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3-17 3 3 .3 기 판 반 송 부의 점검 3. 3 . 1 컨베이 어 벨트 의 점 검 과 청소 벨 트 반송 면 의 마 모가 심 해 지 면 , 미 끄 러 짐 이 발 생 해 서 기 판 의 반 송 이 안 정 되 지 않 게 됩 니 다 . 따 라 서 , 정 기 적 으 로 컨 베 이 어 벨 트 의 마 모 상 태 를 확 인 할 필 요가 있 습 니 다 . 그 리 고 , 벨 트 의 마 모로 인 해 서 컨…

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새로운 구리스를 도포합니다 .
볼스크류
보호장갑을 낀 손에 새로운 지정 구리스 (NSL) 를
2cm 정도 묻혀서 , 볼스크류 (2 군데 ) 의 리드에
골고루 도포합니다 .
볼가이드
보호장갑을 낀 손에 새로운 지정 구리스 (NSL) 를
2cm 정도 묻혀서 , 볼가이드에 골고루 도포합니
다.
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구리스를 스며들게 합니다 .
1. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지를 해제합
니다 . 대차 사양의 경우는 , 대차를 장착해 주
십시오 .
2. [ 푸쉬업 ] 버튼을 눌러서 , 푸쉬업 유니트를
하강시킵니다 .
3. Step2 와 같은 식으로 푸쉬업 유니트를 상승
시킵니다 .
4. 상기의 2~3 의 작업을 반복해서 구리스를
스며들게 한 후에 , 푸쉬업 유니트를 상승된
상태로 해 둡니다 .
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여분의 구리스를 제거합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 여분의 구리스를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 등으로 닦아냅니다 .
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푸쉬업 플레이트를 원상태로 장착합니
다.
Step3 과 반대순으로 푸쉬업 플레이트를 장착해
주십시오 .
c
주의
푸쉬업 플레이트는 무거우므로 , 취급시에는 충분히 주의해
주십시오 .
구리스의 도포
Step 5
볼스크류 2군데
볼가이드 2군데

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3
3.3 기판 반송부의 점검
3.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 청소
벨트 반송면의 마모가 심해지면 , 미끄러짐이 발생해서 기판의 반송이 안정되지 않게 됩니다. 따라서 , 정기적으
로 컨베이어 벨트의 마모 상태를 확인할 필요가 있습니다.
그리고 , 벨트의 마모로 인해서 컨베이어 센서의 수광면에 마모가루가 쌓이면 기판 오검출 등의 트러블이 발생할
가능성이 있는 한편, 벨트의 가이드부나 풀리의 외주부에 마모 가루가 쌓이면 벨트가 고착될 우려가 있습니다.
다음과 같이 컨베이어 벨트의 마모상태를 점검해 주십시오 .
1
컨베이어폭을 작업하기 수월한 너비로
변경합니다 .
1. [ 컨베이어폭 ] 버튼을 누르면 ,「컨베이어폭」
화면이 표시됩니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」에 공구 ( 육각렌치 )
가 들어갈 정도의 수치(200mm)를 입력하고 ,
[OK] 버튼을 눌러 주십시오 .
컨베이어가 지정된 폭으로 변경됩니다 .
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2
작업 준비를 합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
3. 사각건을 푸쉬업 플레이트상에 깔아둡니다 .
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3
기판 클램프 보드를 탈착합니다 .
육각렌치 (3) 로 기판 클램프 보드의 고정볼트
( 우측 그림의 4 군데 ) 를 빼고 기판 클램프 보드를
떼어내 주십시오 .
c
주의
우측 그림의 볼트 4 개 이외는 풀거나 빼지 마십시오 .
컨베이어 폭의 변경
Step 1
[컨베이어 폭] 버튼 컨베이어 폭의 입력
기판 클램프 보드의 탈착
Step 3
기판 클램프 보드
기판 클램프 보드의 고정볼트

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3
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벨트를 느슨하게 합니다 .
1. 컨베이어 벨트를 느슨하게 하기 전에 현재의 풀리의 위치를 유성펜으로 마킹합니다 .
2. 다음 그림을 참고해서 , 텐션이 결려 있는 풀리의 고정볼트를 육각렌치 (5) 와 육각렌치 (4) 로 느슨하
게 합니다 .
3. 벨트가 풀리는 방향으로 풀리를 이동시킵니다 .
컨베이어 벨트 풀기
육각렌치 (5)
육각렌치 (4)
풀리의 위치에 마킹
벨트가 풀리는 방향
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컨베이어로 부터 벨트를 탈거합니다 .
풀리와 컨베이어 가이드로 부터 컨베이어 벨트를 탈거해 주십시오 .
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컨베이어 벨트를 확인합니다 .
탈거한 벨트의 반송면에 마모나 보풀 등이 없는지 확인해 주십시오 . 마모나 보풀 등이 심할 경우는 ,
제4장「4. 컨베이어 벨트의 교환」을 참조해서 컨베이어 벨트를 교환해 주십시오 .