4M-1839-002w_F8S - 第134页

4OM-1839 1-4-60 1603-001 4.13 排気ファン部 4.13.2 排気ファン（フィルタ）の清掃 Fig. 4A4-73 手順（1）ネジ（2 か所）で固定されている排気ファン（フィルタ）を取外す。（2）掃除機でゴミ、ほこりを吸取る。（3）排気ファンを取付ける。

4OM-1839

1-4-59

1603-001

4.13 排気ファン部

4.13.1 排気ファンの清掃

周期：3 か月ごと（所要時間：10 分）

排気ファン

Fig. 4A4-72

手順

掃除機でゴミ、ほこりを吸取ります。

4OM-1839

1-4-60

1603-001

4.13 排気ファン部

4.13.2 排気ファン（フィルタ）の清掃

Fig. 4A4-73

手順

（1）ネジ（2 か所）で固定されている排気ファン（フィルタ）を取外す。

（2）掃除機でゴミ、ほこりを吸取る。

（3）排気ファンを取付ける。

4OM-1

839

1-5-1

1903-002

5. 吸着ノズルの清掃方法

部品の吸着および装着の信頼性を安定して継続させるため、吸着ノズルの

清掃を定期的に実施してください。

•

約 1 週間を目安に定期的に清掃してください。

ノート

0402 用ノズルは、3 ～ 4 日ごとの清掃を推奨します。

•

吸着ノズルの使用頻度や周囲環境などにより、必要に応じて清掃頻度を

変えてください。

•

吸着ノズルの真空吸引力が弱くなり、吸着および装着の不具合が発生し

た場合には、そのつど確認して清掃してください。

ノズル清掃時、この部分を強く握らないでください。

強く握るとノズルが破損する場合があります。

強く握る必要がある場合は、ツバ面を握ってください。

また、認識異常が多発する場合は、歯ブラシで

20回程度、ツバ裏面をこすってください。

テーパ部

Fig. 4A4-45