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4OM-1839 1-4-45 1603-001 4.9 基板位置決め部 4.9.2 ボールネジの清掃と給油 周期：3 か月ごと（所要時間：10 分） グリース：ダフニーグリース MP No.1 ボールネジ Fig. 4A4-57 手順 （1） ウエスで古いグリースを拭取る。 （2） ネジ軸に新しいグリースをシリンジで塗ってください。 ノート Y510mm シングル搬送 ( 選択 ) 搭載時も同様に清掃と給油を行ってください。
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4.9 基板位置決め部
4.9.1 バックアップテーブル上面の清掃
周期：毎週（所要時間：2 分）
バックアップテーブル上面
Fig. 4A4-56
手順
異物、不要部品などを解除し、ゴミ、ほこりなどを掃除機で吸取ってくだ
さい。
ノート
Y510mm と Y250mm は選択になります。
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4.9 基板位置決め部
4.9.2 ボールネジの清掃と給油
周期：3 か月ごと（所要時間：10 分）
グリース：ダフニーグリース MP No.1
ボールネジ
Fig. 4A4-57
手順
（1） ウエスで古いグリースを拭取る。
（2） ネジ軸に新しいグリースをシリンジで塗ってください。
ノート
Y510mm シングル搬送 ( 選択 ) 搭載時も同様に清掃と給油を行ってください。
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4.9 基板位置決め部
4.9.3 ボールネジスプラインの清掃と給油
周期：6 か月ごと（所要時間：10 分）
グリース：ダフニーグリース MP No.1
グリースニップル
ボールネジスプライン
( バックアップテーブル下部 )
Fig. 4A4-57-1 Y510 mm シングル搬送
ノート
Y510mm と Y250mm は工場出荷時の選択となります。
手順
（1） ウエスで古いグリースを拭取ってください。
糸くずなどを残さないようにしてください。
（2） ハンドグリースガンにマイクロホースを取付けて
グリースニップルから新しいグリースを給油してください。
ノート
使用するノズルは SPK-3C です。
Fig. 4A4-57-2