SP60P-L Mechanical - 第194页
10 雰 囲 気 温調本 体 :MPA-14A Atmospheri c Temperature Control M a in Body: MPA-14A パーツレイアウト Kit N o . キット品 番 Kit N am e キット名称 N6 1003 343 1AA ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LAYOUT Section No. - - S27 ( KN610033431AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
9
スキージ平行調整
Squeegee Parallel Adjustment Unit
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03B6A00
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
4
1 KXFB00FEA00
MICRO-METER-HEAD
4
2 KXF09B6AA00 No.148-207 MHT4-6.5
PIN
4
3 KXF09B7AA00 STEH7
S26
--
( KKXFX03B6A00-00 )
10
雰
囲
気
温調本
体
:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S27
( KN610033431AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
10
雰
囲
気
温調本
体
:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
TEMPERATURE-CONTROLLE
R
1
1 N510019851AA MPA-14A
CHAMBER
1
2 KXF0E0H3A00 HC40007(DDA)
FLANGE
1
3 KXF072WAA00 6132-9099
DUCT
1
4 N510011235AA FD125
SCREW
8
5 N510018257AA
Cross recessed Truss head machine screw M4X10-4.8 A2J (Trivalent)
FILTER
1
6 KXF0DY67A00 PS/400 185X185X14
S28
--
( KN610033431AA-01 )