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4OM-1 839 1-5-4 1903-002 5.3 ノズルフィルタの取外し方法 5.3 ノズルフィルタの取外し方法 以下の図のようにフィルタ抜取り治具を使用して、ノズルフィルタを押し 出します。 フィルタ抜取り治具 吸着ノズル 押す ノズルフィルタを押し出す Fig. 4A5-3 ノート 取外したノズルフィルタは再使用しないでください。

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5.2 吸着ノズルの取外し方法
5.2 吸着ノズルの取外し方法
吸着ノズルを画面操作にてノズルストッカに収納し、ノズルストッカ
ごと取出します。
(a) ヘッドから吸着ノズルを手で取出さないでください。
手で取出しますと、ノズルとノズルデータが合わなくなります。
(b) ヘッドに取付けたままでの清掃 ( エアブロー ) は行わないでく
ださい。
フィルタがヘッドから飛び出し、ヘッドを損傷するおそれがあり
ます。
(c) ヘッドに取付けたままでの脱磁は行わないでください。
ヘッド部には外部より磁場を与えないでください。
例として
磁力を近づけないでください。
脱磁機を近づけないでください。
吸着ノズルの脱磁は単体で行ってください。
吸着ノズルの収納手順については“第 2 6 5. ノズル交換”を参照
してください。
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5.3 ノズルフィルタの取外し方法
5.3 ノズルフィルタの取外し方法
以下の図のようにフィルタ抜取り治具を使用して、ノズルフィルタを押し
出します。
フィルタ抜取り治具
吸着ノズル
押す
ノズルフィルタを押し出す
Fig. 4A5-3
ノート
取外したノズルフィルタは再使用しないでください。
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5.4 エアブロー方法
5.4 エアブロー方法
汚れ、ゴミなどを除去します。
軽度の汚れは、エアブローやふき取りにより、汚れ、ゴミなどを除去
します。
吸着ノズルのテーパ部は、レンズクリーナクロスで清掃を行ってくだ
さい。
エアブロー用のエアは油分、水分のないクリーンエアを使用してくだ
さい。
Fig. 4A5-4
通知
ノズルにエアブローを行う際は、ノズル先端方向からエアブ
ローを行うようにしてください。
クランプ爪の方向からノズルに対してエアブローを行うと
クランプ爪が折れてしまう危険があります。