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4OM-1839 1-4-44 1603-001 4.9 基板位置決め部 4.9.1 バックアップテーブル上面の清掃 周期：毎週（所要時間：2 分） バックアップテーブル上面 Fig. 4A4-56 手順 異物、不要部品などを解除し、ゴミ、ほこりなどを掃除機で吸取ってくだ さい。 ノート Y510mm と Y250mm は選択になります。
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1603-001
4.9 基板位置決め部
ボールネジ(3か所)
3か月ごと 清掃、給油 所要時間:10分
（ダフニーグリースMP No.1）
バックアップテーブル上面
毎週 清掃 所要時間:2分
Fig. 4A4-55
ボールネジ(3か所)
3か月ごと 清掃、給油 所要時間:10分
（ダフニーグリースMP No.1）
バックアップテーブル上面
毎週 清掃 所要時間:2分
ボールネジスプライン
(グリースニップル4か所)
6か月ごと 清掃、給油 所要時間:10分
（ダフニーグリースMP No.1）
ニップルはバックアップテーブルの下部
Fig. 4A4-55-1 Y510 mm シングル搬送
ノート
Y510mm と Y250mm は選択になります。
4.9 基板位置決め部
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1-4-44
1603-001
4.9 基板位置決め部
4.9.1 バックアップテーブル上面の清掃
周期：毎週（所要時間：2 分）
バックアップテーブル上面
Fig. 4A4-56
手順
異物、不要部品などを解除し、ゴミ、ほこりなどを掃除機で吸取ってくだ
さい。
ノート
Y510mm と Y250mm は選択になります。
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1603-001
4.9 基板位置決め部
4.9.2 ボールネジの清掃と給油
周期：3 か月ごと（所要時間：10 分）
グリース：ダフニーグリース MP No.1
ボールネジ
Fig. 4A4-57
手順
（1） ウエスで古いグリースを拭取る。
（2） ネジ軸に新しいグリースをシリンジで塗ってください。
ノート
Y510mm シングル搬送 ( 選択 ) 搭載時も同様に清掃と給油を行ってください。