SP60P-L Mechanical - 第195页
Ref No. Remark s R 1 Q'ty 10 雰 囲 気 温調本 体 :MPA-14A Atmospheri c Temperature Control M a in Body: MPA-14A ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610033431AA Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PART…
10
雰
囲
気
温調本
体
:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S27
( KN610033431AA-01 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
10
雰
囲
気
温調本
体
:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
TEMPERATURE-CONTROLLE
R
1
1 N510019851AA MPA-14A
CHAMBER
1
2 KXF0E0H3A00 HC40007(DDA)
FLANGE
1
3 KXF072WAA00 6132-9099
DUCT
1
4 N510011235AA FD125
SCREW
8
5 N510018257AA
Cross recessed Truss head machine screw M4X10-4.8 A2J (Trivalent)
FILTER
1
6 KXF0DY67A00 PS/400 185X185X14
S28
--
( KN610033431AA-01 )
11
内
部
照明
Internal Lighting
パーツレイアウト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
KXFX03AVA00
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S29
( KKXFX03AVA00-03 )