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4OM-1839 1-4-36 1603-001 4.8 XY ビーム部 Y軸ケーブル固定か所 6か月ごと 点検 所要時間:1分 Y軸ケーブル側面 6か月ごと 清掃、給油 所要時間:3分 ( バリエルタIEL/V) Fig. 4A4-46 Y軸リニアスケール 6 か月ごと 清掃 所要時間:5分 Fig. 4A4-47
4OM-1839
1-4-35
1603-001
4.8 XY ビーム部
4.8 XY ビーム部
X軸リニアガイド(4か所)
毎日 点検 所要時間:1分
X軸リニアガイド(4か所)
3か月ごと 清掃、給油 所要時間:5分
（ダフニーグリースMPNo.1）
Y軸リニアガイド(4か所)
毎日 点検 所要時間:1分
Y軸リニアガイド(4か所)
3か月ごと 清掃、給油 所要時間:5分
（ダフニーグリースMPNo.1）
Fig. 4A4-45
4OM-1839
1-4-36
1603-001
4.8 XY ビーム部
Y軸ケーブル固定か所
6か月ごと 点検 所要時間:1分
Y軸ケーブル側面
6か月ごと 清掃、給油 所要時間:3分
(バリエルタIEL/V)
Fig. 4A4-46
Y軸リニアスケール
6か月ごと 清掃 所要時間:5分
Fig. 4A4-47
4OM-1839
1-4-37
1603-001
4.8 XY ビーム部
4.8.1 X 軸リニアガイドの点検
周期：毎日（所要時間：1 分）
X 軸リニアガイド
Fig. 4A4-48
手順
異物などが落ちていないか目視で点検し、異物などが落ちている場合は取
除いてください。