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4-4 4 █ 판스프링 장착툴 이 있을 경우 노즐 판 스 프링을 장 착할 때에는 , 옵션 구입품 「판스프링 장착 툴 ( P /N : K GS-M 8 8 1 0 -0 0X ) 」 를 사 용함으 로 서 , 보다 균일하 게 판스프링을 장 착할 수가 있습니다 . n 요점 이 툴을 소 유 하 고 계 실 경 우에 는 , 툴을 사 용 해 서 판 스프 링 을 장 착하실 것 을 권 장 합 니 다 . 1 노즐…
4-3
4
2. 노즐 판스프링의 교환
제 3 장「1.1.3 노즐 판스프링의 상태확인」을 실행한 결과 , 이상이 확인되었을 경우에는 , 노즐 판스프링의 교환
이 필요합니다 .
다음과 같이 노즐 판스프링의 교환 방법에 대해서 설명합니다 .
c
주의
노즐 판스프링에 관해서는 , 한쪽만 노화되었을 경우라도 , 반드시 한 쌍으로 부품 교환을 해 주십시오 .
█
판스프링 장착툴이 없을 경우
1
노즐을 탈착합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 사각건을 헤드유닛의 밑에 깔아둡니다 .
3. 교환할 판스프링이 장착되어 있는 헤드로부터
노즐을 손으로 빼 주십시오 .
c
주의
노즐 스테이션을 겸비하고 있을 경우는 , 모든 노즐을 노즐
스테이션에 수납해 주십시오 .
2
판스프링을 탈착합니다 .
샤프트를 지탱하면서 , 정밀 십자 드라이버로 장착
나사를 분리하고 , 교환할 판스프링을 탈착해 주십
시오 .
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c
주의
판스프링의 장착 나사만 분리해 주십시오 .
n
요점
판스프링 장착툴을 소유하고 계실 경우는 , 후술의「█ 판스프
링 장착툴이 있을 경우」를 참조해서 작업해 주십시오 .
3
새로운 판스프링을 장착합니다 .
새 판스프링을 위로 밀어 올리면서 , 정밀 십자
드리어버로 장착 나사를 체결해 주십시오 .
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c
주의
판스프링은 반드시 평행하게 되도록 장착해 주십시오 .
4
노즐을 끼웁니다 .
5
장착 상태를 확인합니다 .
1. 노즐을 끼워서 판스프링과 노즐의 사이에 틈새
가 없는지 확인합니다 .
2. 노즐의 탈장착을 수차례 반복해서 , 느슨하지
않은지 확인해 주십시오 .
3. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
c
주의
노즐은 탈착한 헤드에 반드시 되돌려 주십시오 . 노즐 스테이
션 ( 옵션 ) 에서 노즐을 탈착한 경우에는 , 원위치에 정확하게
수납해 주십시오 .
노즐 판스프링의 탈착
Step 2
노즐홀더
장착나사
판스프링
노즐 판스프링의 장착
Step 3
정밀 십자 드라이버
판스프링
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4
█
판스프링 장착툴이 있을 경우
노즐 판스프링을 장착할 때에는 , 옵션 구입품 「판스프링 장착 툴 (P/N:KGS-M8810-00X)」 를 사용함으로서 , 보다 균일하게
판스프링을 장착할 수가 있습니다 .
n
요점
이 툴을 소유하고 계실 경우에는 , 툴을 사용해서 판스프링을 장착하실 것을 권장합니다.
1
노즐을 탈착합니다 .
e
1.
비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 사각건을 헤드유닛 밑에 깔아 둡니다 .
3. 교환할 판스프링이 장착되어 있는 노즐을 손으
로 빼 주십시오 .
c
주의
노즐 스테이션을 겸비하고 있을 경우는 , 모든 노즐을 노즐
스테이션에 수납해 주십시오 .
2
판스프링을 탈착합니다 .
샤프트를 지탱하면서 , 정밀 십자 드라이버로 장착
나사를 분리하고 , 교환할 판스프링을 탈착해 주십
시오 .
3
새로운 판스프링을 임시 장착합니다 .
판스프링 장착나사를 체결한 위치에서 1/4 바퀴
정도 풀어서 판스프링을 장착해 둡니다 .
4
판스프링 장착툴을 끼웁니다 .
장착툴의 홈과 판스프링의 돌기부가 서로 맞물리
도록 , 장착툴을 노즐 샤프트에 끼웁니다 .
장착툴은 위쪽 끝까지 끼워 주십시오 .
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5
판스프링을 고정합니다 .
손으로 판스프링의 돌기부와 장착툴의 홈을 지탱
한 상태에서 , 정밀 십자 드라이버로 장착 나사를
체결해 주십시오 .
6
판스프링의 장착상태를 확인합니다 .
장착툴의 홈과 판스프링의 돌기부와의 사이에 틈
새가 없이 밀착되어 있는지 확인해 주십시오 .
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7
장착툴을 뺍니다 .
8
장착 상태를 확인합니다 .
1. 노즐의 탈장착을 수차례 반복해서 , 느슨하지
않은지 확인해 주십시오 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
c
주의
노즐은 탈착한 헤드에 반드시 되돌려 주십시오 . 노즐 스테이
션 ( 옵션 ) 에서 노즐을 탈착한 경우에는 , 원위치에 정확하게
수납해 주십시오 .
Step 4,5
윗쪽 끝까지 끼운다
판스프링 장착툴
손가락으로 지탱하면서 장착나사 체결
판스프링 장착툴의 사용
판스프링 장착상태 확인
판스프링의 돌기부와 장착툴의 홈이 밀착되어 있을 것
Step 6
4-5
4
3. 이젝터부
3.1 이젝터 BIT 의 교환
1
헤드를 정면 앞쪽으로 이동시킵니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 헤드 유닛을 장비정면 앞쪽으로 이동시킵니다 .
2
공급에어를 차단합니다 .
장비 좌측하단 패널내의「에어공급 / 배출」밸브를
우측으로 돌려서 에어공급을 차단해 주십시오 .
3
정류판을 분리합니다 .
1. 사각건을 헤드유닛 밑에 깔아 둡니다 .
2. 육각렌치로 정류판을 분리해 주십시오 .
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4
BIT 를 손으로 당겨서 뺍니다 .
육각렌치로 캡을 좌측으로 돌려서 분리하여 주십
시오 . BIT 의 선단이 보이므로 손으로 당겨서 빼
냅니다 .
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c
주의
교환한 BIT 는 재사용할 수 없습니다 . 재사용하면 정상적인
부품흡착을 할 수 없게 될 가능성이 있습니다 .
5
BIT 의 장착부를 청소합니다 .
옵션 구입품인 에어블로우 툴과 광학계 청소용 면
봉 등으로 장착부의 먼지나 더러움을 제거합니다 .
6
새 BIT 를 장착합니다 .
먼저 캡에 O 링을 끼운 후 , 새로운 BIT 를 캡에 끼
웁니다 . BIT 를 장착부의 구멍에 삽입하고 , 캡을
우측으로 돌려서 잠급니다 .
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c
주의
BIT 의 캡이 정상적으로 잠겨져 있지 않으면 , 진공 동작시
BIT 가 빠져나올 우려가 있으므로 , 반드시 확인해 주십시오 .
c
주의
BIT 를 삽입하고 캡을 끼울때 , O 링이 빠지지 않도록 주의해
주십시오 .
7
정류판을 원상태로 장착합니다 .
1. 육각렌치로 정류판을 원래대로 장착합니다 .
2. 사각건을 정리합니다 .
8
에어를 공급합니다 .
장비 좌측하단 패널내의「에어공급 / 배출」밸브를
좌측으로 돌려서 에어를 공급해 주십시오 .
BIT의 분리
O링 캡BIT
Step 4
BIT 장착부
BIT의 장착
O링
Step 6
정류판의 분리
Step 3
정류판(Baffle Plate)