4M-1839-002w_F8S - 第202页
4OM-1839 3-3-43 1603-001 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 425107 供給コンベアセンサ検出 動作完了後に停止センサ上で基板を検出しました 供給コンベア上の基板を取除いてください。 425108 供給コンベアセンサ検出 動作完了後に停止センサ上の基板が検出されませんでした 基板が正しく検出されているか確認してください。 センサが故障していないか確認してください。 425109 供給コンベアセンサ検…
4OM-1839
3-3-421603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
424102 供給コンベア基板検出
供給コンベア上に基板が存在しています
コンベア上の基板を取除いてください
424201 排出コンベア基板検出
後工程装置への排出動作開始前に基板が検出されました
コンベア上の基板を取除いてください
424202 排出コンベア基板検出
後工程装置への排出動作完了しましたが、コンベア上に基板が検出されています
基板が後工程装置に取り込まれていません。
コンベア上に基板が残留していないか確認してください。
424301 位置決めコンベア ( 右 ) 基板検出
コンベア上に基板がありません
後工程へ排出する基板が検出されていません。
基板が正確に検出できるか確認してください。
424302 位置決めコンベア ( 右 ) 基板検出
取込動作を完了しましたが、基板が検出できませんでした
取込完了した基板が検出されていません。
基板が正確に検出できるか確認してください。
425101 供給コンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサを検出しました
供給コンベア上の基板を取除いてください。
425102 供給コンベアセンサ検出
動作開始前に減速センサが検出されませんでした
装置内に取り込む基板が見つかりません。
①センサ上に基板を置いてください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
425103 供給コンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサを検出しました
供給コンベア上の基板を取除いてください。
425104 供給コンベアセンサ検出
動作開始前に停止センサが検出されませんでした
装置内に取り込む基板が見つかりませんでした。
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
425105 供給コンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上で基板を検出しました
供給コンベア上の基板を取除いてください。
425106 供給コンベアセンサ検出
動作完了後に減速センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-431603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
425107 供給コンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上で基板を検出しました
供給コンベア上の基板を取除いてください。
425108 供給コンベアセンサ検出
動作完了後に停止センサ上の基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
425109 供給コンベアセンサ検出
供給コンベア上に基板が検出されました
コンベア上の基板を取除いてください。
42510a 供給コンベアセンサ検出
供給コンベア上に基板が検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
42510b 供給コンベアセンサ検出
コンベア上に基板が 2 枚あります
①コンベア上の基板を確認し、不要な基板があれば取除いてください。
②供給コンベア上の基板が位置決めコンベアに乗り上げていたら、基板先端を供
給コンベア停止センサ上に戻してください。
42510c 供給コンベアセンサ検出
基板を取り込めない状態でセンサ上に基板を検出しました
基板が差し込まれた可能性か、信号検出前に基板が到達している可能性がありま
す。
42510d 供給コンベアセンサ検出
供給コンベア基板外れ
運転続行可能です。故意に取除いたのでなければ基板の状態を確認してください。
42510e 供給コンベアセンサ検出
取込動作完了時に基板が検出されませんでした
前工程装置からの基板受け渡しがされていません。
前工程コンベア上で基板が引っ掛かっていないか確認してください。
42510f 供給コンベアセンサ検出
供給コンベアセンサで基板を検出しました
基板を取り込めない状態で基板が差し込まれました、差し込んだ基板を取除いて
ください。
425110 供給コンベアセンサ検出
供給コンベアセンサで基板を検出しました
払い出し有効状態で基板が差し込まれました。
425111 供給コンベアセンサ検出
排出基板と取込基板が干渉する可能性があります。
同時搬送中に基板追いつきが発生しました、排出動作が正常に行われていること
を確認してください。
425201 供給コンベアタイムアウト
取込動作が所定時間内に完了しませんでした
基板が引っかかっているか、コンベア上から落下した可能性があります。前工程
装置との乗り継ぎを確認してください
3.3 コンベア
4OM-1839
3-3-441603-001
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
425202 供給コンベアタイムアウト
排出動作が所定時間内に完了しませんでした
①基板が引っかかっているか、コンベア上から落下した可能性があります。コン
ベア上を確認してください。
②供給コンベア上に基板記憶情報があれば編集画面でクリアしてください。また
は取除いた基板を戻してください。
425301 供給コンベア異常
供給コンベア動作中に異常が発生しました
-----
426101 位置決めコンベアセンサ検出
動作開始前に上流位置の減速センサを検出しました
上流位置減速センサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサ・コンベアベルトを
清掃してください。
426102 位置決めコンベアセンサ検出
動作開始前に上流位置の減速センサが検出されませんでした
コンベア上に基板がありません
①センサ上に基板を置いてください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
426103 位置決めコンベアセンサ検出
動作開始前に上流位置の停止センサを検出しました
上流位置停止センサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサ・コンベアベルトを
清掃してください。
426104 位置決めコンベアセンサ検出
動作開始前に上流位置の停止センサが検出されませんでした
コンベア上に基板がありません
①基板がセンサに検出されているか確認してください。
②基板が落下している可能性があります、コンベア幅が合っているか確認して
ください。
426105 位置決めコンベアセンサ検出
動作完了後に上流位置の減速センサを検出しました
上流位置減速センサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサ・コンベアベルトを
清掃してください。
426106 位置決めコンベアセンサ検出
動作完了後に上流位置の減速センサが検出されませんでした
基板が正しく検出されているか確認してください。
センサが故障していないか確認してください。
426107 位置決めコンベアセンサ検出
動作完了後に上流位置の停止センサを検出しました
上流位置停止センサを検出しました、不定基板がある場合は取除いてください。
基板が無い場合はセンサ誤検出の可能性があります、センサ・コンベアベルトを
清掃してください。
3.3 コンベア