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4-6 4 3 .2 솔레노 이드 밸브 의 교 환 1 헤드를 정면 앞쪽 으 로 이동시킵 니다 . e 1 . 비상정 지 버 튼을 누 르고 , 장비의 안전커버 를 오픈합 니다 . 2. 헤 드 유닛 을 장 비 정면 앞쪽으로 이동 시 킵 니 다 . 574 0 5 - L 6 -10 2 공 급에 어와 장비의 전원을 차단합 니다 . 1 . 소 프트 웨어 를 종료 하 고 장비의 전원 을 OFF 합 니다 . …
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4
3. 이젝터부
3.1 이젝터 BIT 의 교환
1
헤드를 정면 앞쪽으로 이동시킵니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 헤드 유닛을 장비정면 앞쪽으로 이동시킵니다 .
2
공급에어를 차단합니다 .
장비 좌측하단 패널내의「에어공급 / 배출」밸브를
우측으로 돌려서 에어공급을 차단해 주십시오 .
3
정류판을 분리합니다 .
1. 사각건을 헤드유닛 밑에 깔아 둡니다 .
2. 육각렌치로 정류판을 분리해 주십시오 .
57402-L6-0 0
4
BIT 를 손으로 당겨서 뺍니다 .
육각렌치로 캡을 좌측으로 돌려서 분리하여 주십
시오 . BIT 의 선단이 보이므로 손으로 당겨서 빼
냅니다 .
57403-L6-00
c
주의
교환한 BIT 는 재사용할 수 없습니다 . 재사용하면 정상적인
부품흡착을 할 수 없게 될 가능성이 있습니다 .
5
BIT 의 장착부를 청소합니다 .
옵션 구입품인 에어블로우 툴과 광학계 청소용 면
봉 등으로 장착부의 먼지나 더러움을 제거합니다 .
6
새 BIT 를 장착합니다 .
먼저 캡에 O 링을 끼운 후 , 새로운 BIT 를 캡에 끼
웁니다 . BIT 를 장착부의 구멍에 삽입하고 , 캡을
우측으로 돌려서 잠급니다 .
5740 4 -L6 - 00
c
주의
BIT 의 캡이 정상적으로 잠겨져 있지 않으면 , 진공 동작시
BIT 가 빠져나올 우려가 있으므로 , 반드시 확인해 주십시오 .
c
주의
BIT 를 삽입하고 캡을 끼울때 , O 링이 빠지지 않도록 주의해
주십시오 .
7
정류판을 원상태로 장착합니다 .
1. 육각렌치로 정류판을 원래대로 장착합니다 .
2. 사각건을 정리합니다 .
8
에어를 공급합니다 .
장비 좌측하단 패널내의「에어공급 / 배출」밸브를
좌측으로 돌려서 에어를 공급해 주십시오 .
BIT의 분리
O링 캡BIT
Step 4
BIT 장착부
BIT의 장착
O링
Step 6
정류판의 분리
Step 3
정류판(Baffle Plate)
4-6
4
3.2 솔레노이드 밸브의 교환
1
헤드를 정면 앞쪽으로 이동시킵니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 헤드 유닛을 장비정면 앞쪽으로 이동시킵니다 .
574 05-L6-10
2
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
1. 소프트웨어를 종료하고 장비의 전원을 OFF 합
니다 .
2. 장비 좌측하단 패널내의「에어 공급 / 배출」밸
브를 우측으로 돌려서 에어공급을 차단해 주
십시오 .
3
이젝터용 하네스의 커넥터를 분리합니
다.
1. 헤드 유닛의 밑에 사각건을 깔아 둡니다 .
2. 이젝터용 하네스의 커넥터를 모두 빼 주십시
오.
4
솔레노이드 밸브를 분리합니다 .
정밀 십자 드라이버를 사용해서 솔레노이드 밸브
를 고정하고 있는 나사 (2 개 ) 를 분리해 주십시오 .
57406-L6-00
5
새로운 솔레노이드 밸브를 장착합니다 .
c
주의
밸브의 뒤쪽에는 개스킷이 끼워져 있으므로 , 누락이나 낙하
에 주의하면서 새로운 밸브로 교환해 주십시오 .
6
하네스를 접속합니다 .
1. 이젝터용 하네스의 컨넥터를 원상태로 접속시
켜 주십시오 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
7
공급에어와 장비의 전원을 투입합니다 .
장비를 기동하고 원점복귀를 해 주십시오 .
8
동작을 확인합니다 .
[ 장치 ]-「헤드」화면의 [ 진공 ], [ 블로우 ] 버튼을
눌러서 이상 수치가 나오지 않는지 확인하여 주십
시오 .
솔레노이드 밸브의 분리
Step 4
정밀 십자 드라이버
솔레노이드 밸브
개스킷
공급에어의 차단
Step 2
에어 공급/배출 밸브
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4
3.3 청소용 블로우 밸브의 교환
1
헤드를 정면 앞쪽으로 이동시킵니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 헤드 유닛을 장비정면 앞쪽으로 이동시킵니다 .
2
공급에어와 장비의 전원을 차단합니다 .
1. 소프트웨어를 종료하고 장비의 전원을 OFF 합
니다 .
2. 장비 좌측하단 패널내의「에어 공급 / 배출」밸
브를 우측으로 돌려서 에어공급을 차단해 주
십시오 .
3
청소용 블로우 밸브의 커넥터를 분리합
니다 .
1. 헤드 유닛의 밑에 사각건을 깔아 둡니다 .
2. 블로우 밸브용 커넥터를 빼 주십시오 .
47407-L6- 00
c
주의
커넥터를 분리할 때는 하네스를 당기지 않도록 해 주십시오 .
4
청소용 블로우 밸브를 분리합니다 .
정밀 십자 드라이버로 블로우 밸브의 고정나사
2 개를 풀고 , 블로우 밸브를 분리해 주십시오 .
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5
새 청소용 블로우 밸브를 장착합니다 .
c
주의
밸브의 뒤쪽에는 개스킷이 끼워져 있으므로 , 누락이나 낙하
에 주의하면서 새로운 밸브로 교환해 주십시오 .
6
커넥터를 접속합니다 .
1. 커넥터를 원상태로 접속시켜 주십시오 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
7
공급에어와 장비의 전원을 투입합니다 .
장비를 기동하고 원점복귀를 해 주십시오 .
8
동작을 확인합니다 .
제3장「4.3 각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로
우 밸브의 동작확인」을 참조해서 같은식으로 동
작을 확인해 주십시오 .
커넥터의 분리
Step 3
블로우용 커넥터
블로우 밸브
청소용 블로우 밸브의 분리
Step 4
정밀 십자 드라이버
블로우 밸브