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4OM-1 839 1-5-3 1903-002 5.2 吸着ノズルの取外し方法 5.2 吸着ノズルの取外し方法 • 吸着ノズルを画面操作にてノズルストッカに収納し、ノズルストッカごと取出します。注意 (a) ヘッドから吸着ノズルを手で取出さないでください。手で取出しますと、ノズルとノズルデータが合わなくなります。 (b) ヘッドに取付けたままでの清掃 ( エアブロー ) は行わないでください。フィルタがヘッドから飛び出し、…

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5.1 吸着ノズルの清掃手順

ノズルフィルタを取外す

詳細については、“5.3 ノズルフィルタの

取外し方法”を参照してください。

吸着ノズルをエアブローする

吸着穴に詰りがないことを確認する

詳細については、“5.4 エアブロー方法”を

参照してください。

吸着ノズルの先端の吸着穴を、拡大鏡で詰りの

有無を確認してください。

詳細については、“5.5 ピンゲージによる高速

ノズル穴部の清掃”を参照してください。

吸着ノズルを取外す

詳細については、“5.2 吸着ノズルの取外し”

を参照してください。

ノズルフィルタを挿入する

詳細については、“5.6 ノズルフィルタの挿入

方法”を参照してください。

Fig. 4A5-2

通知

ノズル清掃において超音波洗浄および溶剤を使用した場合、

ノズル接着接合部の接着剤が劣化し、接着剤の剥離破損が発

生します。

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5.2 吸着ノズルの取外し方法

•

吸着ノズルを画面操作にてノズルストッカに収納し、ノズルストッカ

ごと取出します。

注意

(a) ヘッドから吸着ノズルを手で取出さないでください。

手で取出しますと、ノズルとノズルデータが合わなくなります。

(b) ヘッドに取付けたままでの清掃 ( エアブロー ) は行わないでく

ださい。

フィルタがヘッドから飛び出し、ヘッドを損傷するおそれがあり

ます。

ヘッド部には外部より磁場を与えないでください。

例として

•

磁力を近づけないでください。

•

脱磁機を近づけないでください。

吸着ノズルの脱磁は単体で行ってください。

吸着ノズルの収納手順については“第 2 巻 6 章 5. ノズル交換”を参照

してください。

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5.3 ノズルフィルタの取外し方法

以下の図のようにフィルタ抜取り治具を使用して、ノズルフィルタを押し

出します。

フィルタ抜取り治具

吸着ノズル

押す

ノズルフィルタを押し出す

Fig. 4A5-3

ノート

取外したノズルフィルタは再使用しないでください。