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4OM-1839 1-4-51 1603-001 4.10 コンベア部 4.10.3 基板検出センサの清掃 周期：毎週（所要時間：2 分） 基板検出 センサ 受光部は図の内側 Fig. 4A4-63 手順 基板検出センサ投受光部をウエスで清掃してください。 ノート Y510mm シングル搬送 ( 選択 ) 搭載時も同様に清掃を行ってください。