry Head1-6)放置
喷嘴的过程中出现错误。
请确认ANC设置及状态。
13010 - 13017 (Rear Gantry Head1-6)放置
喷嘴的过程中出现错误。
请确认ANC设置及状态。
13020 - 13027 (Front Gantry Head1-6)选取
喷嘴的过程中出现错误。
请确认ANC设置及状态。
13030 - 13037 (Rear Gantry Head1-6)选取
喷嘴的过程中出现错误。
请确认ANC设置及状态。
14001 Shuttle的H轴出现了settling
错误。
不适用于MxSeries。
14002 检测到Shuttle部托盘的Interloc
k感应器。
不适用于MxSeries。
14003 检测到未指定的托盘。 不适用于用MxSeries。
14004 Shuttle端接驳台未能对Board
进行Road。
不适用于MxSeries。
14005 Shuttle端接驳台未能对Board
进行Unload。
不适用于MxSeries。
21000 等待下一个装备的基板要求信
号。
请确认Conveyor的状态。 4-46
21001 请拆下入口处的基板。 请确认Conveyor的状态。 4-46
21002 请拆下出口处的基板。 请确认Conveyor的状态。 4-46
21003 等待入口处供应基板。 请确认Conveyor的状态。 4-46
第4章 解决问题
4-27
Solutions for Errors
1. Emergency S/W
[症状]
y
紧急(Emergency S/W)按钮处于按下状态。
[处理]
x
Emergency S/W复原后重试。
x
请确认Emergency S/W的不良或接触不良。
Emergency Switch分别位于Front右侧和Rear左侧，应及时可以强制停止运行。
EMERGENCY 2
EMERGENCY 1