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3-8 3 1 .3 컨베이 어 센 서의 상태와 동 작확인 본 장 비 에 서 는 컨 베 이 어 센 서 로서 투 과 형 파이 버 센 서 를 사용 하 고 있 습 니 다 . 컨 베 이 어 폭 이 바뀌 면 투 광 - 수광 센 서 간 의 거 리 가 바뀌 므로 , 센 서 의 수 광 상 태 고 변 하 게 됩 니 다 . 본 장 비 에 는 컨 베 이 어 폭 을 변 경 했 을 때 의 센 서 수광 상 태 를 기 …

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3-7
3
3
초음파 척기로 노즐세정합니다 .
1. 초음세척내의 용기 ( 비커 등 ) 노즐을
넣습니다 .
2. 기에 노즐이 충분히 잠길때 IPA
니다 .
3. 초음세척기에 물습니 .
4. 초음세척10 분정도 실행합니 .
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4
에어 로우니다 .
1. 초음세척에서 즐을 .
2. 전체우해서 IPA 제거
. 노즐스프링부와 경로점적
주십시 .
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5
그리퍼 노즐유합니다 .
1. 면봉 드라이버단에 량의
터빈유 묻힙니다 .
2. 즐의 동부에 터빈유를 합니 .
3. 즐을 수차례 동작시켜서 , 동작부에
스며들게 합니다 .
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n
요점
는 얇은 막의 유분이 생길 정면 충분.
6
거합니다 .
1. 에어 동작부를 에어 우해서 ,
유분을 제거합니 .
2. 봉이지가 나지 와이퍼 등으로
동작부 주유분을 아냅니 .
7
노즐의 태를 확인합니다 .
1. 탈착한 헤드의 치에 노즐을 장착합니 .
스테이션에서 즐을 탈착했우는 ,
즐을 노즐 스테이되돌후에
[ 노즐변 ] 버튼으로 노즐을 장착합니
다.
2. [ 장치 ]-「헤에서 , 하는 헤드의
[ ] 버튼눌러서 , 그리퍼 즐이 원활하
닫히는합니
3. [ 진공 ] 버튼눌러서 , 상태를
합니 . 그리노즐이 원활하게 열리는
확인해 주십시 .
n
요점
즐 스서 노즐을 탈한 경우에는 노즐 스
납 위에 되돌려 주십 .
초음파 세척기
Step3
초음파 세척기
비커
물을 넣는다
IPA를 넣는다
Step4
에어 블로우
에어 블로우
그리퍼 노즐의 급유
Step 5
면봉 또는 정밀 드라이버에
터빈유를 소량 묻히다
터빈유를 스며들게 한다
3-8
3
1.3 컨베이서의 상태와 작확인
로서 파이사용.
바뀌 - 수광 바뀌므로 , .
수광 자동으로
.
, 으로 하여
.
컨베이어 센서의 상태, 동작확인
투광
수광
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1
「장치」-「컨베이어」선택합니다 .
2
컨베이어 경합니다 .
[ 컨베 ] 버튼르고 , 변경
, [OK] 버튼눌러 .
컨베이어지정으로 변경 .
3
에러발생 확인합니다 .
컨베이어폭을 변경을때 , 에러 지가 표시되
않으 , 컨베센서상적으로 동작
으므로 , 다른 조정필요습니 .
메시표시되었 , Step4
순서따라서 이어 센서 실시
십시오 .
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4
컨베이어 튜닝을 실시합니다 .
1. [ 장치 ]-「I/O화면을 표시합니 .
2. 출력모니 (Output) 드롭스트에
컨베이어」 선택합니다 .
3. 「컨베센서 」(T01000E-0)
니다 .
4. [ON/OFF] 버튼0(OFF) 1(ON)
0(OFF) 로 전환해서, 동튜합니 .
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5
서의 상태인합니다 .
컨베이어 폭을 변경해서 , 에러 지가
표시되지 않음을 주십시 .
6
서의 주변을 확인합니다 .
조정여전 , 에러 지가 표시될
, 센서 주변의 수광상태가 나쁘거 , 센서 (
) 고장 또는 , 이버능성이
있습니다 .
, 센서부의 더러움이제거후에 ,
다시 컨베실시주십시 .
컨베이어 센서의 확인
Step 1-3
컨베이어 센서의 튜닝
2
3
4
Step 4
3-9
3
1.4 클램프태와 작확인
1.4.1 기판 램프상태
품종, 산품 , 1 으로 다음같이
.
1. 기판클램했을 때에 , 기판에 반동 .
2. 기판클램프 했을 , 판누름 플레이판과
사이에 틈새 .
3. 기판클램프 했을 , 이어 레일 상면과 기판
단차발생않을 .
4. 기판클램프 유니트가 원활하게 작동할 .
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n
요점
의 1~3 이 NG 일 경우에 , 기판누름 플와 푸쉬
의 수량과 위가 적지 확인해 주십 .
판누름 플레의 고가 느할 경우에 , 단단히
해 주십 .
4 가 NG 일 경 , 다음의 기판 클프의 동작 확
해 주십 .
1.4.2 기클램프확인
e
1
준비를 합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 장비의 안전커버
오픈합니다 .
2. 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니 .
2
클램드를 시킵니다 .
1. 컨베어상에 기판이 에서 ,
[ 장치 ]-이어화면의 [ 기판 클램 ]
버튼을 릅니다 .
2. 클램보드가 원활하우침없상승되
육안으로 확인해 주 .
3
클램드를 강시킵니다 .
1. [ 기판 클램 ] 튼을 눌러서 , 클램프
드를 강시킵니다 .
2. 클램보드가 원활하우침없하강
육안으로 확인해 주 .
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4
클램복합니다 .
상기 Step2~3 클램
/
언클램프를
해서 안정하동작되확인합니 .
n
요점
판 플프 동작이 원지 않을 경우에 , 판매 대
는 야로 연락해 주십 .
클램프 상태의 확인
기판누름과의 틈새가 없을 것.
클램프시, 단차가 없는 것을 확인한다.
클램프와 언클램프를
실행해서, 확인한다.
클램프 동작의 확인
Step 2-4
[기판 클램프] 버튼
원활하게 상하로 동작
좌우의 치우침이 없을 것기판 클램프 보드