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4OM-1839 1-4-42 1603-001 4.8 XY ビーム部 4.8.6 Y 軸ケーブル固定か所の点検 周期：6 か月ごと（所要時間：1 分） Y 軸ケーブル固定か所 Fig. 4A4-53 手順 亀裂などの異常がないか、目視で確認してください。 4.8.7 Y 軸リニアスケールの清掃 周期：6 か月ごと（所要時間：5 分） リニアスケール Fig. 4A4-54 手順 汚れがひどい場合、アルコールをしみこませたウエスで清掃…
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4.8 XY ビーム部
4.8.5 Y 軸ケーブル側面の清掃と給油
周期：6 か月ごと（所要時間：3 分）
グリース：バリエルタ ZEL/V
Y 軸ケーブル側面
Fig. 4A4-52
手順
（1） 油ウエスで古いグリースを拭取る。
（2） 新しいグリースを手またはハケで塗布する。
注 意
糸くずなどを残さないようにしてください。
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4.8 XY ビーム部
4.8.6 Y 軸ケーブル固定か所の点検
周期：6 か月ごと（所要時間：1 分）
Y 軸ケーブル固定か所
Fig. 4A4-53
手順
亀裂などの異常がないか、目視で確認してください。
4.8.7 Y 軸リニアスケールの清掃
周期：6 か月ごと（所要時間：5 分）
リニアスケール
Fig. 4A4-54
手順
汚れがひどい場合、アルコールをしみこませたウエスで清掃してくださ
い。
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4.9 基板位置決め部
ボールネジ(3か所)
3か月ごと 清掃、給油 所要時間:10分
（ダフニーグリースMP No.1）
バックアップテーブル上面
毎週 清掃 所要時間:2分
Fig. 4A4-55
ボールネジ(3か所)
3か月ごと 清掃、給油 所要時間:10分
（ダフニーグリースMP No.1）
バックアップテーブル上面
毎週 清掃 所要時間:2分
ボールネジスプライン
(グリースニップル4か所)
6か月ごと 清掃、給油 所要時間:10分
（ダフニーグリースMP No.1）
ニップルはバックアップテーブルの下部
Fig. 4A4-55-1 Y510 mm シングル搬送
ノート
Y510mm と Y250mm は選択になります。
4.9 基板位置決め部